當(dāng)而導(dǎo)致的損壞。另外，根據(jù)本發(fā)明的用于輔助壓裝組件的裝置10的結(jié)構(gòu)簡單，操作簡單快速，使用安全可靠，便于實施推廣應(yīng)用。
[0027]如圖1所示，第二調(diào)整機(jī)構(gòu)6包括從壓裝組件20的外側(cè)貫穿底座2與施壓板3的螺栓61，以及設(shè)置在施壓板3的頂面上用于與螺栓61配合的螺母62。通過轉(zhuǎn)動螺栓61上的螺母62可以直接推壓施壓板3下行，縮短底座2與施壓板3之間的距離，從而間接地促動頂板21和底板22之間的距離變短，以便把測壓件5檢測的壓力調(diào)整至設(shè)定值。
[0028]如圖2所示，底座2包括大致矩形的本體和設(shè)在本體上的凹槽201，以及開設(shè)在本體的兩端并位于凹槽201內(nèi)的通孔202。通孔202用于穿插螺栓61，并能使螺栓61的頭部容納在凹槽201內(nèi)。在兩個通孔202之間的凹槽201可允許形狀吻合的其他部件插入，以防止裝置10和壓裝組件20壓裝過程中出現(xiàn)轉(zhuǎn)動，從而影響壓裝作業(yè)。在一個優(yōu)選的實施中，凹槽201的寬度設(shè)置成能夠有效容納螺栓61的頭部并且防止螺栓61相對底座2轉(zhuǎn)動。
[0029]如圖3所示，施壓板3包括板狀本體和開設(shè)在板狀本體上的兩個彼此間隔開的通孔31。施壓板3上的通孔31的間距等于底座2上的通孔202的間距，使得螺栓61可順利地插入相對應(yīng)的通孔。
[0030]如圖1和4所示，該裝置10還包括可拆卸式連接壓裝組件20上的輔助固定件9。輔助固定件9用于固定壓裝組件20的各個散熱器，防止散熱器沿著橫向來回串動，從而導(dǎo)致半導(dǎo)體元件出現(xiàn)錯位。通過輔助固定件9可以定位壓裝時半導(dǎo)體元件的位置，避免壓裝失敗。
[0031]在圖4所示的實施例中，輔助固定件9包括U形結(jié)構(gòu)91和兩個耳92。其中，U形結(jié)構(gòu)包括具有多個通孔93的底壁及垂直設(shè)置在底壁的兩端的兩個側(cè)壁。耳92設(shè)在各U形結(jié)構(gòu)91的側(cè)壁的外表面上，并且垂直于其側(cè)壁朝向外側(cè)延伸。在安裝輔助固定件9后，U形結(jié)構(gòu)91能夠嵌入在壓裝組件20的頂板21與底板22之間，并把兩個耳92分別抵靠在頂板21和底板22的側(cè)面上。輔助固定件9通過底壁上的通孔93安裝在壓裝組件20上，保證半導(dǎo)體元件的安裝方向一致。
[0032]如圖5所示，在測壓件5與頂板21之間可設(shè)有第一墊片7，而在底座2與底板21之間也可設(shè)有第二墊片8。各墊片(包括墊片7和8)均具有圓柱形的底部7a和設(shè)置在底部中央處的圓柱形的凸起7b。墊片7與襯墊8的作用是保證半導(dǎo)體元件的受力均勻。
[0033]綜上可知，根據(jù)本發(fā)明的用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置10，能夠有效地控制壓裝組件20對半導(dǎo)體元件所施加的壓力，避免壓裝力不均，確保半導(dǎo)體元件能夠正常運行。同時，該裝置10也可避免因操作不當(dāng)而導(dǎo)致的損壞。
[0034]雖然已經(jīng)參考優(yōu)選實施例對本發(fā)明進(jìn)行了描述，但在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下，可以對其進(jìn)行各種改進(jìn)并且可以用等效物替換其中的部件。尤其是，只要不存在結(jié)構(gòu)沖突，各個實施例中所提到的各項技術(shù)特征均可以任意方式組合起來。本發(fā)明并不局限于文中公開的特定實施例，而是包括落入權(quán)利要求的范圍內(nèi)的所有技術(shù)方案。
【主權(quán)項】
1.一種用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置，其中所述壓裝組件包括頂板和底板以及能夠調(diào)整兩板之間間距的第一調(diào)整機(jī)構(gòu)，所述裝置包括: 設(shè)于所述底板的底面上的底座， 設(shè)于所述頂板的上方的施壓板， 設(shè)于所述施壓板與頂板之間的用于檢測兩者之間的壓力的測壓件，以及 用于調(diào)整所述施壓板與底座之間的距離的第二調(diào)整機(jī)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第二調(diào)整機(jī)構(gòu)包括從所述壓裝組件的外側(cè)貫穿所述底座與施壓板的螺栓，以及設(shè)置在所述施壓板的頂部上用于與所述螺栓配合的螺母。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述底座包括本體和設(shè)在所述本體上的凹槽，以及分別設(shè)在所述本體的兩端并位于凹槽內(nèi)的用于容納所述螺栓的第一通孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述施壓板包括板狀本體和開設(shè)在所述板狀本體上的兩個彼此間隔開的第二通孔，所述第一通孔的間距等于所述第二通孔的間距。
5.根據(jù)權(quán)利要求1到4中任一項所述的裝置，其特征在于，所述測壓件為壓力傳感器，所述裝置還包括用于顯示所述測壓件檢測的壓力的顯示構(gòu)件。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述顯示構(gòu)件為數(shù)字顯示儀或計算機(jī)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1到4中任一項所述的裝置，其特征在于，在所述測壓件與頂板之間設(shè)有第一墊片，在所述底座與底板之間設(shè)有第二墊片。
8.根據(jù)權(quán)利要求1到4中任一項所述的裝置，其特征在于，還包括可拆卸式連接所述壓裝組件上并用于固定所述壓裝組件的各個散熱器的輔助固定件。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于，所述輔助固定件包括:U形結(jié)構(gòu)，其包括底壁和垂直于所述底壁的兩個側(cè)壁；設(shè)在各所述側(cè)壁的外表面上且垂直向外延伸的耳。
10.一種用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的方法，其步驟包括: 通過權(quán)利要求1到9所述的裝置的第二調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)整所述裝置的施壓板與底座之間的距離，使所述裝置的測壓件的檢測值為設(shè)定值； 通過所述壓裝組件的第一調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)整所述壓裝組件的頂板和底板之間距離，直至所述測壓件的檢測值為零。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置及方法。所述壓裝組件包括頂板和底板以及能夠調(diào)整兩板之間間距的第一調(diào)整機(jī)構(gòu)。本發(fā)明的裝置包括：設(shè)于底板的底面上的底座，設(shè)于頂板上方的施壓板，設(shè)置施壓板與頂板之間的用于檢測施壓板與頂板之間的壓力的測壓件，以及調(diào)整施壓板與底座之間距離的第二調(diào)整機(jī)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明的用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置及方法可以有效控制傳統(tǒng)的壓裝組件對半導(dǎo)體元件施加的壓力，保證壓裝力均勻，進(jìn)而確保半導(dǎo)體元件能夠正常運行，同時也可避免因操作不當(dāng)而造成的損壞。
【IPC分類】H01L21-66, H01L21-68, H01L21-67, H01L21-02
【公開號】CN104766786
【申請?zhí)枴緾N201510193622
【發(fā)明人】楊文昭, 陳樂生, 李自然
【申請人】株洲南車時代電氣股份有限公司
【公開日】2015年7月8日
【申請日】2015年4月22日