薄膜形成設(shè)備和薄膜形成方法
【專利說明】薄膜形成設(shè)備和薄膜形成方法
[0001]本申請要求于在2014年I月3日提交到韓國知識產(chǎn)權(quán)局的第10-2014-0000746號韓國專利申請的優(yōu)先權(quán)，該韓國專利申請的公開通過引用被全部包含于此。
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]本申請涉及一種薄膜形成設(shè)備和方法，更具體地說，涉及一種用于在基板上形成有機(jī)薄膜的設(shè)備和方法。
【背景技術(shù)】
[0003]有機(jī)發(fā)光元件是一種自發(fā)光元件，可應(yīng)用于諸如薄且可彎曲的顯示裝置的各種產(chǎn)品。然而，在有機(jī)發(fā)光元件暴露于從外部環(huán)境引入的濕氣和氧時，其性能迅速劣化。
[0004]因此，使用外殼或者玻璃基板對有機(jī)發(fā)光元件進(jìn)行包封。通常，諸如紫外線(UV)或熱固化的環(huán)氧樹脂或亞克力的聚合物材料被用作密封劑。然而，由于聚合物材料的防濕能力差，因此濕氣有機(jī)發(fā)光元件的性能(例如，亮度)因朝向有機(jī)發(fā)光元件引入的濕氣和氧隨著時間的流逝而劣化。因此，有機(jī)發(fā)光元件的壽命縮短。因此，可以在裝置內(nèi)安放吸濕劑，以防止穿過密封劑的濕氣影響有機(jī)發(fā)光元件。然而，這種方法使制造工藝復(fù)雜化并且增加了顯示裝置的重量和體積。
[0005]為了解決該問題，已經(jīng)提出了薄膜包封技術(shù)。薄膜包封技術(shù)通過利用保護(hù)膜覆蓋顯示元件來包封顯示元件。薄膜包封可以具有至少堆疊一次有機(jī)膜或無機(jī)膜的結(jié)構(gòu)。為了形成具有這種結(jié)構(gòu)的包封膜，需要一種在基板上形成薄膜的技術(shù)。因此，正在進(jìn)行各種技術(shù)嘗試來實現(xiàn)用于在基板上形成薄膜的設(shè)備和方法。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]實施例提供了一種在基板上至少形成一層有機(jī)薄膜的薄膜形成設(shè)備。
[0007]實施例還提供了一種縮短了用于在基板上形成多層有機(jī)膜所需的時間的薄膜形成設(shè)備。
[0008]實施例還提供了一種應(yīng)用于在基板上至少形成一層有機(jī)薄膜的薄膜形成方法。
[0009]然而，實施例不限制于這里所闡述的實施例。通過參照下面給出的詳細(xì)描述，上述和其它實施例對于本申請所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來講將變得更加明顯。
[0010]根據(jù)一個實施例，提供了一種薄膜形成設(shè)備，所述薄膜形成設(shè)備包括第一儲存單元、第一噴嘴單元、第一光照射單元、第二儲存單元、第二噴嘴單元和第二光照射單元。第一儲存單元被構(gòu)造為儲存第一有機(jī)材料。第一噴嘴單元連接到第一儲存單元，并且被構(gòu)造為噴射儲存在第一儲存單元中的第一有機(jī)材料。第一光照射單元設(shè)置為與第一噴嘴單元相鄰，并且被構(gòu)造為照射具有使第一有機(jī)材料固化的波長的光。第二儲存單元被構(gòu)造為儲存第二有機(jī)材料。第二噴嘴單元設(shè)置為與第一噴嘴單元相鄰，連接到第二儲存單元，并且被構(gòu)造為噴射儲存在第二儲存單元中的第二有機(jī)材料。第二光照射單元設(shè)置為與第二噴嘴單元相鄰，并且被構(gòu)造為照射具有使第二有機(jī)材料固化的波長的光。
[0011]根據(jù)另一實施例，提供了一種薄膜形成設(shè)備，所述薄膜形成設(shè)備包括第一噴嘴單元、第二噴嘴單元、第一儲存單元、第二儲存單元、第一光照射單元和第二光照射單元。第一噴嘴單元和第二噴嘴單元沿長度方向延伸并且彼此并排地設(shè)置。第一儲存單元連接到第一噴嘴單元，并且被構(gòu)造為儲存第一有機(jī)材料。第二儲存單元連接到第二噴嘴單元，并且被構(gòu)造為儲存第二有機(jī)材料。第一光照射單元設(shè)置為與第一噴嘴單元的第一側(cè)部相鄰，并且與第一噴嘴單元并排地延伸。第二光照射單元設(shè)置為與第二噴嘴單元的第二側(cè)部相鄰，并且與第二噴嘴單元并排地延伸。
[0012]根據(jù)另一實施例，一種薄膜形成方法包括通過使基板沿第一方向運(yùn)動而在基板上形成第一薄膜的第一掃描操作以及通過使基板沿與第一方向相反的第二方向運(yùn)動而形成第二薄膜的第二掃描操作。第一掃描操作和第二掃描操作均包括將第一有機(jī)材料或第二有機(jī)材料中的任意一種或多種提供到基板上以及將第一 UV光和第二 UV光中的任意一種或多種照射到基板上。
【附圖說明】
[0013]通過參照附圖對本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施例進(jìn)行的詳細(xì)描述，本發(fā)明構(gòu)思的上述和其它方面和特征將變得更加明顯，在附圖中:
[0014]圖1是根據(jù)實施例的有機(jī)薄膜形成設(shè)備的框圖；
[0015]圖2是根據(jù)另一實施例的薄膜形成設(shè)備的框圖；
[0016]圖3是根據(jù)實施例的薄膜形成設(shè)備的平面圖；
[0017]圖4是沿圖3的1-1’線截取的剖視圖；
[0018]圖5是圖3的薄膜形成設(shè)備的剖視圖；
[0019]圖6是圖3的薄膜形成設(shè)備的剖視圖；
[0020]圖7是圖6的薄膜形成設(shè)備的平面圖；
[0021]圖8是圖7的薄膜形成設(shè)備的剖視圖；
[0022]圖9是具有通過圖8的薄膜形成設(shè)備而形成的薄膜的基板的剖視圖；
[0023]圖10是圖3的薄膜形成設(shè)備的平面圖；
[0024]圖11是圖10的薄膜形成設(shè)備的剖視圖；
[0025]圖12是具有通過圖11的薄膜形成設(shè)備形成的薄膜的基板的剖視圖；
[0026]圖13是圖7的薄膜形成設(shè)備的剖視圖；
[0027]圖14是具有通過圖13的薄膜形成設(shè)備形成的薄膜的基板的剖視圖；
[0028]圖15、圖16、圖17和圖18是通過圖3的薄膜形成設(shè)備而形成在基板上的薄膜的首丨J視圖;
[0029]圖19是根據(jù)另一實施例的薄膜形成設(shè)備的剖視圖；
[0030]圖20、圖21和圖22是示出了圖19的薄膜形成設(shè)備的操作的平面圖。
【具體實施方式】
[0031]本發(fā)明構(gòu)思的方面和特征及實現(xiàn)所述方面和特征的方法通過參照將要參照附圖詳細(xì)描述的實施例將是明顯的。然而，本發(fā)明構(gòu)思不限于下文中所公開的實施例，而是可以以不同的形式來實施。在說明書中定義的關(guān)系(諸如詳細(xì)構(gòu)造和要素)只不過是提供的有助于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在全面理解本發(fā)明構(gòu)思方面的具體細(xì)節(jié)，但是本發(fā)明構(gòu)思僅限定在權(quán)利要求書的范圍內(nèi)。
[0032]用于描述元件在另一元件上或者位于一個不同的層或一個層上的術(shù)語“在……上”包括元件直接位于另一元件或?qū)由系那樾我约霸?jīng)由另一層或又一元件而位于另一元件上的情形。在整個說明書中，相同的附圖標(biāo)號在各幅圖用于相同的元件。
[0033]雖然使用術(shù)語“第一、第二等等”來描述不同的構(gòu)成元件，但是這些構(gòu)成元件不受這些術(shù)語的限制。這些術(shù)語僅是用來將一個構(gòu)成元件與另一個構(gòu)成元件區(qū)分開來。因此，在下面的描述中，第一構(gòu)成元件可以是第二構(gòu)成元件。
[0034]在下文中，將參照附圖來描述實施例。
[0035]圖1是根據(jù)實施例的有機(jī)薄膜形成設(shè)備1000的框圖。
[0036]參照圖1，根據(jù)當(dāng)前實施例的薄膜形成設(shè)備1000包括第一儲存單元120、第一噴嘴單元100、第一光照射單元110、第二儲存單元220、第二噴嘴單元200和第二光照射單元210。第一儲存單元120儲存第一有機(jī)材料。第一噴嘴單元100連接到第一儲存單元120并且噴射儲存在第一儲存單元120中的第一有機(jī)材料。第一光照射單元110設(shè)置為與第一噴嘴單元100相鄰，并且照射具有使第一有機(jī)材料固化的波長的光。第二儲存單元220儲存第二有機(jī)材料。第二噴嘴單元200設(shè)置為與第一噴嘴單元100相鄰，連接到第二儲存單元220，并且噴射儲存在第二儲存單元220中的第二有機(jī)材料。第二光照射單元210設(shè)置為與第二噴嘴單兀200相鄰,并且照射具有使第二有機(jī)材料固化的波長的光。
[0037]第一儲存單元120儲存第一有機(jī)材料。第一儲存單元120可以儲存呈氣態(tài)、液態(tài)或固態(tài)的第一有機(jī)材料。即，儲存在第一儲存單兀120中的第一有機(jī)材料的物相不限于具體的物相。
[0038]第一有機(jī)材料可以包括用于形成薄膜的所有有機(jī)材料。即，第一有機(jī)材料可以是目前在薄膜形成工藝中使用的或者能夠根據(jù)未來的技術(shù)發(fā)展而使用的任何有機(jī)材料。換言之，這里所使用的有機(jī)材料不限于特定類型的材料。
[0039]第一噴嘴單元100可以連接到第一儲存單元120。即，在第一儲存單元120和第一噴嘴單元100之間可以形成有通道。因此，儲存在第一儲存單元120中的第一有機(jī)材料可以通過第一噴嘴單元100噴射。
[0040]第一噴嘴單元100和第一儲存單元120可以通過連接媒介(諸如至少一條管路或管道)而連接。然而，這僅僅是示例，第一噴嘴單元100和第一儲存單元120可以以各種方式連接。
[0041]第一噴嘴單元100可以朝著基板噴射儲存在第一儲存單元120中的第一有機(jī)材料。在示例中，第一噴嘴單元100可以噴射以液態(tài)、氣態(tài)或氣懸體(aerosol)形式儲存在第一儲存單元120中的第一有機(jī)材料。
[0042]第一光照射單元110可以設(shè)置為與第一噴嘴單元100相鄰。第一光照射單元110可以朝著從第一噴嘴單元100噴射的第一有機(jī)材料照射光。換言之，第一光照射單元110可以朝著從第一噴嘴單元100噴射到基板上的第一有機(jī)材料照射光。在示例中，第一光照射單元110可以照射紫外(UV)波長的光。然而，這僅僅是一個示例，由第一光照射單元110照射的光的波長不限于UV波長。
[0043]固化波長可以根據(jù)第一有機(jī)材料的類型而變化。即，特定類型的有機(jī)材料可以由具有特定范圍的波長的光固化。在示例中，第一光照射單元110可以照射具有與第一有機(jī)材料相對應(yīng)的波長的光。換言之，第一光照射單兀I1可以照射具有使第一有機(jī)材料固化的波長的光。即，由第一光照射單元110照射的光的波長可以根據(jù)第一有機(jī)材料的類型而變化。
[0044]根據(jù)當(dāng)前實施例的薄膜形成設(shè)備1000還可以包括儲存第二有機(jī)材料的第二儲存單元220。第二