第二噴嘴單元201形成各種薄膜。
[0107]圖15到圖18是通過(guò)圖3的薄膜形成設(shè)備而形成在基板500上的薄膜的剖視圖。
[0108]參照?qǐng)D15，第二薄膜240可以設(shè)置在第三薄膜300上。
[0109]在第一掃描中，第一噴嘴單元101和第二噴嘴單元201可以同時(shí)噴射第一有機(jī)材料和第二有機(jī)材料，第一光照射單元111和第二光照射單元211可以照射第一 UV光和第二UV光。結(jié)果，可以形成第三薄膜300。
[0110]在形成第三薄膜300之后，可以執(zhí)行第二掃描。在第二掃描中，第二噴嘴單元201可以噴射第二有機(jī)材料，第二光照射單元211可以照射第二 UV光。結(jié)果，可以形成第二薄膜 240。
[0111]參照?qǐng)D16，第一薄膜140可以設(shè)置在第三薄膜300上。
[0112]在第一掃描中，第一噴嘴單元101和第二噴嘴單元201可以同時(shí)噴射第一有機(jī)材料和第二有機(jī)材料，第一光照射單元111和第二光照射單元211可以照射第一 UV光和第二UV光。結(jié)果，可以形成第三薄膜300。
[0113]在形成第三薄膜300之后，可以執(zhí)行第二掃描。在第二掃描中，第一噴嘴單元101可以噴射第一有機(jī)材料，第一光照射單元111可以照射第一UV光。因此，可以形成第一薄膜 140。
[0114]參照?qǐng)D17，可以連續(xù)地堆疊第三薄膜300。
[0115]在第一掃描中，第一噴嘴單元101和第二噴嘴單元201可以同時(shí)噴射第一有機(jī)材料和第二有機(jī)材料，第一光照射單元111和第二光照射單元211可以照射第一 UV光和第二UV光。結(jié)果,可以形成第一層第三薄膜300a。然后,在第二掃描中，第一噴嘴單兀101和第二噴嘴單元201可以同時(shí)噴射第一有機(jī)材料和第二有機(jī)材料，第一光照射單元111和第二光照射單元211可以照射第一 UV光和第二 UV光。結(jié)果，可以形成第二層第三薄膜300b。即，可以在第一掃描和第二掃描中形成同一類型的薄膜。因此，可以形成比由一次掃描形成的薄膜相對(duì)較厚的薄膜。
[0116]S卩，可以通過(guò)同時(shí)操作第一噴嘴單元101和第二噴嘴單元201來(lái)形成第三薄膜300a和300b，如圖17中所示，或者可以通過(guò)操作第一噴嘴單元101和第二噴嘴單元201中的任意一個(gè)來(lái)順序地堆疊同一種薄膜。在圖18中，不出了在第一掃描和第二掃描期間僅使第一噴嘴單元101操作的情況，以形成第一薄膜140a和140b。
[0117]在下文中，將描述其它實(shí)施例。在下面的實(shí)施例中，與上述元件相同的元件由相同的標(biāo)號(hào)來(lái)指示，并且將省略或者簡(jiǎn)要給出其冗余的描述。
[0118]圖19是根據(jù)另一實(shí)施例的薄膜形成設(shè)備1003的剖視圖。
[0119]參照?qǐng)D19，根據(jù)當(dāng)前實(shí)施例的薄膜形成設(shè)備1003與根據(jù)圖5的實(shí)施例的薄膜形成設(shè)備的不同之處在于:其長(zhǎng)度比基板的寬度相對(duì)較小。
[0120]在示例性實(shí)施例中，薄膜形成設(shè)備1003的長(zhǎng)度d2可以比基板500的寬度w相對(duì)較小。當(dāng)薄膜形成設(shè)備1003的長(zhǎng)度d2比基板500的寬度w小時(shí)，薄膜形成設(shè)備1003可以執(zhí)行一次或多次第一掃描和第二掃描，以形成薄膜。
[0121]現(xiàn)在將參照?qǐng)D20到圖22詳細(xì)描述當(dāng)前實(shí)施例。
[0122]圖20到圖22是示出了圖19的薄膜形成設(shè)備的操作的平面圖。
[0123]參照?qǐng)D20到圖22，根據(jù)當(dāng)前實(shí)施例的薄膜形成設(shè)備可以執(zhí)行一次或多次第一掃描和第二掃描。
[0124]在基板500的第一側(cè)部平行于薄膜形成設(shè)備的長(zhǎng)度方向安放的狀態(tài)下，基板500可以沿第一方向(即，與薄膜形成設(shè)備的長(zhǎng)度方向垂直的方向)運(yùn)動(dòng)。按照此方式，可以執(zhí)行第一掃描。
[0125]隨著基板500沿第一方向運(yùn)動(dòng)，第一噴嘴單元102和第二噴嘴單元202中的任意一個(gè)或多個(gè)可以操作，以將第一有機(jī)材料或第二有機(jī)材料中的至少一種或多種噴射到基板500上。另外，第一光照射單元112和第二光照射單元212中的任意一個(gè)或多個(gè)將第一 UV光和第二 UV光中的任意一種或多種光照射到基板500上。
[0126]第一噴嘴單元102、第二噴嘴單元202、第一光照射單元112和第二光照射單元212可以按照與根據(jù)圖3中前述實(shí)施例的薄膜形成設(shè)備的那些元件的方式基本相同的方式操作，因此將省略其詳細(xì)描述。
[0127]在第一掃描之后，可以相鄰于基板500的第二側(cè)部安放薄膜形成設(shè)備。在這種狀態(tài)下，基板500可以沿薄膜形成設(shè)備的長(zhǎng)度方向(即，沿與第一方向或第二方向垂直的第三方向)移動(dòng)預(yù)定距離。在示例性實(shí)施例中，基板500可以移動(dòng)(但不限于)薄膜形成設(shè)備的長(zhǎng)度d2(參見圖21)。
[0128]在基板500沿長(zhǎng)度方向移動(dòng)之后，可以執(zhí)行第二掃描。即，基板500可以順序地從基板500的第二側(cè)部到基板500的第一側(cè)部經(jīng)過(guò)薄膜形成設(shè)備。因此，可以順序地從第二側(cè)部到第一側(cè)部而在基板500上形成薄膜。
[0129]在圖20到圖22中，第一掃描和第二掃描均可以執(zhí)行一次，但是掃描的次數(shù)不限于此。即，根據(jù)實(shí)施例的薄膜形成設(shè)備可以執(zhí)行一次或多次第一掃描、沿長(zhǎng)度方向的移動(dòng)和第二掃描。換言之，第一掃描、沿長(zhǎng)度方向的移動(dòng)和第二掃描可以按該順序重復(fù)地執(zhí)行一次或多次。
[0130]因此，可以在基板500的整個(gè)區(qū)域上形成一層或多層有機(jī)薄膜。
[0131 ] 在下文中，將描述根據(jù)實(shí)施例的薄膜形成方法。
[0132]根據(jù)當(dāng)前實(shí)施例的薄膜形成方法包括通過(guò)使基板沿第一方向運(yùn)動(dòng)而在基板上形成第一薄膜的第一掃描操作以及通過(guò)使基板沿與第一方向相反的第二方向運(yùn)動(dòng)而形成第二薄膜的第二掃描操作。第一掃描操作和第二掃描操作均包括將第一有機(jī)材料或第二有機(jī)材料中的任意一種或多種提供到基板上以及將第一 UV光和第二 UV光中的任意一種或多種照射到基板上。
[0133]根據(jù)當(dāng)前實(shí)施例的薄膜形成方法可以通過(guò)根據(jù)實(shí)施例的薄膜形成設(shè)備來(lái)執(zhí)行。然而，根據(jù)當(dāng)前實(shí)施例的薄膜形成方法不限于此。
[0134]首先，執(zhí)行通過(guò)使基板沿第一方向運(yùn)動(dòng)而在基板上形成第一薄膜的第一掃描操作。
[0135]現(xiàn)在將再次參照?qǐng)D7到圖9來(lái)描述第一掃描操作。為了易于描述，將描述使用根據(jù)實(shí)施例的薄膜形成設(shè)備形成薄膜的方法作為示例。然而，如上所述，本實(shí)施例的范圍不限于該示例。
[0136]第一掃描操作可以包括將第一有機(jī)材料和第二有機(jī)材料中的任意一種或多種提供到基板上的步驟并且將第一 UV光和第二 UV光中的任意一種或多種照射到基板上的步驟。將第一有機(jī)材料和第二有機(jī)材料中的任意一種或多種提供到基板上的步驟可以通過(guò)第一噴嘴單元101和第二噴嘴單元201中的任意一個(gè)或多個(gè)來(lái)執(zhí)行。另外，將第一 UV光和第二 UV光中的任意一種或多種照射到基板上的步驟可以通過(guò)第一光照射單元111和第二光照射單元211中的任意一個(gè)或多個(gè)來(lái)執(zhí)行。然而，這僅僅是一個(gè)示例，本實(shí)施例不限于該示例。在下面進(jìn)行更詳細(xì)的描述。
[0137]將在下面描述通過(guò)從第一噴嘴單元101噴射的第一有機(jī)材料形成第一薄膜的情形作為示例，但是本實(shí)施例不限于這種情形。即，在第一掃描操作中，第一有機(jī)材料、第二有機(jī)材料以及第一有機(jī)材料和第二有機(jī)材料的混合物中的任意一種可以如上所述地形成。
[0138]第一方向可以是圖7中y軸的負(fù)方向。即，在基板500的第一側(cè)部平行于薄膜形成設(shè)備的長(zhǎng)度方向安放的狀態(tài)下，基板500可以沿第一方向(即，沿與薄膜形成設(shè)備的長(zhǎng)度方向垂直的方向)運(yùn)動(dòng)。
[0139]參照?qǐng)D8，當(dāng)基板500的第一側(cè)部與薄膜形成設(shè)備相鄰時(shí)，第一噴嘴單元101可以噴射第一有機(jī)材料。即，第一噴嘴單元101可以朝著基板500提供第一有機(jī)材料。第一噴嘴單元101可以隨著基板500的運(yùn)動(dòng)而連續(xù)地或者不連續(xù)地噴射第一有機(jī)材料。在第一噴嘴單元101噴射第一有機(jī)材料的同時(shí)或者在第一噴嘴單元101噴射第一有機(jī)材料之后，第一光照射單元111可以朝著被提供在基板500上的第一有機(jī)材料照射光。因此，可以使被提供在基板500上的第一有機(jī)材料固化。在示例中，第一光照射單元111可以如上所述照射能夠使第一有機(jī)材料固化的第一 UV光。
[0140]基板500可以通過(guò)上述工藝連續(xù)地運(yùn)動(dòng)。然后，當(dāng)基板500的第二側(cè)部最終經(jīng)過(guò)薄膜形成設(shè)備時(shí)，可以在基板500上形成第一薄膜140 (其是固化后的第一有機(jī)材料)(參見圖9)。
[0141]在第一掃描操作之后，可以執(zhí)行第二掃描操作。第二掃描操作可以是通過(guò)使基板沿與第一方向相反的第二方向運(yùn)動(dòng)而形成第二薄膜的操作。
[0142]現(xiàn)在將再次參照?qǐng)D10到圖12來(lái)描述第二掃描操作。為了易于描述，將描述使用根據(jù)實(shí)施例的薄膜形成設(shè)備形成薄膜的方法作為示例。然而，如上所述，本實(shí)施例的范圍不限于該示例。
[0143]第二掃描操作可以包括將第一有機(jī)材料和第二有機(jī)材料中的任意一種或多種提供到基板上的步驟并且將第一 UV光和第二 UV光中的任意一種或多種照射到基板上的步驟。將第一有機(jī)材料和第二有機(jī)材料中的任意一種或多種提供到基板上的步驟可以通過(guò)第一噴嘴單元101和第二噴嘴單元201中的任意一個(gè)或多個(gè)來(lái)執(zhí)行。另外，將第一 UV光和第二 UV光中的任意一種或多種照射到基板上的步驟可以通過(guò)第一光照射單元111和第二光照射單元211中的任意一個(gè)或多個(gè)來(lái)執(zhí)行。然而，這僅僅是一個(gè)示例，本實(shí)施例不限于該示例。在下面進(jìn)行更詳細(xì)的描述。
[0144]將在下面描述通過(guò)從第二噴嘴單元201噴射的第二有機(jī)材料形成第二薄膜的情形作為示例，但是本實(shí)施例不限于這種情形。即，在第二掃描操作中，第一有機(jī)材料、第二有機(jī)材料以及第一有機(jī)材料和第二有