上，所述盛放籃32用于放置引線框架，所述盛放籃32與所述第二套筒31連接，所述第一套筒60插置于所述第二套筒31內。
[0043]第二法蘭70上設置有第三套筒80 ;第三套筒80與第二法蘭70連接。銷子40穿過第三套筒80的筒底。第二套筒31套裝在第一套筒60上后，所述銷子40插置于所述插孔51內，所述第三套筒80套裝在所述第一套筒60上端之外，所述第一套筒60上端插入所述第三套筒80內，第三套筒80將銷子40保護在一個密閉的空間內，避免清洗液或者電鍍液接觸腐蝕銷子40，確保銷子40工作正常，從而使第一法蘭50和第二法蘭70配合緊密。
[0044]容腔21內設置有平面軸承22，所述驅動軸11穿過所述平面軸承22。所述掛架30放入所述容腔21內后，所述托盤33放置于所述平面軸承22上。托盤33由平面軸承22支撐，且可轉動。
[0045]掛架30還包括提手34，所述提手34與所述第二套筒31可相對活動地連接，所述提手34具有一容置空間；所述第二套筒31穿過所述提手34，所述第二法蘭70位于所述容置空間內；所述第二套筒31可帶動所述第二法蘭70在所述容置空間內上下移動，所述提手34將所述第二法蘭70限制于所述容置空間內。
[0046]提手34包括提手桿341、上端板344、下端板345和多個連桿346。所述提手桿341與所述上端板344連接；所述上端板344與所述下端板345分別連接在所述連桿346兩端；所述下端板345設置有穿孔347。所述穿孔347尺寸大于第二套筒31而小于第二法蘭70，下端板345可阻擋第二法蘭70。所述多個連桿346環(huán)形分布；所述上端板344、下端板345和連桿346圍成所述容置空間。提手桿341包括連接部342和提拉部343，所述提拉部343的尺寸大于所述連接部342尺寸，拿取提拉部343時更加方便，摩擦力更大，不會滑落。
[0047]掛架30上還設置有槽蓋35，所述槽蓋35安裝在所述提手34上，所述掛架30放入所述容腔21內后，所述槽蓋35蓋在所述開口處，將所述容腔21封住，避免處理槽20內的清洗液或者電鍍液溢出造成浪費，甚至危及工作人員人身安全。
[0048]掛架30未放入處理槽20時，第二法蘭70抵靠在下端板345上。掛架30放入處理槽20內，至托盤33放置在平面軸承22上后，第二套筒81無法再向下移動。此時，槽蓋35尚未蓋章容腔21。由于提手34與第二套筒31可相對活動，在第二套筒31停止后，提手34可繼續(xù)向下移動一定的距離，直至槽蓋34蓋住容腔21。此時，提手34與第二套筒31可相對活動。啟動電機10，電機10通過驅動軸11、第一法蘭50、銷子40、第二法蘭70帶動第二套筒31轉動。第二套筒31轉動時，帶動盛放籃32及盛放籃內的引線框架一起轉動。處理完成后，通過使引線框架轉動，可將引線框架上的處理液甩干，防止處理液隨引線框架帶出處理槽之外，造成浪費或危及工人安全。在電機10驅動旋轉過程中，第二套筒70與提手34脫離連接，因此，第二套筒31的旋轉不會受提手34的影響，也不會造成槽蓋35的晃動。
[0049]引線框架處理完成后，提拉提手34，提手34首先向上運動，直至下端板345掛住第二套筒31和第二法蘭70。提手34繼續(xù)向上移動，提手34將第二套筒31及盛放籃32提出處理槽的容腔21。
[0050]本發(fā)明還包括處理液循環(huán)裝置，所述處理液循環(huán)裝置包括儲液槽(圖中未標出)和液泵(圖中未標出)；所述液泵用于將儲液槽內的處理液輸送至所述處理槽20的容腔21內，所述處理槽20容腔21內的處理液可經(jīng)回液管回流至儲液槽內。
[0051 ] 本發(fā)明本發(fā)明中的實施例僅用于對本發(fā)明進行說明，并不構成對權利要求范圍的限制，本領域內技術人員可以想到的其他實質上等同的替代，均在本發(fā)明保護范圍內。
【主權項】
1.引線框架處理設備，其特征在于，包括處理槽及驅動裝置；所述處理槽具有容腔和開口，通過所述開口，可將引線框架放入所述容腔內；所述驅動裝置設置有驅動軸，所述驅動軸穿過所述處理槽伸入所述容腔內；還包括用于攜帶引線框架的掛架；所述掛架可放入所述容腔內，并可從所述容腔內取出地設置；所述掛架放入所述容腔內后，所述掛架與所述驅動軸聯(lián)動設置；所述驅動裝置通過所述驅動軸驅動所述掛架活動。
2.根據(jù)權利要求1所述的引線框架處理設備，其特征在于，所述驅動軸與所述掛架通過連接件聯(lián)動設置。
3.根據(jù)權利要求2所述的引線框架處理設備，其特征在于，所述連接件為銷子；所述驅動軸和掛架兩者之一上安裝有所述銷子，另一個上設置有插孔；所述掛架放入所述容腔內后，所述銷子插入所述插孔內，將所述驅動軸與所述掛架聯(lián)動連接。
4.根據(jù)權利要求3所述的引線框架處理設備，其特征在于，所述驅動軸端部設置有第一法蘭；所述插孔設置于所述第一法蘭上。
5.根據(jù)權利要求3所述的引線框架處理設備，其特征在于，所述容腔內設置有第一套筒；所述第一套筒套裝在所述驅動軸外，所述驅動軸可轉動地安裝于所述第一套筒內。
6.根據(jù)權利要求3所述的引線框架處理設備，其特征在于，所述插孔數(shù)目多于所述銷子的數(shù)目，沿所述銷子的分布路線分布。
7.根據(jù)權利要求3所述的引線框架處理設備，其特征在于，所述驅動軸為轉軸，所述驅動軸繞其軸線轉動；所述掛架包括第二套筒，所述第二套筒上端連接有第二法蘭；所述銷子安裝于所述第二法蘭上；所述掛架放入所述容腔內后，所述銷子端插置于所述插孔內，將所述驅動軸與所述掛架聯(lián)動連接；所述驅動裝置通過所述驅動軸驅動所述掛架旋轉。
8.根據(jù)權利要求7所述的引線框架處理設備，其特征在于，所述第二法蘭上設置有第三套筒；所述銷子插置于所述插孔內后，所述第三套筒套裝在所述第一套筒上端之外，所述第一套筒上端插入所述第三套筒內。
9.根據(jù)權利要求2至8任一權利要求所述的引線框架處理設備，其特征在于，所述掛架包括第二套筒和盛放籃；所述盛放籃用于放置引線框架，所述盛放籃與所述第二套筒連接；所述連接件安裝于所述第二套筒內的上端；所述掛架放置于所述容腔內后，所述驅動軸插置于所述第二套筒內。
10.根據(jù)權利要求9所述的引線框架處理設備，其特征在于，所述第二套筒下端安裝有托盤，所述托盤環(huán)繞所述第二套筒并連接在所述第二套筒上，所述盛放籃設置在所述托盤上，所述托盤上設置有多個通孔。
11.根據(jù)權利要求10所述的引線框架處理設備，其特征在于，所述容腔內設置有平面軸承，所述驅動軸穿過所述平面軸承；所述掛架放入所述容腔內后，所述托盤放置于所述平面軸承上。
12.根據(jù)權利要求9所述的引線框架處理設備，其特征在于，所述掛架還包括提手，所述提手與所述第二套筒可相對活動地連接。
13.根據(jù)權利要求12所述的引線框架處理設備，其特征在于，所述第二套筒上端設置有第二法蘭，所述提手具有一容置空間；所述第二套筒穿過所述提手，所述第二法蘭位于所述容置空間內；所述第二套筒可帶動所述第二法蘭在所述容置空間內上下移動，所述提手將所述第二法蘭限制于所述容置空間內。
14.根據(jù)權利要求13所述的引線框架處理設備，其特征在于，所述提手包括提手桿、上端板、下端板和多個連桿；所述提手桿與所述上端板連接；所述上端板與所述下端板分別連接在所述連桿兩端；所述下端板設置有穿孔；所述穿孔尺寸大于第二套筒，小于第二法蘭；所述多個連桿環(huán)形分布；所述上端板、下端板和連桿圍成所述容置空間。
15.根據(jù)權利要求14所述的引線框架處理設備，其特征在于，所述提手桿包括連接部和提拉部，所述提拉部的尺寸大于所述連接部尺寸。
16.根據(jù)權利要求1所述的引線框架處理設備，其特征在于，所述掛架上設置有槽蓋；所述掛架放入所述容腔內后，所述槽蓋蓋在所述開口處，將所述容腔封住。
17.根據(jù)權利要求16所述的引線框架處理設備，其特征在于，所述掛架包括第二套筒和提手，所述提手與所述第二套筒可相對活動地連接，所述槽蓋安裝在所述提手上。
18.根據(jù)權利要求17所述的引線框架處理設備，其特征在于，所述第二套筒上端設置有第二法蘭，所述提手具有一容置空間；所述第二套筒穿過所述提手，所述第二法蘭位于所述容置空間內；所述第二套筒可帶動所述第二法蘭在所述容置空間內上下移動，所述提手將所述第二法蘭限制于所述容置空間內。
19.根據(jù)權利要求18所述的引線框架處理設備，其特征在于，所述提手包括提手桿、上端板、下端板和多個連桿；所述提手桿與所述上端板連接；所述上端板與所述下端板分別連接在所述連桿兩端；所述下端板設置有穿孔；所述穿孔尺寸大于第二套筒，小于第二法蘭；所述多個連桿環(huán)形分布；所述上端板、下端板和連桿圍成所述容置空間。
20.根據(jù)權利要求19所述的引線框架處理設備，其特征在于，所述提手桿包括連接部和提拉部，所述提拉部的尺寸大于所述連接部尺寸。
21.根據(jù)權利要求1所述的引線框架處理設備，其特征在于，還包括處理液循環(huán)裝置，所述處理液循環(huán)裝置包括儲液槽和液泵；所述液泵用于將儲液槽內的處理液輸送至所述處理槽的容腔內，所述處理槽容腔內的處理液可經(jīng)回液管回流至儲液槽內。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種引線框架處理設備，包括處理槽及驅動裝置；所述處理槽具有容腔和開口，通過所述開口，可將引線框架放入所述容腔內；所述驅動裝置設置有驅動軸，所述驅動軸穿過所述處理槽伸入所述容腔內；還包括用于攜帶引線框架的掛架；所述掛架可放入所述容腔內，并可從所述容腔內取出地設置；所述掛架放入所述容腔內后，所述掛架與所述驅動軸聯(lián)動設置；所述驅動裝置通過所述驅動軸驅動所述掛架活動。本發(fā)明將攜帶引線框架的掛架放入處理槽內，通過驅動裝置通過驅動軸驅動掛架活動，處理引線框架方便且安全。
【IPC分類】H01L21-48
【公開號】CN104576408
【申請?zhí)枴緾N201410855483
【發(fā)明人】王振榮, 陳概禮, 劉紅兵
【申請人】上海新陽半導體材料股份有限公司
【公開日】2015年4月29日
【申請日】2014年12月31日