“主要的元素”是指例如在金屬材料中含有70質(zhì)量％以上的元素，微量地含有的元素的種類可以不同。在上述b)的情況下，元素的含有比率可以不同。在本實(shí)施方式中，作為由同種的金屬材料構(gòu)成屏蔽環(huán)232和屏蔽環(huán)242的情況的優(yōu)選的例子，能夠列舉不銹鋼等。這樣，作為閥座板204和2個(gè)屏蔽環(huán)232、242的材質(zhì)使用同種的金屬，由此能夠抑制金屬顆粒的產(chǎn)生。
[0104]接著，對(duì)本實(shí)施方式涉及的閘閥裝置110的動(dòng)作進(jìn)行說明。圖3表示閥體202處于待機(jī)位置的狀態(tài)。此時(shí)，閥體202處于下降的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，通過基板搬送用開口 lbl，基板S在搬送模塊103與處理模塊101之間轉(zhuǎn)移。
[0105]從圖3所示的狀態(tài)，通過閥體202將基板搬送用開口 Ibl關(guān)閉時(shí)，通過閥體變位裝置203的氣缸221使基體部件222上升。伴隨基體部件222的上升，閥體202也上升。此時(shí)，閥體202在與側(cè)壁Ib的面lb2平行的方向上移動(dòng)，直至輥215與殼體201的上部抵接。
[0106]在輥215與殼體201的上部抵接時(shí)，閥體202達(dá)到與基板搬送用開口 Ibl相對(duì)的位置。如果從該狀態(tài)，進(jìn)一步通過氣缸221使基體部件222上升，則連桿223會(huì)一邊以基體部件222的側(cè)面的連接部作為中心以圖4中的順時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，一邊使閥體202向著基板搬送用開口 Ibl在與側(cè)壁Ib的面lb2垂直的方向上移動(dòng)。此時(shí)，通過輥215的作用，閥體202不與殼體201接觸而順滑地移動(dòng)。然后，如圖4所示，閥體202的密封面202A按壓于閥座板204側(cè)，通過閥體202關(guān)閉基板搬送用開口 lbl。
[0107]在從圖4所示的狀態(tài)，當(dāng)打開基板搬送用開口 Ibl時(shí)，通過閥體變位裝置203，使閥體202進(jìn)行與關(guān)閉基板搬送用開口 Ibl時(shí)相反的動(dòng)作。即，通過閥體變位裝置203的氣缸221使基體部件222下降。此時(shí)，首先，在輥215與殼體201的上部抵接的狀態(tài)下，連桿223以其與基體部件222的側(cè)面的連接部作為中心，在圖4中的逆時(shí)針方向上轉(zhuǎn)動(dòng)。然后，閥體202在與側(cè)壁Ib的面lb2垂直的方向上移動(dòng)，使得離開閥座板204。由此，基板搬送用開口Ibl打開。
[0108]當(dāng)連桿223轉(zhuǎn)動(dòng)到被限制器限制的位置時(shí)，之后，伴隨基體部件222的下降，閥體202也下降。此時(shí)，閥體202在與側(cè)壁Ib的面lb2平行的方向上移動(dòng)。然后，最終，閥體202達(dá)到圖3所示的待機(jī)位置，使閥體變位裝置203的動(dòng)作停止。
[0109]接著，對(duì)于本實(shí)施方式涉及的閘閥裝置110的效果進(jìn)行說明。本實(shí)施方式中，由同種的金屬材料構(gòu)成閥座板204和屏蔽環(huán)232、242，由此能夠?qū)崿F(xiàn)閥體202與處理容器I之間的導(dǎo)通，并抑制金屬顆粒的產(chǎn)生。即，作為可動(dòng)部件的閥體202的材質(zhì)例如為鋁的情況下，如果在閥體202與鋁制的處理容器I之間，直接設(shè)置作為異種金屬的不銹鋼制的屏蔽環(huán)，則容易對(duì)閥體202或處理容器I產(chǎn)生損傷。即，在與作為可動(dòng)部件的閥體202的接觸部位設(shè)置作為異種金屬的屏蔽環(huán)232，由此閥體202或處理容器I受到損傷，容易成為金屬顆粒的產(chǎn)生原因。對(duì)此，在閥體202與處理容器I之間設(shè)置由與屏蔽環(huán)232、242同種的金屬材料構(gòu)成的閥座板204，由此能夠防止閥體202和處理容器I的損傷，抑制金屬顆粒的產(chǎn)生。另夕卜，由于在維護(hù)時(shí)，更換屏蔽環(huán)232、242、閥座板204等即可，所以也能夠?qū)崿F(xiàn)作為大型部件的閥體202和處理容器I的長(zhǎng)壽命化。
[0110][第二實(shí)施方式]
[0111]接著，參照?qǐng)D7到圖9，對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施方式涉及的閘閥裝置進(jìn)行說明。圖7是表示本實(shí)施方式涉及的閘閥裝置I1A的構(gòu)成截面圖。圖8是表示本實(shí)施方式涉及的閘閥裝置IlOA的閥體的正視圖。圖9是表示本實(shí)施方式的變形例的閘閥裝置IlOA的閥體的正視圖。以下，以本實(shí)施方式涉及的閘閥裝置IlOA與第一實(shí)施方式涉及的閘閥裝置110不同的點(diǎn)為中心進(jìn)行說明，對(duì)與第一實(shí)施方式相同的構(gòu)成標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說明。本實(shí)施方式涉及的閘閥裝置IlOA的閥體的構(gòu)成與第一實(shí)施方式的閘閥裝置110不同。
[0112]如圖7和圖8所示，在本實(shí)施方式涉及的閘閥裝置IlOA中，閥體250具備:主體部251 ;和由與該主體部251不同的導(dǎo)電性材料構(gòu)成的抵接板252。為了說明上的方便，圖8中將抵接板252用格子狀的陰影強(qiáng)調(diào)表示。抵接板252與本發(fā)明中的第一抵接部對(duì)應(yīng)。抵接板252是在將閘閥裝置IlOA關(guān)閉的狀態(tài)下，與作為第一導(dǎo)電性部件的屏蔽環(huán)232直接抵接的部分。
[0113]抵接板252為呈框狀的薄板。在主體部251設(shè)置有與抵接板252的厚度和寬度相當(dāng)?shù)纳疃群蛯挾鹊娜笨诓?51a，抵接板252嵌入該缺口部251a。因此，在閥體250的密封面250A中，抵接板252的表面與主體部251的表面成為一個(gè)面。即，由于不必要的凹凸存在影響等離子體的均勻性的可能性，所以密封面250A形成為平坦的平面。此外，也可以代替主體部251的缺口部251a而形成槽，在其中嵌入抵接板252。抵接板252由未圖示的螺釘?shù)裙潭?gòu)件固定于主體部251。
[0114]抵接板252由與主體部251不同的金屬材料構(gòu)成。主體部251的材質(zhì)例如為鋁，抵接板252的材質(zhì)例如為不銹鋼。
[0115]本實(shí)施方式中，作為閥座部件的閥座板204、作為第一導(dǎo)電性部件的屏蔽環(huán)232、作為第二導(dǎo)電性部件的屏蔽環(huán)242和作為第一抵接部的抵接板252均由同種的金屬材料構(gòu)成。在此，作為同種的金屬材料，能夠列舉例如不銹鋼等。這樣，由同種的金屬材料構(gòu)成閥座板204、屏蔽環(huán)232、242、抵接板252，由此能夠?qū)崿F(xiàn)閥體250與處理容器I之間的導(dǎo)通，并且抑制金屬顆粒的產(chǎn)生。即，在作為可動(dòng)部件的閥體的材質(zhì)例如為鋁的情況下，如果在閥體與鋁制的處理容器I之間，直接設(shè)置作為異種金屬的不銹鋼制的屏蔽環(huán)，則容易對(duì)閥體或處理容器I造成損傷。對(duì)此，將閥體250的一部分置換成不銹鋼制的抵接板252，并且在閥體250與處理容器I之間，設(shè)置由與屏蔽環(huán)232、242同種的金屬材料構(gòu)成的閥座板204，由此能夠防止閥體250和處理容器I的損傷，抑制金屬顆粒的產(chǎn)生。特別是，在處理容器I側(cè)設(shè)置閥座板204，且在閥體250側(cè)設(shè)置抵接板252，由此能夠避免異種金屬在滑動(dòng)部位的接觸，可靠地降低金屬顆粒的產(chǎn)生。另外，在維護(hù)時(shí)，更換抵接板252、屏蔽環(huán)232、242、閥座板204等即可，因此，也能夠?qū)崿F(xiàn)作為大型部件的閥體250的主體部251和處理容器I的長(zhǎng)壽命化。
[0116]<第二實(shí)施方式的變形例>
[0117]在此，參照?qǐng)D9說明第二實(shí)施方式的閘閥裝置IlOA的變形例。在圖7和圖8中，作為第一抵接部件，使用框狀的抵接板252，但第一抵接部件也可以被分割為多個(gè)。圖9表示作為第一抵接部件配備有多個(gè)板狀的抵接板253的狀態(tài)。為了說明上的方便，圖9中，將抵接板253用格子狀的陰影強(qiáng)調(diào)表示。不同于與用于氣密封閉的O形圈抵接的部件，與屏蔽環(huán)232抵接的第一抵接部件能夠確保導(dǎo)通即可，因此能夠使用分割為多個(gè)的抵接板253。除了分割為多個(gè)的方面以外，抵接板253的構(gòu)成與框狀的抵接板252相同。另外，閥體250的主體部251A的構(gòu)成除了缺口部(圖9中未圖示)分為多個(gè)部分形成的方面以外，與主體部251相同。
[0118]本實(shí)施方式中的其它構(gòu)成、作用和效果與第一實(shí)施方式相同。
[0119][第三實(shí)施方式]
[0120]接著，參照?qǐng)D10，說明本發(fā)明的第三實(shí)施方式涉及的閘閥裝置。圖10是表示本實(shí)施方式涉及的閘閥裝置IlOB的構(gòu)成的截面圖。以下，以本實(shí)施方式涉及的閘閥裝置IlOB與第一和第二實(shí)施方式涉及的閘閥裝置110，IlOA不同的點(diǎn)為中心進(jìn)行說明，對(duì)與第一和第二實(shí)施方式相同的構(gòu)成標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說明。本實(shí)施方式涉及的閘閥裝置IlOB的閥體250的構(gòu)成以及作為閥座部件的閥座板205的構(gòu)成與第一實(shí)施方式的閘閥裝置110不同。
[0121]如圖10所示，在本實(shí)施方式涉及的閘閥裝置IlOB中，閥體250具備:主體部251 ；和由與該主體部251不同的導(dǎo)電性材料構(gòu)成的抵接板252。本實(shí)施方式的閘閥裝置IlOB中，閥體250的構(gòu)成與第二實(shí)施方式的閥體250相同。此外，也可以代替抵接板252而使用分割為多個(gè)的抵接板253 (參照?qǐng)D9)。
[0122]閥座板205在處理容器I的側(cè)壁Ib的外側(cè)配設(shè)在基板搬送用開口 Ibl的周圍。閥座板205為框狀，具有與基板搬送用開口 Ibl基本同等大小的開口 205a。開口 205a的大小優(yōu)選與基板搬送用開口 Ibl相同或其以上。
[0123]閥座板205具有:由導(dǎo)電性材料構(gòu)成的閥座主體206 ;和由與該閥座主體206不同的導(dǎo)電性材料構(gòu)成的閥座側(cè)抵接板207。閥座側(cè)抵接板207相當(dāng)于本發(fā)明中的第二抵接部，與作為第一導(dǎo)電性部件的屏蔽環(huán)232抵接。如圖1