壁lb。該側(cè)壁Ib分隔處理模塊101內(nèi)的空間和與其相鄰的閘閥裝置I1側(cè)的空間。在側(cè)壁Ib設(shè)置有能夠在處理模塊101與搬送模塊103之間實現(xiàn)基板S的轉(zhuǎn)移的基板搬送用開口 lbl。側(cè)壁Ib具有向著閘閥裝置110的面lb2。
[0076]閘閥裝置110具備:殼體201 ;用于使基板搬送用開口 Ibl開閉的閥體202 ;使閥體202移動的閥體變位裝置203 ;和本發(fā)明中的作為閥座部件的閥座板204。閥體變位裝置203與本發(fā)明中的閥體移動機構(gòu)對應(yīng)。
[0077](殼體)
[0078]殼體201收納有閥體202、閥體變位裝置203的一部分和閥座板204。殼體201具有上部、底部、和連結(jié)上部與底部的側(cè)部。殼體201中的處理模塊101側(cè)的側(cè)部和搬送模塊103側(cè)的側(cè)部分別開口。此外，殼體201不是閘閥裝置110中的必須構(gòu)成，使搬送模塊103與處理模塊101相鄰，將閥體202和閥體變位裝置203的一部分收納在搬送模塊103內(nèi)，因此能夠省略。
[0079](閥體)
[0080]閥體202例如由鋁等金屬材料構(gòu)成，為大致長方體形狀。閥體202具有:向著處理模塊101、能夠?qū)⒒灏崴陀瞄_口 Ibl關(guān)閉的密封面202A、與該密封面202A相反側(cè)的背面202B、上表面202C、底面202D、和2個側(cè)面202E，202F。密封面202A具有能夠?qū)⒒灏崴陀瞄_口 Ibl關(guān)閉的大小。
[0081]在閥體202的上表面202C以能夠旋轉(zhuǎn)的方式安裝有2個輥215。2個輥215的一部分比上表面202C更向上方突出。
[0082](閥體變位裝置)
[0083]閥體變位裝置203具有氣缸221、基體部件222和4個連桿223。氣缸221包含氣缸部221a和桿部221b。氣缸部221a安裝于殼體201的底部。桿部221b從氣缸部221a向殼體201的內(nèi)部突出。桿部221b通過供給到氣缸部221a的空氣，在氣缸部221a和桿部221b的軸方向(圖3、圖4中的上下方向)上往復(fù)運動。此外，也可以代替氣缸221，而使用液壓缸、或由發(fā)動機驅(qū)動的滾珠絲杠機構(gòu)。
[0084]基體部件222安裝于桿部221b的前端部。基體部件222例如與閥體202同樣為大致長方體形狀。氣缸221使基體部件222在與側(cè)壁Ib的面lb2平行的方向上移動。
[0085]4個連桿223構(gòu)成將基體部件222與閥體202連接的連桿機構(gòu)。如圖3至圖5所示，各連桿223的一端部以相對于閥體202的側(cè)面202E或202F能夠轉(zhuǎn)動的方式連接，各連桿223的另一個端部以相對于與側(cè)面202E或202F對應(yīng)的基體部件222的側(cè)面能夠轉(zhuǎn)動的方式連接。
[0086]雖然沒有圖示，但基體部件222包含:使各連桿223以相對于這些基體部件222的側(cè)面的連接部為中心按照圖3、圖4中的逆時針方向轉(zhuǎn)動的方式進行加力的彈簧等加力單元；和限制連桿223向逆時針方向轉(zhuǎn)動的限制器。圖3表示由限制器限制連桿223的轉(zhuǎn)動的狀態(tài)。
[0087]閥體變位裝置203使閥體202在圖3所示的待機位置與圖4所示的關(guān)閉位置之間移動。此外，作為閥體變位裝置203使閥體202變位的機構(gòu)，不限于圖3和圖4所示的機構(gòu)。
[0088](閥座板)
[0089]閥座板204在處理容器I的側(cè)壁Ib的外側(cè)，配設(shè)在基板搬送用開口 Ibl的周圍。閥座板204為框狀，具有與基板搬送用開口 Ibl基本同等大小的開口 204a。開口 204a的大小優(yōu)選與基板搬送用開口 lbl i相同或其以上。閥座板204由金屬等導(dǎo)電性材料構(gòu)成。
[0090]圖6是表示安裝于處理容器I的側(cè)壁Ib的狀態(tài)的閥座板204的正視圖。閥座板204通過例如螺釘?shù)裙潭?gòu)件(省略圖示)安裝于處理模塊101的處理容器I中的基板搬送用開口 Ibl的周圍的側(cè)壁Ib的面lb2。并且，閥座板204如圖4所示，在通過閥體202將基板搬送用開口 Ibl關(guān)閉的狀態(tài)下，介于閥體202與處理容器I之間。
[0091](第一氣密密封部件)
[0092]在閥座板204安裝有作為第一氣密密封部件的O形圈231。O形圈231嵌入形成于閥座板204的槽(省略圖示)。O形圈231以遍及整周包圍閥座板204的開口 204a的方式設(shè)置。O形圈231在通過閥體202將基板搬送用開口 Ibl關(guān)閉的狀態(tài)下，夾在閥體202與閥座板204之間。這樣，O形圈231在通過閥體202將基板搬送用開口 Ibl關(guān)閉的狀態(tài)下，介于閥體202與閥座板204之間并將它們之間氣密地封閉。此外，O形圈231也能夠配設(shè)于閥體202側(cè)。
[0093](第一導(dǎo)電性部件)
[0094]在閥座板204安裝有作為第一導(dǎo)電性部件的屏蔽環(huán)232。屏蔽環(huán)232嵌入形成在閥座板204的槽(省略圖示)。屏蔽環(huán)232由金屬等導(dǎo)電性材料構(gòu)成，以遍及整周包圍閥座板204的開口 204a的方式設(shè)置。屏蔽環(huán)232在通過閥體202將基板搬送用開口 Ibl關(guān)閉的狀態(tài)下，夾在閥體202與閥座板204之間。這樣，屏蔽環(huán)232在通過閥體202將基板搬送用開口 Ibl關(guān)閉的狀態(tài)下，介于閥體202與閥座板204之間而將它們之間電連接。其中，電連接是指在所連接的部件間電荷移動、電位相等。此外，屏蔽環(huán)232也能夠配置在閥體202側(cè)。
[0095]O形圈231以遍及整周包圍閥座板204的開口 204a的方式設(shè)置，進而，以屏蔽環(huán)232包圍外O形圈231的外側(cè)的方式配設(shè)。此外，O形圈231和屏蔽環(huán)232的配置也可以相反。即，能夠以遍及整周包圍閥座板204的開口 204a的方式設(shè)置屏蔽環(huán)232，以包圍屏蔽環(huán)232的外側(cè)的方式設(shè)置O形圈231。
[0096](第二氣密密封部件)
[0097]在閥座板204安裝有作為第二氣密密封部件的O形圈241。O形圈241嵌入形成于閥座板204的槽(省略圖示)。O形圈241以遍及整周包圍基板搬送用開口 Ibl的方式設(shè)置。O形圈241夾在閥座板204與側(cè)壁Ib中的基板搬送用開口 Ibl的周圍的面lb2之間。這樣，O形圈241介于閥座板204與處理容器I之間而將它們之間氣密地封閉。此外，O形圈241也能夠配備在處理容器I的側(cè)壁Ib偵U。
[0098](第二導(dǎo)電性部件)
[0099]在閥座板204安裝有作為第二導(dǎo)電性部件的屏蔽環(huán)242。屏蔽環(huán)242嵌入形成于閥座板204的槽(省略圖示)。屏蔽環(huán)242由金屬等導(dǎo)電性材料構(gòu)成，以遍及整周包圍基板搬送用開口 Ibl的方式設(shè)置。屏蔽環(huán)242夾在閥座板204與側(cè)壁Ib中的基板搬送用開口 Ibl的周圍的面lb2之間。這樣，屏蔽環(huán)242介于閥座板204與處理容器I之間而將它們之間電連接。此外，屏蔽環(huán)242也能夠配備在處理容器I的側(cè)壁Ib偵U。
[0100]O形圈241以遍及整周包圍閥座板204的開口 204a和基板搬送用開口 Ibl的方式設(shè)置，并且，以屏蔽環(huán)242包圍O形圈241的外側(cè)的方式配設(shè)。此外，O形圈241和屏蔽環(huán)242的配置也可以相反。即，能夠以遍及整周包圍閥座板204的開口 204a和基板搬送用開口 Ibl的方式設(shè)置屏蔽環(huán)242，以包圍屏蔽環(huán)242的外側(cè)的方式設(shè)置O形圈241。
[0101]作為上述第一導(dǎo)電性部件的屏蔽環(huán)232和作為第二導(dǎo)電性部件的屏蔽環(huán)242只要是任何一個具有電磁波密封功能的部件即可。作為屏蔽環(huán)232、242，優(yōu)選使用例如將不銹鋼等的金屬薄板形成為螺旋狀的螺旋、彈簧、墊圈。
[0102]如上所述，在通過閥體202將基板搬送用開口 Ibl關(guān)閉的狀態(tài)下，通過2個O形圈
231、241，將處理容器1、閥座板204和閥體202之間氣密地密封，來保持處理容器I的氣密性。另外，在通過閥體202將基板搬送用開口 Ibl關(guān)閉的狀態(tài)下，通過2個屏蔽環(huán)232、242，確保處理容器1、閥座板204和閥體202之間的導(dǎo)通，將它們之間電連接。因此，在通過閥體202將基板搬送用開口 Ibl關(guān)閉的狀態(tài)下，閥體202與處理容器I同樣處于接地電位。如果鋁等金屬制的閥體202處于電浮動(floating)的狀態(tài)，則在等離子體處理期間，在閥體202的附近存在異常放電或局部產(chǎn)生等離子體的可能性。因此，本實施方式中，在通過閥體202將基板搬送用開口 Ibl關(guān)閉的狀態(tài)下，設(shè)置閥座板204和2個屏蔽環(huán)232、242，由此確保閥體202和處理容器I之間的導(dǎo)通，防止異常放電和局部的等離子體的發(fā)生。
[0103]另外，本實施方式中，作為閥座部件的閥座板204、作為第一導(dǎo)電性部件的屏蔽環(huán)
232、和作為第二導(dǎo)電性部件的屏蔽環(huán)242都由同種的金屬材料構(gòu)成。其中，“同種的金屬材料”是指，a)含有的主要的元素的種類相同，b)優(yōu)選含有的元素的種類相同，c)更優(yōu)選含有的元素的種類相同且含有比率也相同。另外，在上述a)的情況下，