技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種晶圓搬送機(jī)的晶圓提取和存放機(jī)械手，所述機(jī)械手安裝在晶圓搬送機(jī)上，所述機(jī)械手包括用于裝夾晶圓的機(jī)械手臂和用于傳送機(jī)械手臂的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括固定座、設(shè)于固定座上表面的直線導(dǎo)軌和設(shè)于固定座一側(cè)的動(dòng)力機(jī)構(gòu)，所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括用于驅(qū)動(dòng)的伺服電機(jī)、設(shè)于固定座兩端的同步皮帶輪和用于聯(lián)動(dòng)同步皮帶輪的同步皮帶，所述機(jī)械手臂包括用于裝夾晶圓的托盤和一端固定有托盤的橫臂，所述橫臂的另一端設(shè)有安裝塊，所述安裝塊設(shè)有滑槽與直線導(dǎo)軌配合，所述安裝塊上還連接用于與同步皮帶進(jìn)行固定的固定夾，所述固定座的另一側(cè)設(shè)有折疊的真空氣管。本實(shí)用新型用于自動(dòng)搬送機(jī)上對(duì)晶圓的自動(dòng)提取和存放。

技術(shù)研發(fā)人員：李濤;陳曦;王廣祿
受保護(hù)的技術(shù)使用者：泉州市憬承光電科技有限公司
文檔號(hào)碼：201720195344
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.02
技術(shù)公布日：2017.09.26