本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)制造領(lǐng)域輔助器械，尤其涉及一種晶圓搬送機(jī)的晶圓提取和存放機(jī)械手。

背景技術(shù)：

以往，利用機(jī)械手從容器中取出收容在容器中的半導(dǎo)體晶圓(以下適當(dāng)?shù)胤Q為晶圓)，暫時(shí)載置到校準(zhǔn)裝置上。利用校準(zhǔn)裝置檢測(cè)出凹槽，使載置在校準(zhǔn)裝置上的晶圓到達(dá)規(guī)定位置地對(duì)位。利用機(jī)械手從校準(zhǔn)裝置中取出已由校準(zhǔn)裝置進(jìn)行了對(duì)位的晶圓，然后輸送到用于處理晶圓的晶圓處理裝置。

在上述方法中，即使由校準(zhǔn)裝置檢測(cè)出了晶圓的凹槽，也存在在使晶圓從校準(zhǔn)裝置移動(dòng)到機(jī)械手上時(shí)晶圓的位置偏移的問(wèn)題。由此，在使晶圓從機(jī)械手移動(dòng)到晶圓處理裝置時(shí)，存在晶圓相對(duì)于晶圓處理裝置產(chǎn)生位置偏移而無(wú)法進(jìn)行高精度的晶圓處理的問(wèn)題。另外，還產(chǎn)生需要花費(fèi)用于將晶圓載置到校準(zhǔn)裝置并進(jìn)行對(duì)位的時(shí)間、確保用于設(shè)置校準(zhǔn)裝置的空間等很多問(wèn)題。

然而，已知如下方法，利用機(jī)械手從容器取出晶圓，在機(jī)械手上進(jìn)行對(duì)位，然后將晶圓輸送到晶圓處理裝置中。在該方法中，在機(jī)械手上，在利用晶圓保持部保持著晶圓的狀態(tài)下使之旋轉(zhuǎn)，利用凹槽傳感器檢測(cè)出凹槽，從而進(jìn)行晶圓的對(duì)位。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種晶圓搬送機(jī)的晶圓提取和存放機(jī)械手。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是一種晶圓搬送機(jī)的晶圓提取和存放機(jī)械手，所述機(jī)械手安裝在晶圓搬送機(jī)上，其特征在于：所述機(jī)械手包括用于裝夾晶圓的機(jī)械手臂和用于傳送機(jī)械手臂的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括固定座、設(shè)于固定座上表面的直線導(dǎo)軌和設(shè)于固定座一側(cè)的動(dòng)力機(jī)構(gòu)，所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括用于驅(qū)動(dòng)的伺服電機(jī)、設(shè)于固定座兩端的同步皮帶輪和用于聯(lián)動(dòng)同步皮帶輪的同步皮帶，所述機(jī)械手臂包括用于裝夾晶圓的托盤和一端固定有托盤的橫臂，所述橫臂的另一端設(shè)有安裝塊，所述安裝塊設(shè)有滑槽與直線導(dǎo)軌配合，所述安裝塊上還連接用于與同步皮帶進(jìn)行固定的固定夾，所述固定座的另一側(cè)設(shè)有折疊的真空氣管。

進(jìn)一步的，所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)下方分布有機(jī)械手行程傳感器。

進(jìn)一步的，所述直線導(dǎo)軌上首尾兩端均設(shè)有機(jī)械手臂的限位塊。

進(jìn)一步的，所述托盤呈“C”型。

進(jìn)一步地，所述托盤厚度為1.5mm。

進(jìn)一步的，所述固定夾與安裝塊配合，將同步皮帶夾設(shè)在中間，并通過(guò)螺栓進(jìn)行鎖緊，所述固定夾與同步皮帶花紋的接觸面設(shè)有匹配的波浪槽。

最后，所述固定座底部設(shè)有安裝基座，用于安裝在晶圓搬送機(jī)上。

原理：通過(guò)伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)同步皮帶帶動(dòng)機(jī)械手臂在直線導(dǎo)軌上進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)，即托盤對(duì)晶圓進(jìn)行提取和存放，通過(guò)真空氣管對(duì)托盤進(jìn)行輔助，托盤對(duì)晶圓采用真空吸附方式進(jìn)行裝夾晶圓。

其中，伺服電機(jī)的功率依據(jù)晶圓搬送機(jī)來(lái)選取，行程傳感器采用市場(chǎng)流通的國(guó)標(biāo)組件。

由上述對(duì)本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)的描述可知，和現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下優(yōu)點(diǎn)：

1、本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)適用于自動(dòng)晶圓搬送機(jī)的晶圓提取和存放，通過(guò)驅(qū)動(dòng)伺服電機(jī)和同步皮帶的聯(lián)動(dòng)，帶動(dòng)機(jī)械手臂在直線導(dǎo)軌上的滑行，使得機(jī)械手臂的動(dòng)作較為平穩(wěn)。

2、本實(shí)用新型設(shè)有機(jī)械手行程傳感器和伺服電機(jī)為國(guó)標(biāo)組件，使用較為穩(wěn)定，使得傳動(dòng)精度較高。

3、本實(shí)用新型設(shè)有的行程傳感器和限位塊，能保證機(jī)械手的行程，防止超出行程造成的損失。

4、本實(shí)用新型的托盤結(jié)構(gòu)和尺寸是根據(jù)卡匣進(jìn)行專門的設(shè)計(jì)，能較好的匹配卡匣的尺寸和層數(shù)間的間隙。

附圖說(shuō)明

構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1為本實(shí)用新型一種晶圓搬送機(jī)的晶圓提取和存放機(jī)械手的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型一種晶圓搬送機(jī)的晶圓提取和存放機(jī)械手的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型一種晶圓搬送機(jī)的晶圓提取和存放機(jī)械手的左側(cè)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型一種晶圓搬送機(jī)的晶圓提取和存放機(jī)械手的主視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實(shí)用新型一種晶圓搬送機(jī)的晶圓提取和存放機(jī)械手的安裝塊和同步皮帶結(jié)合結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。

實(shí)施例

參考圖1、圖2、圖3、圖4和圖5，一種晶圓搬送機(jī)的晶圓提取和存放機(jī)械手，機(jī)械手安裝在晶圓搬送機(jī)上，機(jī)械手包括用于裝夾晶圓的機(jī)械手臂1和用于傳送機(jī)械手臂的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括固定座3、設(shè)于固定座上表面的直線導(dǎo)軌4和設(shè)于固定座一側(cè)的動(dòng)力機(jī)構(gòu)5，動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括用于驅(qū)動(dòng)的伺服電機(jī)6、設(shè)于固定座兩端的同步皮帶輪7和用于聯(lián)動(dòng)同步皮帶輪的同步皮帶8，機(jī)械手臂包括用于裝夾晶圓的托盤9和一端固定有托盤的橫臂10，橫臂10的另一端設(shè)有安裝塊11，安裝塊設(shè)有滑槽12與直線導(dǎo)軌4配合，安裝塊上還連接用于與同步皮帶進(jìn)行固定的固定夾13，固定座的另一側(cè)設(shè)有折疊的真空氣管14。

動(dòng)力機(jī)構(gòu)5下方分布有機(jī)械手行程傳感器15。

直線導(dǎo)軌4上首尾兩端均設(shè)有機(jī)械手臂的限位塊16。

托盤9呈“C”型。

托盤9厚度為1.5mm。

固定夾13與安裝塊11配合，將同步皮帶8夾設(shè)在中間，并通過(guò)螺栓進(jìn)行鎖緊，固定夾13與同步皮帶8花紋的接觸面設(shè)有匹配的波浪槽。

固定座3底部設(shè)有安裝基座，用于安裝在晶圓搬送機(jī)上。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。