本發(fā)明涉及工業(yè)自動(dòng)化技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種外包晶圓測(cè)試品質(zhì)檢驗(yàn)系統(tǒng)及其檢驗(yàn)方法。

背景技術(shù)：

在現(xiàn)今的晶圓制造中，需要對(duì)每一個(gè)制造環(huán)節(jié)做品質(zhì)檢測(cè)，特別是測(cè)試環(huán)節(jié)的良率要求以滿足客戶對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)的要求。一般的，發(fā)包商(制造商)將生產(chǎn)的晶圓發(fā)給承包商進(jìn)行外包測(cè)試。外包測(cè)試過(guò)程中，除了承包商需對(duì)每一個(gè)測(cè)試步驟進(jìn)行品質(zhì)檢驗(yàn)外，發(fā)包商對(duì)完工產(chǎn)品進(jìn)行再一次檢驗(yàn)是交付給客戶之前對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)一項(xiàng)重要把關(guān)。

目前，大部分的發(fā)包商完全信任承包商的檢驗(yàn)結(jié)果而不對(duì)檢驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行二次檢驗(yàn)，但是發(fā)包商會(huì)承擔(dān)產(chǎn)品不符合客戶品質(zhì)要求的風(fēng)險(xiǎn)，或者采用發(fā)包商的制造執(zhí)行系統(tǒng)對(duì)外包產(chǎn)品按測(cè)試流程中的每一個(gè)測(cè)試步驟進(jìn)行逐步檢驗(yàn)，確保每一步檢驗(yàn)過(guò)程中對(duì)測(cè)試品質(zhì)進(jìn)行檢驗(yàn)直至完工，但這樣的檢驗(yàn)方法不僅花費(fèi)發(fā)包商較多的人力，而且品質(zhì)檢驗(yàn)的效率很低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于，提供一種外包晶圓測(cè)試品質(zhì)檢驗(yàn)系統(tǒng)及其檢驗(yàn)方法，對(duì)外包測(cè)試的測(cè)試結(jié)果進(jìn)行自動(dòng)比對(duì)，減少檢驗(yàn)過(guò)程中的人力，提高檢驗(yàn)效率。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種外包晶圓測(cè)試品質(zhì)檢驗(yàn)系統(tǒng)，用于發(fā)包商對(duì)承包商系統(tǒng)的測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行檢驗(yàn)，包括：

外包制造系統(tǒng)，用于發(fā)包商新建外包工作訂單并存儲(chǔ)待檢測(cè)晶圓的批次的數(shù)據(jù)；

品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)，用于存儲(chǔ)晶圓的測(cè)試流程和品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)；

數(shù)據(jù)結(jié)果系統(tǒng)，用于接收和存儲(chǔ)每一批次晶圓的測(cè)試數(shù)據(jù)，并將測(cè)試數(shù)據(jù) 進(jìn)行加工匯總，與品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比對(duì)得出測(cè)試結(jié)果；

外包產(chǎn)品處置系統(tǒng)，用于存儲(chǔ)不符合品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)的批次的晶圓，并由發(fā)包商對(duì)所述外包產(chǎn)品處置系統(tǒng)中的晶圓批次進(jìn)行復(fù)審；

接口系統(tǒng)，用于所述外包制造系統(tǒng)、所述品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)、所述數(shù)據(jù)結(jié)果系統(tǒng)以及所述外包產(chǎn)品處置系統(tǒng)與所述承包商系統(tǒng)之間的數(shù)據(jù)傳遞。

可選的，承包商系統(tǒng)和發(fā)包商之間通過(guò)所述接口系統(tǒng)傳送的數(shù)據(jù)包括工作訂單、測(cè)試流程、品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、測(cè)試數(shù)據(jù)以及不合格晶圓批次的處置結(jié)果。

可選的，發(fā)包商根據(jù)客戶和內(nèi)部管控的要求制定晶圓的測(cè)試流程和品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，測(cè)試流程包括若干個(gè)測(cè)試步驟，每個(gè)測(cè)試步驟對(duì)應(yīng)一個(gè)品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。

可選的，每個(gè)批次包括若干片晶圓，每片晶圓中包括若干個(gè)晶粒，每片晶圓中合格的晶粒的比例為第一良率，每個(gè)批次中晶圓的第一良率的平均值為第二良率。

可選的，品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)為良率標(biāo)準(zhǔn)，良率標(biāo)準(zhǔn)包括第一良率標(biāo)準(zhǔn)和第二良率標(biāo)準(zhǔn)，所述第一良率標(biāo)準(zhǔn)為所述第一良率的最低值，所述第二良率標(biāo)準(zhǔn)為所示第二良率的最低值。

可選的，所述第一良率標(biāo)準(zhǔn)為85％，所述第二良率標(biāo)準(zhǔn)為90％。

相應(yīng)的，本發(fā)明還提供一種外包晶圓測(cè)試品質(zhì)檢驗(yàn)方法，采用如權(quán)利要求1-6中任意一項(xiàng)所述的外包晶圓測(cè)試品質(zhì)檢驗(yàn)方法，包括如下步驟：

發(fā)包商制定晶圓的測(cè)試流程和品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)存儲(chǔ)于所述品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)中，并將測(cè)試流程和品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)通過(guò)所述接口系統(tǒng)提供給承包商；

發(fā)包商在所述外包制造系統(tǒng)中新建外包工作訂單，發(fā)包商將工作訂單和晶圓提供給承包商，承包商通過(guò)所述接口系統(tǒng)接入外包工作訂單，依據(jù)測(cè)試流程對(duì)每一批次的晶圓進(jìn)行測(cè)試，并將測(cè)試數(shù)據(jù)通過(guò)所述接口系統(tǒng)傳送至數(shù)據(jù)結(jié)果系統(tǒng)；

承包商測(cè)試完成之后，所述數(shù)據(jù)結(jié)果系統(tǒng)自動(dòng)收集和計(jì)算每一批次晶圓的測(cè)試結(jié)果，并連接到所述品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)將測(cè)試結(jié)果與品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比對(duì)得出比對(duì)結(jié)果；

所述外包制造系統(tǒng)自動(dòng)連接到數(shù)據(jù)結(jié)果系統(tǒng)查看比對(duì)結(jié)果，如符合品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，則通過(guò)所述接口系統(tǒng)通知承包商將該批次晶圓發(fā)貨，如不符合品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)， 則將該批次晶圓傳輸?shù)剿鐾獍a(chǎn)品處置系統(tǒng)中進(jìn)行復(fù)審；

發(fā)包商對(duì)所述產(chǎn)品處置系統(tǒng)中的批次的晶圓的測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，并決定該批次拆批、報(bào)廢或繼續(xù)測(cè)試。

可選的，承包商在測(cè)試過(guò)程中或測(cè)試完成后，發(fā)現(xiàn)不符合品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)的晶圓批次時(shí)，將該批次晶圓傳送到所述外包產(chǎn)品處置保留系統(tǒng)進(jìn)行復(fù)審。

可選的，若對(duì)所述產(chǎn)品處置系統(tǒng)中的批次的晶圓拆批，將不符合品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)的晶圓報(bào)廢，符合品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)的晶圓新建立在一個(gè)子批次中，所述數(shù)據(jù)結(jié)果系統(tǒng)將子批次的測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行重新收集和計(jì)算。

可選的，承包商測(cè)試完成后，數(shù)據(jù)結(jié)果系統(tǒng)收到承包商發(fā)送的該批次的合計(jì)晶粒數(shù)量文件。

可選的，發(fā)包商在外包制造系統(tǒng)中執(zhí)行拆批、報(bào)廢或繼續(xù)測(cè)試的動(dòng)作時(shí)，通過(guò)所述接口系統(tǒng)通知承包商在承包商系統(tǒng)中進(jìn)行相應(yīng)的動(dòng)作。

本發(fā)明的外包晶圓測(cè)試品質(zhì)檢驗(yàn)系統(tǒng)及其檢驗(yàn)方法中，數(shù)據(jù)結(jié)果系統(tǒng)自動(dòng)收集和計(jì)算每一批次的測(cè)試結(jié)果，并將測(cè)試結(jié)果與品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比對(duì)得出比對(duì)結(jié)果，將不合格的批次傳送到產(chǎn)品處置系統(tǒng)進(jìn)行復(fù)審，從而發(fā)包商僅需對(duì)測(cè)試過(guò)程中發(fā)現(xiàn)問(wèn)題的批次作審查和處置，可大幅縮減發(fā)包商和承包商的溝通、系統(tǒng)操作和等待時(shí)間，提高晶圓測(cè)試的效率和完工品質(zhì)檢驗(yàn)效率。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明一實(shí)施例中的外包晶圓測(cè)試品質(zhì)檢驗(yàn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的示意圖；

圖2為本發(fā)明一實(shí)施例中的外包晶圓測(cè)試品質(zhì)檢驗(yàn)的方法流程圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合示意圖對(duì)本發(fā)明的外包晶圓測(cè)試品質(zhì)檢驗(yàn)系統(tǒng)及其檢驗(yàn)方法進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明，而仍然實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本發(fā)明的限制。

本發(fā)明的核心思想在于，承包商根據(jù)外包商提供的測(cè)試流程以及品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)每一批次的產(chǎn)品進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試完成后，數(shù)據(jù)結(jié)果系統(tǒng)自動(dòng)獲取品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)系 統(tǒng)中的品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)外包測(cè)試的測(cè)試結(jié)果與品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行自動(dòng)比對(duì)得到比對(duì)結(jié)果，制造系統(tǒng)連接到數(shù)據(jù)結(jié)果系統(tǒng)中查看比對(duì)結(jié)果并做出判斷，將不合格的晶圓批次傳輸?shù)疆a(chǎn)品保留系統(tǒng)中進(jìn)行復(fù)審。發(fā)包商依據(jù)該批次的晶圓的測(cè)試數(shù)據(jù)判定進(jìn)行繼續(xù)測(cè)試、報(bào)廢或者拆批，本發(fā)明實(shí)現(xiàn)測(cè)試結(jié)果的自動(dòng)檢驗(yàn)，從而提高產(chǎn)品測(cè)試的效率。

下文結(jié)合圖1-2對(duì)本發(fā)明的外包產(chǎn)品測(cè)試系統(tǒng)及其測(cè)試方法進(jìn)行具體說(shuō)明。

參考圖1所示，本發(fā)明的外包晶圓測(cè)試品質(zhì)檢驗(yàn)系統(tǒng)包括：

外包制造系統(tǒng)1，用于發(fā)包商新建外包工作訂單并存儲(chǔ)待檢測(cè)晶圓的批次的數(shù)據(jù)；

品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)3，用于存儲(chǔ)晶圓的測(cè)試流程和品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，發(fā)包商根據(jù)客戶的要求以及內(nèi)部的管控要求制定的測(cè)試流程和品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，并將測(cè)試流程和品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)存儲(chǔ)在所述品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)3中；

數(shù)據(jù)結(jié)果系統(tǒng)4，用于接收承包商發(fā)送的晶圓的測(cè)試數(shù)據(jù)，并存儲(chǔ)每一批次的晶圓的測(cè)試數(shù)據(jù)，承包商測(cè)試完成之后，所述數(shù)據(jù)結(jié)果系統(tǒng)4將測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行加工匯總，與品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比對(duì)得出測(cè)試結(jié)果；

外包產(chǎn)品處置系統(tǒng)5，用于存儲(chǔ)不符合品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)的批次的晶圓，并由發(fā)包商對(duì)所述外包產(chǎn)品處置系統(tǒng)中的晶圓批次進(jìn)行復(fù)審；

接口系統(tǒng)2，承包商相應(yīng)的建立的自己的承包商系統(tǒng)6，接口系統(tǒng)2用于外包制造系統(tǒng)1、品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)3、數(shù)據(jù)結(jié)果系統(tǒng)4以及外包產(chǎn)品處置系統(tǒng)5與承包商系統(tǒng)6之間的數(shù)據(jù)傳遞，承包商和發(fā)包商之間傳送的數(shù)據(jù)包括：工作訂單、測(cè)試流程、品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、測(cè)試數(shù)據(jù)以及不合格晶圓批次的處置結(jié)果等。

參考圖2所示，本發(fā)明還提供一種外包晶圓測(cè)試品質(zhì)檢驗(yàn)方法，采用圖1中所示的外包晶圓測(cè)試品質(zhì)檢驗(yàn)系統(tǒng)，測(cè)試方法包括如下步驟：

執(zhí)行步驟S1，發(fā)包商根據(jù)客戶以及內(nèi)部管控的要求制定晶圓的測(cè)試流程和品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，將測(cè)試流程和品質(zhì)標(biāo)志存儲(chǔ)于品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)3中，并通過(guò)接口系統(tǒng)2提供給承包商，承包商系統(tǒng)6通過(guò)接口系統(tǒng)2接收測(cè)試流程和品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。測(cè)試流程包括若干個(gè)測(cè)試步驟，一般的，需要采用不同的測(cè)試方法對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試，要求晶圓能夠通過(guò)不同的方法的測(cè)試，以檢測(cè)晶圓是否符合客戶的要求。

例如，本實(shí)施例中，測(cè)試流程包括5-7個(gè)測(cè)試步驟，每一片晶圓逐個(gè)經(jīng)過(guò)每 一測(cè)試步驟，品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)為晶圓的良率標(biāo)準(zhǔn)，每片晶圓中合格的晶粒的所占的比例為第一良率，在某一步測(cè)試步驟過(guò)程中，上一測(cè)試步驟測(cè)試中的不合格的晶粒不進(jìn)行下一步測(cè)試步驟，從而隨著測(cè)試流程的進(jìn)行，一片晶圓上的第一良率的值會(huì)越來(lái)越小。每個(gè)批次中所有晶圓的第一良率的平均值為第二良率，隨著測(cè)試的進(jìn)行，由于一片晶圓上的第一良率會(huì)越來(lái)越小，第二良率同樣會(huì)越來(lái)越小。良率標(biāo)準(zhǔn)包括第一良率標(biāo)準(zhǔn)和第二良率標(biāo)準(zhǔn)，第一良率標(biāo)準(zhǔn)即為第一良率的最低值，第二良率標(biāo)準(zhǔn)即為第二良率的最低值。例如，第一良率標(biāo)準(zhǔn)為85％，第二良率標(biāo)準(zhǔn)為90％，良率標(biāo)準(zhǔn)既作為每一測(cè)試步驟中的品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，也是所有測(cè)試步驟完成之后的品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。也就是說(shuō)，在某一步測(cè)試過(guò)程中，當(dāng)一片晶圓的第一良率低于第一良率標(biāo)準(zhǔn)，或者第二良率低于第二良率標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，可以將該批次的晶圓停止測(cè)試流程，等待發(fā)包商對(duì)該批次進(jìn)行處理。

執(zhí)行步驟S2，發(fā)包商在外包制造系統(tǒng)1中新建外包工作訂單，外包工作訂單中包括晶圓的批次信息，每個(gè)批次包括若干片晶圓，每片晶圓中包括若干個(gè)晶粒，例如，一個(gè)批次的中包括25片晶圓，每一片晶圓中包括1000顆晶粒，外包制造系統(tǒng)1中存儲(chǔ)了這些批次的信息，發(fā)包商將外包工作訂單和晶圓提供給承包商。接著，承包商在承包商系統(tǒng)6中通過(guò)接口系統(tǒng)2接入外包工作訂單，并依據(jù)發(fā)包商提供的測(cè)試流程要對(duì)每個(gè)批次的每一片晶圓進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試過(guò)程中不斷的將測(cè)試數(shù)據(jù)傳送回?cái)?shù)據(jù)結(jié)果系統(tǒng)4直至測(cè)試完成。

執(zhí)行步驟S3，承包商測(cè)試完成之后，承包商會(huì)向數(shù)據(jù)結(jié)果系統(tǒng)4發(fā)送合計(jì)晶粒數(shù)量文件(GDC，Good Die Count)。此時(shí)，數(shù)據(jù)結(jié)果系統(tǒng)4自動(dòng)收集、匯總該批次所有測(cè)試數(shù)據(jù)，計(jì)算測(cè)試完成之后一個(gè)批次的晶圓的第一良率的第二良率，并自動(dòng)連接到品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)3中與良率標(biāo)準(zhǔn)中的第一良率標(biāo)準(zhǔn)和第二良率標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比對(duì)，得出整個(gè)批次以及每一片晶圓是否符合品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)的比對(duì)結(jié)果。

執(zhí)行步驟S4，發(fā)包商連接到測(cè)試結(jié)果系統(tǒng)4中，根據(jù)試結(jié)果系統(tǒng)4中的比對(duì)結(jié)果進(jìn)行判斷，如比對(duì)結(jié)果中顯示第一良率、第二良率均符合良率標(biāo)準(zhǔn)，則通知承包商將該批次晶圓發(fā)貨，如比對(duì)結(jié)果中顯示第二良率不符合第二良率標(biāo)準(zhǔn)，則將該批次晶圓傳送到外包產(chǎn)品處置系統(tǒng)5中進(jìn)行復(fù)審。此外，在某一步測(cè)試過(guò)程中，當(dāng)一片晶圓的第一良率低于第一良率標(biāo)準(zhǔn)，或者第二良率低于第二良率標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，將該批次的晶圓停止測(cè)試流程，則將該批次晶圓傳送到產(chǎn)品處 置系統(tǒng)5中進(jìn)行復(fù)審，等待發(fā)包商對(duì)該批次進(jìn)行審查決策，從而決定該批次的下一步操作。

執(zhí)行步驟S5，發(fā)包商對(duì)外包產(chǎn)品處置系統(tǒng)5的問(wèn)題批次的晶圓依次進(jìn)行審查，外包制造系統(tǒng)1可自動(dòng)連接到數(shù)據(jù)結(jié)果系統(tǒng)4查看該批次的晶圓的詳細(xì)測(cè)試數(shù)據(jù)，包括整個(gè)批次和每一片晶圓在每一個(gè)測(cè)試步驟中的測(cè)試數(shù)據(jù)信息。如果發(fā)包商確認(rèn)該批次晶圓的問(wèn)題可以忽略，則將該批次的晶圓完成發(fā)貨或者繼續(xù)進(jìn)行剩下未完成的測(cè)試步驟。如果發(fā)包商確認(rèn)該批次晶圓的問(wèn)題嚴(yán)重，難以符合客戶的要求，則將整批晶圓報(bào)廢。發(fā)包商還可以將該批次的晶圓進(jìn)行拆批，將不符合第一良率的晶圓報(bào)廢，將其余的晶圓新建在一個(gè)子批次中，拆批后的子批次中每一片晶圓在每一步驟的測(cè)試數(shù)據(jù)仍然需數(shù)據(jù)結(jié)果系統(tǒng)進(jìn)行再一次收集、計(jì)算和檢驗(yàn)，保證該批次的第一良率和第二良率符合良率標(biāo)準(zhǔn)。

本發(fā)明中，數(shù)據(jù)結(jié)果系統(tǒng)4自動(dòng)收集和計(jì)算每一批次的測(cè)試結(jié)果，并連接到品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)3中將測(cè)試結(jié)果與品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比對(duì)得出比對(duì)結(jié)果，將不合格的批次傳送到產(chǎn)品處置系統(tǒng)進(jìn)行復(fù)審，從而發(fā)包商僅需對(duì)測(cè)試過(guò)程中發(fā)現(xiàn)問(wèn)題的批次作審查和處置，可大幅縮減發(fā)包商和承包商的溝通、系統(tǒng)操作和等待時(shí)間，提高晶圓測(cè)試的效率和完工品質(zhì)檢驗(yàn)效率。

需要說(shuō)明的是，發(fā)包商的外包制造系統(tǒng)1中的產(chǎn)品批次信息與承包商系統(tǒng)5中的產(chǎn)品批次信息應(yīng)該一致，也就是說(shuō)，發(fā)包商在制造系統(tǒng)1中執(zhí)行繼續(xù)測(cè)試、報(bào)廢或拆批動(dòng)作時(shí)，通知承包商進(jìn)行相應(yīng)繼續(xù)測(cè)試、報(bào)廢或拆批動(dòng)作。

綜上所述，本發(fā)明的外包晶圓測(cè)試品質(zhì)檢驗(yàn)系統(tǒng)，包括外包制造系統(tǒng)、品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)、數(shù)據(jù)結(jié)果系統(tǒng)、外包產(chǎn)品處置系統(tǒng)以及與承包商系統(tǒng)。本發(fā)明的外包晶圓測(cè)試品質(zhì)檢驗(yàn)方法中，承包商測(cè)試完成后，數(shù)據(jù)結(jié)果系統(tǒng)自動(dòng)獲取標(biāo)準(zhǔn)評(píng)價(jià)系統(tǒng)中的良率標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)外包測(cè)試的測(cè)試結(jié)果與良率標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行自動(dòng)比對(duì)，制造系統(tǒng)鏈接到數(shù)據(jù)結(jié)果系統(tǒng)中查看比對(duì)結(jié)果并做出判斷，將不合格的產(chǎn)品批次傳輸?shù)疆a(chǎn)品保留系統(tǒng)中進(jìn)行復(fù)審，發(fā)包商判定進(jìn)行繼續(xù)測(cè)試、報(bào)廢或者拆批。本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)測(cè)試結(jié)果的自動(dòng)檢驗(yàn)，從而提高產(chǎn)品測(cè)試的效率。

顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。