1.一種晶圓搬送機(jī)的晶圓提取和存放機(jī)械手，所述機(jī)械手安裝在晶圓搬送機(jī)上，其特征在于：所述機(jī)械手包括用于裝夾晶圓的機(jī)械手臂(1)和用于傳送機(jī)械手臂的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(2)，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括固定座(3)、設(shè)于固定座上表面的直線導(dǎo)軌(4)和設(shè)于固定座一側(cè)的動(dòng)力機(jī)構(gòu)(5)，所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括用于驅(qū)動(dòng)的伺服電機(jī)(6)、設(shè)于固定座兩端的同步皮帶輪(7)和用于聯(lián)動(dòng)同步皮帶輪的同步皮帶(8)，所述機(jī)械手臂包括用于裝夾晶圓的托盤(pán)(9)和一端固定有托盤(pán)的橫臂(10)，所述橫臂(10)的另一端設(shè)有安裝塊(11)，所述安裝塊設(shè)有滑槽(12)與直線導(dǎo)軌(4)配合，所述安裝塊上還連接用于與同步皮帶進(jìn)行固定的固定夾(13)，所述固定座的另一側(cè)設(shè)有折疊的真空氣管(14)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓搬送機(jī)的晶圓提取和存放機(jī)械手，其特征在于：所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)(5)下方分布有機(jī)械手行程傳感器(15)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓搬送機(jī)的晶圓提取和存放機(jī)械手，其特征在于：所述直線導(dǎo)軌(4)上首尾兩端均設(shè)有機(jī)械手臂的限位塊(16)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓搬送機(jī)的晶圓提取和存放機(jī)械手，其特征在于：所述托盤(pán)(9)呈“C”型。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓搬送機(jī)的晶圓提取和存放機(jī)械手，其特征在于：所述托盤(pán)(9)厚度為1.5mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓搬送機(jī)的晶圓提取和存放機(jī)械手，其特征在于：所述固定夾(13)與安裝塊(11)配合，將同步皮帶(8)夾設(shè)在中間，并通過(guò)螺栓進(jìn)行鎖緊，所述固定夾(13)與同步皮帶(8)花紋的接觸面設(shè)有匹配的波浪槽。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓搬送機(jī)的晶圓提取和存放機(jī)械手，其特征在于：所述固定座(3)底部設(shè)有安裝基座，用于安裝在晶圓搬送機(jī)上。