技術(shù)編號：11342983
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)制造領(lǐng)域輔助器械，尤其涉及一種晶圓搬送機的晶圓提取和存放機械手。背景技術(shù)以往，利用機械手從容器中取出收容在容器中的半導(dǎo)體晶圓(以下適當?shù)胤Q為晶圓)，暫時載置到校準裝置上。利用校準裝置檢測出凹槽，使載置在校準裝置上的晶圓到達規(guī)定位置地對位。利用機械手從校準裝置中取出已由校準裝置進行了對位的晶圓，然后輸送到用于處理晶圓的晶圓處理裝置。在上述方法中，即使由校準裝置檢測出了晶圓的凹槽，也存在在使晶圓從校準裝置移動到機械手上時晶圓的位置偏移的問題。由此，在使晶圓從機械手移動到晶圓處...
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