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一種用于片上集成的磁芯電感及其制造方法與流程

文檔序號:12888859閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種用于片上集成的磁芯電感結(jié)構(gòu),包括芯片;設(shè)置在芯片背面的絕緣層;設(shè)置在所述絕緣層表面的第一線圈層;覆蓋于所述第一線圈層及所述絕緣層的絕緣包覆層;設(shè)置在所述絕緣包覆層表面的第二線圈層;設(shè)置所述絕緣包覆層內(nèi)部且與第一線圈層與所述第二線圈層電連接的導(dǎo)電通孔,以及設(shè)置所述第一線圈層與所述第二線圈層之間,且位于所述絕緣包覆層之內(nèi)的磁芯層。

技術(shù)研發(fā)人員:周予虹;李昭強(qiáng);孫鵬
受保護(hù)的技術(shù)使用者:華進(jìn)半導(dǎo)體封裝先導(dǎo)技術(shù)研發(fā)中心有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.08.16
技術(shù)公布日:2017.11.07
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