本發(fā)明涉及貼膜裝置的技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于半導(dǎo)體貼膜的貼合機(jī)。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體，指的是在常溫的狀態(tài)下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。在如今智能化的時代，通訊、計算機(jī)以及物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展與半導(dǎo)體的使用密切相關(guān)，半導(dǎo)體逐漸影響著人類的技術(shù)進(jìn)步以及經(jīng)濟(jì)發(fā)展。市場上對半導(dǎo)體的需求呈井噴性增長。由于半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)上的限制，容易因為刮蹭或者其他方式導(dǎo)致半導(dǎo)體損壞而不能正常使用，因此在日常的保護(hù)中，需要將半導(dǎo)體進(jìn)行貼膜處理。

現(xiàn)有的對半導(dǎo)體進(jìn)行貼膜的方法是通過人工貼膜處理，而現(xiàn)有的處理方法主要存在以下問題：但由于半導(dǎo)體需求量的越來越多，需要搬運傳送半導(dǎo)體的工作人員的數(shù)量就需要逐漸增多，增加人工成本。由于半導(dǎo)體的體積越來越小，在傳送過程中容易導(dǎo)致遺失，而且并不能保證半導(dǎo)體的質(zhì)量。人工對半導(dǎo)體進(jìn)行逐一貼膜的效率低，而且保證不了貼膜的質(zhì)量，容易出錯。這些都是半導(dǎo)體貼膜中急需解決的問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是針對現(xiàn)有技術(shù)中的上述不足，提供了一種用于半導(dǎo)體貼膜的貼合機(jī)，能夠?qū)崿F(xiàn)對半導(dǎo)體貼膜的自動控制，保證貼膜的質(zhì)量，提高了貼膜的效率，降低成本。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的具體方案如下：一種用于半導(dǎo)體貼膜的貼合機(jī)，包括對半導(dǎo)體載盤進(jìn)行上下料操作的取料裝置、對半導(dǎo)體載盤上的多塊半導(dǎo)體進(jìn)行貼膜的貼膜裝置和往返在取料裝置和貼膜裝置之間，用于移動半導(dǎo)體載料的移料裝置；所述移料裝置和貼膜裝置之間設(shè)有用于檢測半導(dǎo)體載盤位置的檢測裝置和與檢測裝置配合的和用于調(diào)整半導(dǎo)體載盤位置的調(diào)位裝置，所述調(diào)位裝置與移料裝置活動連接。

進(jìn)一步的，所述檢測裝置包括在半導(dǎo)體載盤移動的過程中對半導(dǎo)體載盤進(jìn)行拍照的第一工業(yè)相機(jī)和設(shè)置在貼膜裝置上方的第二工業(yè)相機(jī)。

進(jìn)一步的，所述調(diào)位裝置包括工作平臺、用于驅(qū)動工作平臺升降的升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)、用于驅(qū)動工作平臺轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動驅(qū)動機(jī)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括升降板、與升降板連接的多個第一絲桿螺母、與第一絲桿螺母配合的第一絲桿、與第一絲桿連接的皮帶輪、繞設(shè)在皮帶輪的傳動皮帶和用于驅(qū)動傳動皮帶運動的升降驅(qū)動電機(jī)，所述升降驅(qū)動電機(jī)和絲桿均與工作平臺連接。

進(jìn)一步的，所述轉(zhuǎn)動驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括與工作平臺滑動連接的固定座、連接于固定座的轉(zhuǎn)動軸、固定在固定座一側(cè)的轉(zhuǎn)動驅(qū)動電機(jī)、與轉(zhuǎn)動驅(qū)動電機(jī)相配合的第二絲杠和活動連接于第二絲杠的第二絲杠螺母；所述轉(zhuǎn)動軸與升降板連接，所述升降板與第二絲杠螺母之間設(shè)有轉(zhuǎn)動偏差補償裝置。

進(jìn)一步的，所述貼膜裝置包括用于卷起膜料的第一轉(zhuǎn)軸、用于使得膜料中的底膜和膜料分離的第一傳動輪、用于卷起底膜的第二轉(zhuǎn)軸、用于將膜料拉平的導(dǎo)膜板、用于對膜料進(jìn)行加熱的加熱裝置、用于使得膜料中的保護(hù)膜與上膜分離的剝膜刀、撕膜滾輪、用于卷起上膜的第二傳動輪和第三轉(zhuǎn)軸；所述第二傳動輪與第三轉(zhuǎn)軸之間設(shè)有從動壓帶輪。

進(jìn)一步的，所述取料裝置包括用于放置半導(dǎo)體載盤的接料平臺和用于將半導(dǎo)體載盤進(jìn)行搬運的機(jī)械手。

進(jìn)一步的，所述移料裝置包括y軸驅(qū)動機(jī)構(gòu)和x軸驅(qū)動機(jī)構(gòu)，所述y軸驅(qū)動機(jī)構(gòu)與x軸驅(qū)動機(jī)構(gòu)滑動連接，所述x軸驅(qū)動機(jī)構(gòu)和調(diào)位裝置滑動連接。

進(jìn)一步的，所述機(jī)械手包括第一x型支架和第二x型支架，所述第一x型支架和第二x型支架分別設(shè)有多個吸盤座。

進(jìn)一步的，所述工作平臺的上表面設(shè)有多個用于吸緊半導(dǎo)體載盤的吸氣孔，所述工作平臺內(nèi)設(shè)有與吸氣孔相配合的封氣板，所述工作平臺的一側(cè)設(shè)有出氣孔；所述工作平臺的下端設(shè)有加熱板。

本發(fā)明的有益效果：

1、本發(fā)明通過取料裝置和移料裝置實現(xiàn)半導(dǎo)體在多個角度上的自動傳送，減少了人工成本，保證半導(dǎo)體能夠平穩(wěn)傳送。

2、本發(fā)明通過檢測裝置和調(diào)位裝置調(diào)整半導(dǎo)體的位置，使半導(dǎo)體能夠?qū)?zhǔn)貼膜裝置，保證貼膜的質(zhì)量。

3、本發(fā)明通過貼膜裝置實現(xiàn)半導(dǎo)體的自動化貼膜操作，提高了貼膜的效率。

附圖說明

利用附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步說明，但附圖中的實施例不構(gòu)成對本發(fā)明的任何限制，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)以下附圖獲得其它的附圖。

圖1是本發(fā)明的整機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本發(fā)明所述檢測裝置和貼膜裝置的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本發(fā)明所述貼膜裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是本發(fā)明所述取料裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是本發(fā)明所述移料裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6是本發(fā)明所述檢測裝置的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

圖7是本發(fā)明所述調(diào)位裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖8是本發(fā)明所述調(diào)位裝置的另一結(jié)構(gòu)示意圖。

圖1至圖8中的附圖標(biāo)記說明：

1-取料裝置；11-接料平臺；12-機(jī)械手；121-第一x型支架；122-第二x型支架；123-吸盤座；2-貼膜裝置；21-第一轉(zhuǎn)軸；22-第一傳動輪；23-第二轉(zhuǎn)軸；24-加熱裝置；241-加熱塊；242-熱電偶；243-發(fā)熱管；25-剝膜刀；26-第三轉(zhuǎn)軸；27-導(dǎo)膜板；28-撕膜滾輪；29-從動壓帶輪；3-移料裝置；31-y軸驅(qū)動機(jī)構(gòu)；32-x軸驅(qū)動機(jī)構(gòu)；4-檢測裝置；41-第一工業(yè)相機(jī)；42-第二工業(yè)相機(jī)；43-橫向驅(qū)動機(jī)構(gòu)；44-同軸光源；5-調(diào)位裝置；51-工作平臺；511-吸氣孔；512-封氣板；513-出氣孔；514-加熱板；52-升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)；521-升降板；522-第一絲桿螺母；523-第一絲桿；524-皮帶輪；525-傳動皮帶；526-升降驅(qū)動電機(jī)；53-轉(zhuǎn)動驅(qū)動機(jī)構(gòu)；531-固定座；532-轉(zhuǎn)動軸；533-轉(zhuǎn)動驅(qū)動電機(jī)；534-第二絲杠；535-第二絲杠螺母；536-轉(zhuǎn)動偏差補償裝置；5361-固定塊；5362-滑塊；5363-滑軌；5364-凸塊。

具體實施方式

結(jié)合以下實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步描述。

本實施例所述的一種用于半導(dǎo)體貼膜的貼合機(jī)，如圖1所示，包括對半導(dǎo)體載盤進(jìn)行上下料操作的取料裝置1、對半導(dǎo)體載盤上的多塊半導(dǎo)體進(jìn)行貼膜的貼膜裝置2和往返在取料裝置1和貼膜裝置2之間，用于移動半導(dǎo)體載料的移料裝置3。如圖1所示，當(dāng)需要對半導(dǎo)體載盤上的多塊半導(dǎo)體進(jìn)行貼膜操作時，通過取料裝置1對半導(dǎo)體載盤的提取，和移料裝置3對半導(dǎo)體載盤往返移動，使得半導(dǎo)體載盤能夠自動地完成上下料的操作。另外，所述移料裝置3和貼膜裝置2之間設(shè)有用于檢測半導(dǎo)體載盤位置的檢測裝置4和與檢測裝置4配合的和用于調(diào)整半導(dǎo)體載盤位置的調(diào)位裝置5，所述調(diào)位裝置5與移料裝置3活動連接。如圖1所示，在貼膜操作前，所述檢測裝置4和調(diào)位裝置5配合作用，首先通過檢測裝置4對半導(dǎo)體載盤進(jìn)行第一次拍照，確定半導(dǎo)體載盤在移動過程中的位置是否偏移，當(dāng)半導(dǎo)體載盤通過移料裝置3移動到貼膜裝置2的下端時，通過檢測裝置4對半導(dǎo)體載盤進(jìn)行第二次拍照，所述調(diào)位裝置5根據(jù)第一次拍照與第二次拍照之間的位置差異，調(diào)整半導(dǎo)體載盤的位置，從而使得半導(dǎo)體載盤上的多塊半導(dǎo)體能夠精確對準(zhǔn)貼膜裝置2，實現(xiàn)對每一塊半導(dǎo)體的貼膜操作。

本實施例中，所述檢測裝置4包括在半導(dǎo)體載盤移動的過程中對半導(dǎo)體載盤進(jìn)行拍照的第一工業(yè)相機(jī)41和設(shè)置在貼膜裝置2上方的第二工業(yè)相機(jī)42。如圖2、圖6所示，所述第一工業(yè)相機(jī)41對往貼膜裝置2移動的半導(dǎo)體載盤進(jìn)行第一次拍照，以獲取半導(dǎo)體載盤上每一塊半導(dǎo)體的位置信息。所述第一工業(yè)相機(jī)41包括設(shè)置在取料裝置1的一端的橫向驅(qū)動機(jī)構(gòu)43，用于配合移料裝置3，對半導(dǎo)體載盤上的每一塊半導(dǎo)體進(jìn)行第一次拍照。所述第一工業(yè)相機(jī)41為ccd攝像頭，所述ccd攝像頭可以為現(xiàn)有技術(shù)。所述第二工業(yè)相機(jī)42對在貼膜裝置2下方的半導(dǎo)體載盤進(jìn)行第二次拍照，以獲取半導(dǎo)體載盤上每一塊半導(dǎo)體的位置信息?？刂破魍ㄟ^對兩次拍照后的位置信息進(jìn)行對比，得出位置上差異。并控制調(diào)位裝置5對半導(dǎo)體載盤上進(jìn)行位置的調(diào)整。使得半導(dǎo)體載盤上的每一塊半導(dǎo)體能夠準(zhǔn)確地對準(zhǔn)貼膜裝置2。所述第二工業(yè)相機(jī)42為ccd攝像頭。所述第二工業(yè)相機(jī)42設(shè)有同軸光源44，用于提高拍照的亮度和清晰度。

本實施例中，所述調(diào)位裝置5包括工作平臺51、用于驅(qū)動工作平臺51升降的升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)52、用于驅(qū)動工作平臺51轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動驅(qū)動機(jī)構(gòu)53。如圖7、圖8所示，在半導(dǎo)體載盤的移動過程中，難免會發(fā)生偏移。因此，在貼膜前，所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)52以及轉(zhuǎn)動驅(qū)動機(jī)構(gòu)53用于實現(xiàn)工作平臺51上升動作、下降動作和水平轉(zhuǎn)動動作，使得半導(dǎo)體載盤上的每一塊半導(dǎo)體在工作平臺51的位置調(diào)整下對準(zhǔn)貼膜裝置2，減少貼膜時出現(xiàn)貼歪的情況。

本實施例中，所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)52包括升降板521、與升降板521連接的多個第一絲桿螺母522、與第一絲桿螺母522配合的第一絲桿523、與第一絲桿523連接的皮帶輪524、繞設(shè)在皮帶輪524的傳動皮帶525和用于驅(qū)動傳動皮帶525運動的升降驅(qū)動電機(jī)526，所述升降驅(qū)動電機(jī)526和第一絲桿523均與工作平臺51連接。如圖7所示，所述第一絲桿523和第一絲桿螺母522的數(shù)量為四個，分別連接在升降板521的四個角，實現(xiàn)第一絲桿523與工作平臺51的四個角連接。所述升降驅(qū)動電機(jī)526帶動傳動皮帶525運動，從而帶動皮帶輪524的轉(zhuǎn)動，進(jìn)而使第一絲桿523的旋轉(zhuǎn)升降移動，實現(xiàn)工作平臺51做升降動作。在此過程中，由于升降驅(qū)動電機(jī)526與工作平臺51連接，因此，工作平臺51的升降會帶動升降驅(qū)動電機(jī)526和皮帶輪524的同步升降，避免升降驅(qū)動電機(jī)526和傳動皮帶525在位移過程中發(fā)生偏移。升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)52的設(shè)計能夠使得工作平臺51既能夠平穩(wěn)地升降，又能夠提高移動的精確度，使得半導(dǎo)體載盤能夠平穩(wěn)地靠近或者遠(yuǎn)離貼膜裝置2。

本實施例中，所述轉(zhuǎn)動驅(qū)動機(jī)構(gòu)53包括與工作平臺51滑動連接的固定座531、連接于固定座531的轉(zhuǎn)動軸532、固定在固定座531一側(cè)的轉(zhuǎn)動驅(qū)動電機(jī)533、與轉(zhuǎn)動驅(qū)動電機(jī)533相配合的第二絲杠534和活動連接于第二絲杠534的第二絲桿螺母535；所述轉(zhuǎn)動軸532與升降板521連接，所述升降板521與第二絲桿螺母535之間設(shè)有轉(zhuǎn)動偏差補償裝置536。如圖8所示，轉(zhuǎn)動驅(qū)動電機(jī)533和第二絲桿的傳動方式可以為皮帶傳動、鏈傳動或者齒輪傳動，本發(fā)明優(yōu)選地采用皮帶傳動機(jī)構(gòu)，因為皮帶傳動機(jī)構(gòu)具有結(jié)構(gòu)簡單，傳動平穩(wěn)和能夠緩沖吸振的特點；轉(zhuǎn)動偏差補償裝置536包括與所述第二絲桿螺母535連接的固定塊5361、與固定塊5361連接的滑塊5362、與滑塊5362配合的滑軌5363和與滑塊5362連接的凸塊5364，所述凸塊5364的底部與滑軌5363連接，所述凸塊5364的頂部與工作平臺51連接。在實際應(yīng)用中，轉(zhuǎn)動驅(qū)動電機(jī)533通過皮帶傳動帶第二動絲桿轉(zhuǎn)動，第二絲桿的轉(zhuǎn)動帶動第二絲桿螺母535產(chǎn)生直線位移，由于凸塊5364的底部與滑軌5363連接，凸塊5364的頂部與轉(zhuǎn)動板連接，因此，第二絲桿螺母535的移動使凸塊5364會帶動轉(zhuǎn)動板以轉(zhuǎn)動軸532為軸心進(jìn)行轉(zhuǎn)動，從而使送料平臺實現(xiàn)繞z軸轉(zhuǎn)動；但是，由于凸塊5364的頂部與轉(zhuǎn)動板連接，送料平臺以轉(zhuǎn)動軸532為軸心進(jìn)行轉(zhuǎn)動，會使凸塊5364的頂部產(chǎn)生沿弧線位移，而凸塊5364的底部與第二絲桿螺母535連接是沿直線位移的，因此，本發(fā)明設(shè)有補償機(jī)構(gòu)，使凸塊5364的頂部在帶動轉(zhuǎn)動板轉(zhuǎn)動的同時，凸塊5364的底部能夠沿滑軌5363位移，對轉(zhuǎn)動位移進(jìn)行補償，從而使凸塊5364的頂部實現(xiàn)沿弧線位移。該轉(zhuǎn)動驅(qū)動機(jī)構(gòu)53使得每一塊半導(dǎo)體在貼膜前能夠進(jìn)行位置的調(diào)整，使其對準(zhǔn)貼膜裝置2，同時定位精準(zhǔn)，運行穩(wěn)定可靠，減少人工作業(yè)，提高生產(chǎn)效率，適合全面推廣應(yīng)用。

本實施例中，所述貼膜裝置2包括用于卷起膜料的第一轉(zhuǎn)軸21、用于使得膜料中的底膜和膜料分離的第一傳動輪22、用于卷起底膜的第二轉(zhuǎn)軸23、用于將膜料拉平的導(dǎo)膜板27、用于對膜料進(jìn)行加熱的加熱裝置24、用于使得膜料中的保護(hù)膜與上膜分離的剝膜刀25、撕膜滾輪28、用于卷起上膜的第二傳動輪和第三轉(zhuǎn)軸26；所述第二傳動輪與第三轉(zhuǎn)軸26之間設(shè)有從動壓帶輪29。所述膜料從上之下包括頂膜、保護(hù)膜和底膜，其中保護(hù)膜是用于貼合在半導(dǎo)體的表面的，而頂膜和底膜用于對保護(hù)膜進(jìn)行保護(hù)。如圖2、圖3所示，在貼膜的過程中首先要撕掉底膜，接著保護(hù)膜和半導(dǎo)體表面緊密貼合后，再撕掉頂膜。所以，在貼膜前，在膜料的底膜和保護(hù)膜之間撕開一道口，在第一轉(zhuǎn)軸21和第二轉(zhuǎn)軸23的轉(zhuǎn)動作用下，帶動底膜和保護(hù)膜在第一傳動輪22出持續(xù)分離，而第二轉(zhuǎn)軸23用于卷起底膜，并與第一轉(zhuǎn)軸21配合，持續(xù)地對底膜和保護(hù)膜的撕開施加作用力。所述加熱裝置24包括加熱塊241、設(shè)置在加熱塊241一側(cè)的熱電偶242和發(fā)熱管243。在貼膜的過程中，所述加熱塊241在熱電偶242和發(fā)熱管243的導(dǎo)熱作用下，對被導(dǎo)膜板27拉平后的保護(hù)膜進(jìn)行短時間的烤熱，使得保護(hù)膜能夠緊貼在半導(dǎo)體的表面，避免在表面產(chǎn)生氣泡，達(dá)到更好的貼膜效果。另外加熱裝置24和剝膜刀25的配合作用下，劃開保護(hù)膜和頂膜之間的間隙，并在第二傳動輪和第三轉(zhuǎn)軸26的作用下將上膜與保護(hù)膜實施分離，所述第三轉(zhuǎn)軸26用于卷起頂膜。

本實施例中，所述取料裝置1包括用于放置半導(dǎo)體載盤的接料平臺11和用于將半導(dǎo)體載盤進(jìn)行搬運的機(jī)械手12。如圖4所示，所述接料平臺11用于放置多片半導(dǎo)體載盤，所述機(jī)械手12能夠同時對放置在接料平臺11上和工作平臺51上的半導(dǎo)體載盤進(jìn)行一取一放的動作。具體地，所述機(jī)械手12能夠?qū)⒎胖迷诮恿掀脚_11的待貼膜的半導(dǎo)體載盤提起后放置在工作平臺51上，同時能夠?qū)⒐ぷ髌脚_51的已貼膜的半導(dǎo)體載盤提起后放置在下一臺設(shè)備上，從而提高自動化程度，減少人工成本，提高生產(chǎn)效率。

本實施例中，所述移料裝置3包括y軸驅(qū)動機(jī)構(gòu)31和x軸驅(qū)動機(jī)構(gòu)32，所述y軸驅(qū)動機(jī)構(gòu)31與x軸驅(qū)動機(jī)構(gòu)32滑動連接，所述x軸驅(qū)動機(jī)構(gòu)32和調(diào)位裝置5滑動連接。如圖5所示，該x軸驅(qū)動機(jī)構(gòu)32和y軸驅(qū)動機(jī)構(gòu)31可以采用氣缸、油缸或者電機(jī)配合絲桿、螺母等機(jī)構(gòu)來實現(xiàn)。所述調(diào)位裝置5在x軸驅(qū)動機(jī)構(gòu)32和y軸驅(qū)動機(jī)構(gòu)31的配合作用下能夠同時在x軸和y軸上平穩(wěn)地移動，從而實現(xiàn)半導(dǎo)體載盤在貼膜裝置2和取料裝置1之間的往返移動，實現(xiàn)上下料的自動化操作。

本實施例中，所述機(jī)械手12包括第一x型支架121和第二x型支架122，所述第一x型支架121和第二x型支架122分別設(shè)有多個吸盤座123。如圖4所示，使得半導(dǎo)體載盤通過吸盤座123的吸緊作用實現(xiàn)提起，所述第一x型支架121和第二x型支架122分別設(shè)有四個吸盤座123，使得提起半導(dǎo)體載盤是能夠保持平衡。

本實施例中，所述工作平臺51的上表面設(shè)有多個用于吸緊半導(dǎo)體載盤的吸氣孔511，所述工作平臺51內(nèi)設(shè)有與吸氣孔511相配合的封氣板512，所述工作平臺51的一側(cè)設(shè)有出氣孔513；所述工作平臺51的下端設(shè)有加熱板514。如圖7所示，由于在移動過程中需要防止半導(dǎo)體載盤從工作平臺51上滑落，因此，所述吸氣孔511、封氣板512和出氣孔513在配合作用下，將半導(dǎo)體載盤吸緊在工作平臺51上，防止滑落。由于在半導(dǎo)體貼膜的工藝過程中，需要對半導(dǎo)體進(jìn)行預(yù)熱，以便于更好地貼合，所述工作平臺51設(shè)有發(fā)熱板，該發(fā)熱板為微晶玻璃板。

綜上所述，本發(fā)明通過取料裝置和移料裝置實現(xiàn)半導(dǎo)體在多個角度上的自動傳送，減少了人工成本，保證半導(dǎo)體能夠平穩(wěn)傳送。本發(fā)明通過檢測裝置和調(diào)位裝置調(diào)整半導(dǎo)體的位置，使半導(dǎo)體能夠?qū)?zhǔn)貼膜裝置，保證貼膜的質(zhì)量。本發(fā)明通過貼膜裝置實現(xiàn)半導(dǎo)體的自動化貼膜操作，提高了貼膜的效率。

最后應(yīng)當(dāng)說明的是，以上實施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對本發(fā)明保護(hù)范圍的限制，盡管參照較佳實施例對本發(fā)明作了詳細(xì)地說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以對發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，而不脫離本發(fā)明技術(shù)方案的實質(zhì)和范圍。