技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明描述了一種薄膜晶體管陣列基板，包括：基板和設(shè)置在所述基板上的薄膜晶體管；其中薄膜晶體管還包括依次覆蓋在數(shù)據(jù)線上的有源層圖案和刻蝕阻擋層圖案；第一絕緣層，覆蓋所述刻蝕阻擋層；導(dǎo)電層，設(shè)置在第一絕緣層上，并通過設(shè)置在所述第一絕緣層和所述刻蝕阻擋層上的過孔與所述有源層連接；本發(fā)明還描述了一種薄膜晶體管陣列基板的制造方法。

技術(shù)研發(fā)人員：樓均輝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海天馬微電子有限公司
文檔號碼：201710167748
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.20
技術(shù)公布日：2017.06.20