技術編號：12725230
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及顯示領域，特別是涉及一種薄膜晶體管陣列基板及其制造方法。背景技術隨著顯示技術的飛速進步，平面顯示裝置也隨之有了飛躍性的進步，漸漸進入人們的生活?，F有技術中，平面顯示器從驅動方式分為有源矩陣顯示器和無源矩陣顯示器。有源矩陣顯示器和無源矩陣顯示器的區(qū)別在于有源矩陣顯示器中設置有有源元件，通常有源元件為薄膜品體管。有源矩陣顯示器通過薄膜品體管控制每一像素的工作。現有技術中，將薄膜晶體管制作到基板的過程中，由于半導體有源層易受損傷，會在半導體有源層上方制作一層刻蝕阻擋層ESL來保護半導體有源層...
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