本發(fā)明涉及r-t-b系燒結(jié)磁鐵用合金以及r-t-b系燒結(jié)磁鐵。
背景技術(shù):
:含有稀土元素r、fe或co等過渡金屬元素t和硼b的r-t-b系燒結(jié)磁鐵具有優(yōu)異的磁特性。目前,為了提高r-t-b系燒結(jié)磁鐵的剩余磁通密度(br)及矯頑力(hcj)而進(jìn)行了許多研究。例如,已知通過將磁鐵基材中所含的金屬狀態(tài)的稀土量設(shè)為規(guī)定量以上,從而能夠改善矯頑力及磁化曲線的矩形性的技術(shù)(專利文獻(xiàn)1)?,F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本特開2009-170541號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:發(fā)明想要解決的技術(shù)問題但是,作為高性能電動(dòng)機(jī)等所使用的燒結(jié)磁鐵,正在尋求磁特性的進(jìn)一步提高。關(guān)于由專利文獻(xiàn)1的制造方法得到的nd-fe-b燒結(jié)磁鐵,在磁化曲線的矩形性上也尚有改善的余地。本發(fā)明是鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)問題而完成的發(fā)明,其目的在于提供一種改善了矩形性的r-t-b系燒結(jié)磁鐵以及適用于制造該r-t-b系燒結(jié)磁鐵的r-t-b系燒結(jié)磁鐵用合金。用于解決技術(shù)問題的手段本發(fā)明的r-t-b系燒結(jié)磁鐵用合金是r-t-b系合金,r包含nd,t包含fe、co及cu,在合金的一個(gè)截面中,在富r相內(nèi),存在cu的元素濃度為0.5at%以上的區(qū)域a,并且區(qū)域a的面積相對(duì)于富r相的面積為80%以上。上述合金優(yōu)選在區(qū)域a內(nèi)存在co的元素濃度為2.5at%以上的區(qū)域b,并且區(qū)域b的面積相對(duì)于富r相的面積為60%以上。本發(fā)明的r-t-b系燒結(jié)磁鐵中,r包含nd,t包含fe、co及cu,該燒結(jié)磁鐵的兩個(gè)主相顆粒間的晶界相的cu的最大元素濃度為1~5at%。本發(fā)明的r-t-b系燒結(jié)磁鐵具有至少一種重稀土元素的濃度從表面向內(nèi)部變小的區(qū)域,至少一種重稀土元素包含tb及dy中的至少一者,r包含nd,t包含fe、co及cu,在兩個(gè)主相顆粒間,具有含有tb及dy中的至少一者和nd的晶界相,包含上述晶界相的部分中的tb或dy的濃度分布曲線的半值寬度減去cu的濃度分布曲線的半值寬度所得的值為10~20nm。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明,能夠提供一種改善了矩形性的r-t-b系燒結(jié)磁鐵、以及適用于制造該r-t-b系燒結(jié)磁鐵的r-t-b系燒結(jié)磁鐵用合金。附圖說明圖1是通過epma分析得到的合金1的元素分析結(jié)果;圖2是通過epma分析得到的合金2的元素分析結(jié)果;圖3是通過epma分析得到的比較合金1的元素分析結(jié)果;圖4是燒結(jié)磁鐵1a、2a、及比較燒結(jié)磁鐵1a的磁化曲線;圖5是通過epma針對(duì)燒結(jié)磁鐵1a、2a及比較燒結(jié)磁鐵1a進(jìn)行分析得到的cu的元素分析結(jié)果;圖6是燒結(jié)磁鐵1a的nd的3dap分布圖;圖7是比較燒結(jié)磁鐵1a的nd的3dap分布圖;圖8是針對(duì)實(shí)施例1的擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵的兩個(gè)主相顆粒間的tb元素的3dap的測(cè)定結(jié)果以及高斯擬合的結(jié)果;圖9是針對(duì)比較例1的擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵的兩個(gè)主相顆粒間的tb元素的3dap的測(cè)定結(jié)果以及高斯擬合的結(jié)果;圖10是針對(duì)實(shí)施例1的擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵的兩個(gè)主相顆粒間的晶界相及其附近的tb及cu的各自的濃度分布曲線。具體實(shí)施方式<r-t-b系燒結(jié)磁鐵用合金>本實(shí)施方式的r-t-b系燒結(jié)磁鐵用合金是包含稀土元素r、過渡金屬元素t和硼b的r-t-b系合金。上述r含有nd,上述t含有fe、co及cu。另外,以下也將r-t-b系燒結(jié)磁鐵用合金簡(jiǎn)稱為磁鐵用合金。稀土元素r除含有nd以外,也可以還含有選自sc、y、la、ce、pr、pm、sm、eu、gd、tb、dy、ho、er、tm、yb及l(fā)u中的至少一種稀土元素。作為nd以外的稀土元素,優(yōu)選為pr或dy、tb。在本實(shí)施方式的磁鐵用合金中,r的含量?jī)?yōu)選相對(duì)于合金的總質(zhì)量為29~33質(zhì)量%,更優(yōu)選為29.5~31.5質(zhì)量%。如果r的含量為29質(zhì)量%以上,在由該磁鐵用合金制造燒結(jié)磁鐵時(shí),容易得到具有高矯頑力的燒結(jié)磁鐵。另一方面,如果r的含量為33質(zhì)量%以下,則在由該磁鐵用合金制造的燒結(jié)磁鐵中,富r的非磁性相不會(huì)過多,燒結(jié)磁鐵的剩余磁通密度傾向于提高。在本實(shí)施方式的磁鐵用合金中,優(yōu)選nd的含量相對(duì)于合金的總質(zhì)量為15~33質(zhì)量%,更優(yōu)選為20~31.5質(zhì)量%。如果磁鐵用合金中的nd的含量為15~33質(zhì)量%,則矯頑力及剩余磁通密度傾向于提高。另外,從成本的觀點(diǎn)出發(fā),本實(shí)施方式的磁鐵用合金的pr元素的含量?jī)?yōu)選為5~10質(zhì)量%。根據(jù)必要的矯頑力,也可以含有dy或tb。作為dy或tb的含量,相對(duì)于合金的總質(zhì)量?jī)?yōu)選為0~10質(zhì)量%。本實(shí)施方式的磁鐵用合金也可以含有nd、fe、co及cu以外的元素,還可以含有al、si、mn、ni、ga、sn、bi、ti、v、cr、zr、nb、mo、hf、ta、w。尤其優(yōu)選含有al、zr或ga。本實(shí)施方式的磁鐵用合金中的al的含量?jī)?yōu)選為相對(duì)于合金的總質(zhì)量為0.05~0.3質(zhì)量%,更優(yōu)選為0.15~0.25質(zhì)量%。如果磁鐵用合金中的al的含量為0.05~0.3質(zhì)量%,則由該磁鐵用合金制造的燒結(jié)磁鐵的矯頑力及剩余磁通密度就傾向于提高。本實(shí)施方式的磁鐵用合金的zr的含量?jī)?yōu)選為相對(duì)于合金的總質(zhì)量為0.05~0.3質(zhì)量%,更優(yōu)選為0.1~0.2質(zhì)量%。如果磁鐵用合金中的zr的含量為0.05~0.3質(zhì)量%,則由該磁鐵用合金制造的燒結(jié)磁鐵的矯頑力及剩余磁通密度就傾向于提高。本實(shí)施方式的磁鐵用合金中的ga的含量?jī)?yōu)選為相對(duì)于合金的總質(zhì)量為0.05~0.3質(zhì)量%,更優(yōu)選為0.1~0.2質(zhì)量%。如果磁鐵用合金中的ga的含量為0.05~0.3質(zhì)量%,則由該磁鐵用合金制造的燒結(jié)磁鐵的矯頑力以及剩余磁通密度就傾向于提高。磁鐵用合金的co的含量?jī)?yōu)選為0.5~3質(zhì)量%,更優(yōu)選為1.0~2.5質(zhì)量%。如果co的含量為0.5~3質(zhì)量%時(shí),則由該磁鐵用合金制造的燒結(jié)磁鐵的矯頑力及剩余磁通密度就傾向于提高。另外,剩余磁通密度的溫度系數(shù)及耐腐蝕性良好。此外,磁鐵用合金中的cu的含量?jī)?yōu)選為0.05~0.3質(zhì)量%,更優(yōu)選為0.15~0.25質(zhì)量%。如果cu的含量為0.05~0.3質(zhì)量%,則由該磁鐵用合金制造的燒結(jié)磁鐵的矯頑力及剩余磁通密度就傾向于提高。另外,耐腐蝕性良好。fe是本實(shí)施方式的磁鐵用合金的必需元素及任意元素以外的余部,作為fe的含量,優(yōu)選為50~70質(zhì)量%。磁鐵用合金中的b的含量?jī)?yōu)選為0.5~2質(zhì)量%,更優(yōu)選為0.8~1.1質(zhì)量%,進(jìn)一步優(yōu)選為0.85~1.0質(zhì)量%。如果b的含量為0.5質(zhì)量%以上,則由該磁鐵用合金制造的燒結(jié)磁鐵的矯頑力就傾向于提高,如果為2質(zhì)量%以下,則在由該磁鐵用合金制造的燒結(jié)磁鐵中,富b的非磁性相的形成受到抑制,燒結(jié)磁鐵的剩余磁通密度傾向于提高。本實(shí)施方式的磁鐵用合金主要含有由r2t14b構(gòu)成的枝狀的主相、存在于主相的晶界相并且r濃度比主相顆粒高的富r相。富r相中的r的濃度例如為50at%以上,也可以為70at%以上。上述磁鐵用合金在該合金的一個(gè)截面中且在富r相內(nèi)存在cu的元素濃度為0.5at%以上的區(qū)域a,該區(qū)域a的面積相對(duì)于富r相的面積之比(也稱為nd-cu的一致度)優(yōu)選為80%以上,更優(yōu)選為90%以上。如上所述,本實(shí)施方式的磁鐵用合金中,存在富r相的區(qū)域和存在cu的區(qū)域在大范圍內(nèi)重疊。在由這種磁鐵用合金制造擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的情況下,即使是短時(shí)間的燒成,也能夠得到剩余磁通密度、矯頑力、及矩形性良好的燒結(jié)磁鐵。另外,如后所述,可在擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中將兩個(gè)主相顆粒間的cu的最大元素濃度設(shè)為1~5at%。其理由不一定明確,但本發(fā)明人認(rèn)為是因?yàn)楹辖鹬械腸u的分散狀態(tài)在粉碎、燒結(jié)以后也會(huì)影響分散狀態(tài)的緣故?;蛘?,認(rèn)為通過在富r相中存在nd和cu,從而燒結(jié)溫度區(qū)域下的相狀態(tài)含有1~5at%的cu。另外,在由本實(shí)施方式的磁鐵用合金制造后述的擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵的情況下,可將后述的tb及dy的濃度分布曲線的半值寬度減去cu的濃度分布曲線的半值寬度所得的值設(shè)為10~20nm。因此,如后所述,由本實(shí)施方式的磁鐵用合金制造的擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵的磁化曲線的矩形性良好。在磁鐵用合金的一個(gè)截面中,主相中的cu的元素濃度的最大值可以為0.1at%以下,優(yōu)選在主相中實(shí)質(zhì)上不含cu。另外,富r層中的cu的元素濃度的最大值優(yōu)選為0.5~2at%。如果富r層中的cu的元素濃度的最大值為0.5~2at%,則容易使上述的nd-cu的一致度為80%以上。在上述區(qū)域a內(nèi),也可以存在co的元素濃度為2.5at%以上的區(qū)域b。區(qū)域b的面積相對(duì)于富r相的面積之比(也稱為nd-cu-co的一致度)優(yōu)選為60%以上,進(jìn)一步優(yōu)選為70~90%。因?yàn)槿绻鹡d-cu-co的一致度為60%以上,則富r相的熔點(diǎn)就下降,因此會(huì)給合金或擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的cu分布帶來影響,并可使后述的tb及dy的濃度分布曲線的半值寬度減去cu的濃度分布曲線的半值寬度所得的值為10~20nm。在此,磁鐵用合金的上述截面中的nd、cu及co的元素濃度例如可用三維原子探針(3dap)進(jìn)行測(cè)定。在磁鐵用合金中,除主相和富r相以外,還含有α-fe相或激冷晶(chillcrystal)。α-fe相是在合金鑄造時(shí)冷卻速度慢的情況下產(chǎn)生的主要由fe構(gòu)成的相,激冷晶是在冷卻較快的情況下產(chǎn)生的1μm以下的粒狀晶體。從磁特性降低方面考慮,α-fe相、激冷晶都優(yōu)選為以合金截面的面積比計(jì)為3%以下。磁鐵用合金雖然成為枝晶組織,但通過測(cè)定其富r相的間隔,能夠測(cè)定組織狀態(tài)。富r相間隔的平均值優(yōu)選為2~5μm,更優(yōu)選為3~4μm。因?yàn)槿绻籸相間隔太細(xì)則難以得到磁鐵的剩余磁通密度,如果太粗則成為低矯頑力,所以優(yōu)選為3~4μm。<擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵>本實(shí)施方式的r-t-b系燒結(jié)磁鐵含有nd作為稀土元素r,含有fe、co及cu作為過渡金屬元素t。此外,為了與后述的擴(kuò)散有重稀土元素的r-t-b系燒結(jié)磁鐵區(qū)別開來,將擴(kuò)散重稀土元素以前的r-t-b系燒結(jié)磁鐵稱為擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵。稀土元素r除nd以外,也可以還含有選自sc、y、la、ce、pr、pm、sm、eu、gd、tb、dy、ho、er、tm、yb及l(fā)u中的至少一種稀土元素。作為nd以外的稀土元素,優(yōu)選為pr或dy、tb。在本實(shí)施方式的擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中,r的含量相對(duì)于擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的總質(zhì)量?jī)?yōu)選為29~33質(zhì)量%,更優(yōu)選為29.5~31.5質(zhì)量%。如果r的含量為29質(zhì)量%以上,則容易得到具有高矯頑力的擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵。另一方面,如果r的含量為33質(zhì)量%以下,則富r的非磁性相不會(huì)過多,擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的剩余磁通密度傾向于提高。在本實(shí)施方式的擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中,nd的含量相對(duì)于擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的總質(zhì)量?jī)?yōu)選為15~33質(zhì)量%,進(jìn)一步優(yōu)選為20~31.5質(zhì)量%。如果擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中的nd的含量為15~33質(zhì)量%,則矯頑力及剩余磁通密度傾向于提高。另外,從成本的觀點(diǎn)出發(fā),本實(shí)施方式的擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中的pr元素的含量?jī)?yōu)選為5~10質(zhì)量%。根據(jù)必要的矯頑力,也可以含有dy或tb。作為dy或tb的含量,優(yōu)選相對(duì)于合金的總質(zhì)量為0~10質(zhì)量%。擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵也可以含有nd、fe、co及cu以外的元素,還可以含有al、si、mn、ni、ga、sn、bi、ti、v、cr、zr、nb、mo、hf、ta、w。特別是優(yōu)選含有al、zr或ga。本實(shí)施方式的擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中的al的含量?jī)?yōu)選相對(duì)于擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的總質(zhì)量為0.05~0.3質(zhì)量%,進(jìn)一步優(yōu)選為0.15~0.25質(zhì)量%。如果擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中的al的含量為0.05~0.3質(zhì)量%,則擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的矯頑力及剩余磁通密度傾向于提高。本實(shí)施方式的擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中的zr的含量?jī)?yōu)選相對(duì)于合金的總質(zhì)量為0.05~0.3質(zhì)量%,進(jìn)一步優(yōu)選為0.1~0.2質(zhì)量%。如果擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中的zr的含量為0.05~0.3質(zhì)量%,則擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的矯頑力及剩余磁通密度傾向于提高。本實(shí)施方式的擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的ga的含量?jī)?yōu)選相對(duì)于合金的總質(zhì)量為0.05~0.3質(zhì)量%,進(jìn)一步優(yōu)選為0.1~0.2質(zhì)量%。如果擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中的ga的含量為0.05~0.3質(zhì)量%,則由該磁鐵用合金制造的燒結(jié)磁鐵的矯頑力及剩余磁通密度傾向于提高。擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的co的含量?jī)?yōu)選為0.5~3質(zhì)量%,更優(yōu)選為1.0~2.5質(zhì)量%。如果co的含量為0.5~3質(zhì)量%,擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的矯頑力及剩余磁通密度傾向于提高。另外,剩余磁通密度的溫度系數(shù)及耐腐蝕性成為良好。另外,擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的cu的含量?jī)?yōu)選為0.05~0.3質(zhì)量%,更優(yōu)選為0.15~0.25質(zhì)量%。如果cu的含量為0.15~0.25,則擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的矯頑力及剩余磁通密度傾向于提高,耐腐蝕性也成為良好。fe是本實(shí)施方式的擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中的必需元素及任意元素以外的余部,作為fe的含量,優(yōu)選為50~70質(zhì)量%。擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的b的含量?jī)?yōu)選為0.5~2質(zhì)量%,更優(yōu)選為0.8~1.1質(zhì)量%,進(jìn)一步優(yōu)選為0.85~1.0質(zhì)量%。如果b的含量為0.5質(zhì)量%以上,則擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的矯頑力傾向于提高,如果為2質(zhì)量%以下,則在擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中,富b的非磁性相的形成得到抑制,并且燒結(jié)磁鐵的剩余磁通密度傾向于提高。本實(shí)施方式的擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵具備主相顆粒(r2t14b)和占據(jù)主相顆粒間的晶界相。在本實(shí)施方式的擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的一個(gè)截面中,兩個(gè)主相顆粒間的cu的最大元素濃度為1~5at%,優(yōu)選為2~4at%。在此,cu的最大元素濃度例如是指由epma、3dap等得到的擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的截面的cu元素分布圖中的兩個(gè)主相顆粒間的cu的元素濃度的最大值。本實(shí)施方式的擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中,因?yàn)閮蓚€(gè)主相顆粒間的cu的最大元素濃度為1~5at%,所以矩形性良好。其理由不一定很明確,但本發(fā)明人員認(rèn)為是因晶界相的相互交換作用的程度適當(dāng)而主相顆粒間的磁耦合適當(dāng)?shù)木壒省A硗?,在將tb或dy擴(kuò)散在這樣的擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中而制造燒結(jié)磁鐵的情況下,容易使后述的tb及dy的濃度分布曲線的半值寬度減去cu的濃度分布曲線的半值寬度所得的值成為10~20nm。其理由不一定很明確,但本發(fā)明人員認(rèn)為是由于cu的效果從而擴(kuò)散溫度中的晶界相的熔點(diǎn)下降,tb或dy元素容易從擴(kuò)散前磁鐵的表面向內(nèi)部擴(kuò)散,并且向主相顆粒的擴(kuò)散比在晶界相中的擴(kuò)散慢的緣故。因此,使tb或dy擴(kuò)散在這樣的擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中而制造出的燒結(jié)磁鐵的磁化曲線的矩形性良好。在本實(shí)施方式的擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中,主相顆粒中的cu的元素濃度的最大值優(yōu)選為0.1at%以下,主相顆粒優(yōu)選實(shí)質(zhì)上不含cu。這里,實(shí)質(zhì)上不含是指例如在利用epma進(jìn)行擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的截面的元素分析的情況下,主相顆粒中的cu的含量為epma的檢測(cè)極限(0.01at%)以下。擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵所含的主相顆粒的平均粒徑優(yōu)選為1~5μm,更優(yōu)選為2.5~4μm。如果主相顆粒的粒徑為5μm以下,則在將重稀土元素?cái)U(kuò)散在該擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中時(shí),容易使重稀土元素的顆粒均勻地附著于擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的表面。主相顆粒的粒徑可通過粉碎后的磁鐵用合金的粒徑、燒結(jié)溫度、及燒結(jié)時(shí)間等來控制。在現(xiàn)有的擴(kuò)散重稀土元素前的r-t-b系燒結(jié)磁鐵中,cu元素大多存在于r-t-b系燒結(jié)磁鐵的晶界相中的多顆粒晶界相(面向三個(gè)以上的主相顆粒的晶界相,例如,包含面向三個(gè)主相顆粒的三叉晶界等)中,幾乎不存在于兩個(gè)主相顆粒間的晶界相中。與此相對(duì),在本實(shí)施方式的擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中,不僅在多顆粒晶界相中具有存在許多cu元素的區(qū)域,而且在兩個(gè)主相顆粒間的晶界相中也具有存在許多cu元素的區(qū)域。此外,在本說明書中,兩個(gè)主相顆粒間的晶界相是指晶界相中的從一個(gè)主相顆粒的表面到相鄰的另一個(gè)主相顆粒的表面的距離為100nm以下的區(qū)域,既可以是50nm以下的區(qū)域,也可以是30nm以下的區(qū)域。作為該距離的下限值,沒有特別限制,為10nm左右。<擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵>本實(shí)施方式的r-t-b系燒結(jié)磁鐵具有至少一種重稀土元素的濃度從表面向內(nèi)部減小的區(qū)域,該至少一種重稀土元素包含tb及dy中的至少一種,r包含nd,t包含fe、co及cu。本實(shí)施方式的r-t-b系燒結(jié)磁鐵可以通過在擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中擴(kuò)散包含tb或dy的重稀土元素而得到。因此,以下,也將擴(kuò)散有包含tb或dy在內(nèi)的重稀土元素的r-t-b系燒結(jié)磁鐵稱為擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵。此外,燒結(jié)磁鐵除含有通過擴(kuò)散而導(dǎo)入的重稀土元素以外,還可以具有與擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵同樣的組成。此外,以下,也將擴(kuò)散于本實(shí)施方式的擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵的重稀土元素稱為擴(kuò)散重稀土元素。如后所述,本實(shí)施方式的擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵因?yàn)槭菑臄U(kuò)散前磁鐵的表面擴(kuò)散重稀土元素,所以具有擴(kuò)散重稀土元素的濃度從表面向內(nèi)部減小的區(qū)域。在后述的擴(kuò)散工序中,擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵中的該表面(以下,也稱為擴(kuò)散面)來源于在擴(kuò)散重稀土元素前涂布有重稀土類化合物的面。在本實(shí)施方式的r-t-b系燒結(jié)磁鐵中,擴(kuò)散面既可以是擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵的表面整個(gè)面,也可以是表面的一部分。更具體而言,在長方體的擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵的情況下,也可以是六個(gè)面全都為擴(kuò)散面,還可以是僅相對(duì)的兩個(gè)面為擴(kuò)散面,也可以是僅一個(gè)面為擴(kuò)散面。在形成有擴(kuò)散面的面中,擴(kuò)散面也可以是面的整個(gè)面,也可以離散地設(shè)置于面的一個(gè)部位或多個(gè)部位。長方體的六個(gè)面全都為擴(kuò)散面的擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵因?yàn)槟軌蛟诮遣吭龃蟪C頑力的提高幅度,因而優(yōu)選。另外,在面的一部分形成有擴(kuò)散面的擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵因?yàn)橹叵⊥亮康氖褂昧亢苌偌纯?,并且剩余磁通密度或矯頑力在整個(gè)磁鐵上都接近均勻,所以優(yōu)選。另外,本實(shí)施方式的擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵的擴(kuò)散重稀土元素的濃度變小的區(qū)域距擴(kuò)散面至少為0.5mm的深度,也可以為0.1mm的深度。如果擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵中的擴(kuò)散重稀土元素的濃度變小的區(qū)域在至距擴(kuò)散面至少為0.1mm的深度處存在時(shí),耐腐蝕性高,所以優(yōu)選。此外,距擴(kuò)散面的深度設(shè)為沿?cái)U(kuò)散面的法線方向從擴(kuò)散面至擴(kuò)散后磁鐵內(nèi)部測(cè)得的距離。擴(kuò)散重稀土元素也可以與tb或dy一同含有tb或dy以外的重稀土元素。作為tb或dy以外的重稀土元素,可以是選自gd、ho、er、tm、yb及l(fā)u中的至少一種。通過擴(kuò)散導(dǎo)入燒結(jié)磁鐵的tb或dy的含量?jī)?yōu)選為0.1~1質(zhì)量%,更優(yōu)選為0.2~0.7質(zhì)量%。另外,通過擴(kuò)散導(dǎo)入燒結(jié)磁鐵的tb或dy以外的重稀土元素的含量更優(yōu)選為0.1質(zhì)量%以下。此外,在擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵中也可以含有來源于擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的重稀土元素,但從具有濃度從擴(kuò)散面向磁鐵內(nèi)部變小的區(qū)域的觀點(diǎn)出發(fā),擴(kuò)散重稀土元素與來源于擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的重稀土元素不同。本實(shí)施方式的擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵具備主相顆粒和占據(jù)主相顆粒間的晶界相。本實(shí)施方式的擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵在兩個(gè)主相顆粒間具有含有tb及dy中的至少一者和nd的晶界相,并且包含該晶界相的部分中的tb或dy的濃度分布曲線的半值寬度減去cu的濃度分布曲線的半值寬度所得的值為10~20nm。在此,包含晶界相的部分由兩個(gè)主相顆粒間的晶界相和主相顆粒中的該晶界相附近的區(qū)域構(gòu)成。圖10是作為一個(gè)例子示出后述的實(shí)施例1的擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵的兩個(gè)主相顆粒間的上述晶界相及晶界相附近的tb及cu的各自的濃度分布曲線。在本實(shí)施方式的擴(kuò)散后磁鐵中,cu也僅大致存在于兩個(gè)主相顆粒間的晶界相,因此cu的濃度分布曲線在兩個(gè)主相顆粒間具有尖銳的分布。另一方面,如圖10所示,擴(kuò)散重稀土元素不僅分布于兩個(gè)主相顆粒間的晶界相,而且還分布至晶界相附近(主相顆粒中的距離與兩個(gè)主相顆粒間的晶界相接觸的主相顆粒的表面10~200nm或10~100nm程度的區(qū)域)。濃度分布曲線可通過在擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵的一個(gè)截面中,利用3dap等,沿著表示從一個(gè)主相顆粒的表面的任意點(diǎn)到另一個(gè)主相顆粒表面的距離(可以為最短距離)的線段,以橫穿兩個(gè)主相顆粒間的晶界相以及該晶界相附近的方式測(cè)定而求出。濃度分布曲線的測(cè)定區(qū)域只要是能夠分別求出tb或dy的濃度分布曲線和cu的濃度分布曲線的半值寬度的程度的就都沒有特別限制,為200nm左右即可。在此,上述截面可以是相對(duì)于擴(kuò)散面垂直的面。另外,半值寬度指的是半值全寬。在擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵中,兩個(gè)主相顆粒間的晶界相的定義也與在擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中所定義的相同。由于cu不固溶于主相顆粒,而是存在于晶界相,所以顯示磁鐵的晶界相。因此,兩個(gè)主相顆粒間的晶界相及其附近的tb或dy的濃度分布曲線的半值寬度減去cu的濃度分布曲線的半值寬度所得的值表示重稀土元素向主相顆粒的擴(kuò)散范圍。這樣的擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵的磁化曲線的矩形性優(yōu)異。此外,矩形性的評(píng)價(jià)例如可使用在磁化曲線中磁化率比剩余磁通密度減少10%時(shí)的磁場(chǎng)hk除以hcj所得的值。本實(shí)施方式的擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵的矩形性優(yōu)異的理由不一定確定,但本發(fā)明人員認(rèn)為如下:通過重稀土元素的均勻擴(kuò)散,低矯頑力的顆粒的存在比例變小,每個(gè)顆粒的矯頑力的分布小,控制了重稀土元素向主相顆粒內(nèi)的擴(kuò)散,所以其離散變小。此外,濃度分布曲線的半值寬度可以通過用高斯函數(shù)將由上述方法測(cè)定的濃度分布曲線進(jìn)行曲線擬合而得到。上述半值寬度的差優(yōu)選為10~20nm,更優(yōu)選為15~19nm。本實(shí)施方式的擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵也可以為核-殼型燒結(jié)磁鐵。核-殼型燒結(jié)磁鐵具備多個(gè)主相顆粒,其中該主相顆粒具有核和包覆核的殼。在主相顆粒中,殼中的重稀土元素相對(duì)于輕稀土元素的比例(重稀土元素/輕稀土元素)比核中的比例高,例如,將殼中的上述比例成為核中的比例的2倍以上的部分作為殼。從通過削減重稀土元素量來降低成本并提高矯頑力的觀點(diǎn)出發(fā),殼中的重稀土元素的濃度優(yōu)選為0.5~7質(zhì)量%。<磁鐵用合金的制造方法>下面,針對(duì)本實(shí)施方式的磁鐵用合金的制造方法進(jìn)行說明。首先,準(zhǔn)備含有nd、fe、co、cu及b的原料。作為含有nd、fe、co及cu的原料,可以列舉nd、fe、co、cu的金屬或合金。b以與金屬的化合物的形態(tài)而添加,例如可列舉fe-b等。在所期望的磁鐵用合金含有nd、fe、co、cu以外的金屬的情況下,可將這些金屬作為單體或合金而添加于上述原料粉末中。稱量原料粉末并將其混合,以使其與所期望的磁鐵用合金的組成一致。將所得到的原料粉末的混合物裝填在氧化鋁坩堝等耐熱性容器中,并在高頻真空感應(yīng)爐等的爐內(nèi)熔化成熔融金屬。熔化需要一次上升到鑄造溫度以上并消除熔化殘留(熔化最大溫度)。為了消除熔化殘留,高的溫度比較好,但如果過高,則雜質(zhì)量增多,并且會(huì)對(duì)磁特性產(chǎn)生不良影響。如果鑄造溫度較高,則與鑄?;蜍堓伒拿芎狭己?,冷卻速度變快。爐內(nèi)的氣氛優(yōu)選為ar等惰性氣氛。作為從所得到的熔融金屬得到磁鐵用合金的方法,例如,可以列舉薄帶連鑄法、離心鑄造法、鉸鏈?zhǔn)借T模法(bookmoldingmethod)等,但從組織控制方面出發(fā),優(yōu)選薄帶連鑄法。薄帶連鑄法是用軋輥來冷卻合金熔融金屬的方法。從熱傳導(dǎo)度的觀點(diǎn)出發(fā),軋輥材質(zhì)優(yōu)選cu或cu系合金。特別是be-cu、cr-cu等也兼具強(qiáng)度,所以特別優(yōu)選。對(duì)于軋輥的表面狀態(tài),如果粗糙度粗,則容易彈起熔融金屬,如果細(xì),則變得不密合。作為控制軋輥的表面狀態(tài)的方法,可以列舉用砂紙等研磨軋輥的表面的方法。作為優(yōu)選的砂紙的型號(hào),可舉出#100~#1200。另外,作為研磨方向,沒有特別限制,可以沿著軋輥的周向、垂直于軋輥的周向的方向(沿著軋輥的軸的方向)、或沿著其以外的方向傾斜地研磨,但優(yōu)選為斜向。由于磁鐵用合金取決于熔融金屬的組成、溫度、粘性、表面張力等,所以每次都需要通過組成、鑄造條件來校正。軋輥的旋轉(zhuǎn)速度(圓周速度)優(yōu)選為1~10m/s。如果軋輥的旋轉(zhuǎn)速度過快,則難以與軋輥密合,另外還得不到冷卻的時(shí)間。另一方面,如果軋輥的旋轉(zhuǎn)速度慢,則鑄片容易變厚。另外,例如,在軋輥的旋轉(zhuǎn)速度快的情況下,可以通過加粗軋輥的表面而容易使合金與軋輥密合等通過變更其它條件來變更冷卻速度。因?yàn)檐堓伾系睦鋮s后的合金的溫度為富r相的熔點(diǎn)附近的溫度,所以有可能其后的溫度履歷也會(huì)影響組織(二次冷卻)。如果通過在二次冷卻中進(jìn)行ar的吹附或回收容器的水冷等從而提高冷卻速度,則富r相的組織結(jié)構(gòu)難以中斷。在要得到磁鐵用合金時(shí),例如,在薄帶連鑄法中,優(yōu)選在由控制熔融金屬量的中間包(tundish)接收了合金熔融金屬以后,在軋輥上進(jìn)行冷卻,并制造鑄片。通過這種方法,主相晶體從軋輥面向合金的厚度方向生長從而在主相晶體和主相晶體之間生成富r相。熔化最大溫度優(yōu)選比磁鐵用合金的熔點(diǎn)高200~350℃。從中間包向軋輥?zhàn)⑷肴廴诮饘贂r(shí)的軋輥正前方的熔融金屬的溫度(鑄造溫度)優(yōu)選比磁鐵用合金的熔點(diǎn)高200~250℃。此外,從坩堝注入中間包時(shí)的溫度可以按照鑄造溫度而適當(dāng)確定。優(yōu)選將剛剛從軋輥剝離之后的合金的溫度設(shè)為400~650℃。例如,通過這種方法,能夠容易地得到上述nd-cu的一致度為80%以上的磁鐵用合金。合金的厚度例如優(yōu)選為50~500μm,更優(yōu)選為100~400μm,進(jìn)一步優(yōu)選為200~300μm。富r相的富r相的間隔優(yōu)選為1~10μm,更優(yōu)選為2~6μm,進(jìn)一步優(yōu)選為3~5μm。<擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的制造方法>本實(shí)施方式的擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵可以通過使用上述本實(shí)施方式的磁鐵用合金作為原料合金而得到。此外,作為原料合金,從削減成本的觀點(diǎn)出發(fā),可以單獨(dú)使用本實(shí)施方式的磁鐵用合金,也可以并用本實(shí)施方式的磁鐵用合金以外的合金。作為本實(shí)施方式的磁鐵用合金以外的合金,可舉出含有稀土元素r的r-t合金或r-t-b合金,特別優(yōu)選由稀土元素和過渡金屬元素構(gòu)成的r-t合金。作為r-t合金的具體例,可舉出r-fe-al合金、r-fe-al-cu合金、r-fe-al-cu-co-zr合金等。在使用多個(gè)合金作為原料的情況下,以所使用的合金的總質(zhì)量為基準(zhǔn),優(yōu)選使本實(shí)施方式的磁鐵用合金的使用量為80質(zhì)量%以上,更優(yōu)選為90質(zhì)量%以上。首先,將磁鐵用合金進(jìn)行粗粉碎,制成具有數(shù)百μm程度的粒徑的顆粒。在磁鐵用合金的粗粉碎中,例如可以使用顎式破碎機(jī)、布朗磨碎機(jī)、搗碎機(jī)等粗粉碎機(jī)。另外,磁鐵用合金的粗粉碎優(yōu)選在惰性氣體氣氛中進(jìn)行。也可以對(duì)磁鐵用合金進(jìn)行吸氫粉碎。在吸氫粉碎中,在使磁鐵用合金吸附氫以后,在惰性氣體氣氛下加熱磁鐵用合金,通過基于不同的相間的吸氫量的差異的自崩解,從而能夠?qū)⒋盆F用合金粗粉碎。也可以將粗粉碎后的磁鐵用合金微粉碎至其粒徑為1~10μm。在微粉碎中,可使用氣流粉碎機(jī)、球磨機(jī)、振動(dòng)磨、濕式磨碎機(jī)等。在微粉碎中,也可以在原料合金中添加硬脂酸鋅或油酸酰胺等添加劑。由此,能夠提高成型時(shí)的磁鐵用合金的取向性。將粉碎后的磁鐵用合金在磁場(chǎng)中進(jìn)行加壓成型,形成成型體。加壓成型時(shí)的磁場(chǎng)為950~1600ka/m程度即可。加壓成型時(shí)的壓力為50~200mpa程度即可。成型體的形狀沒有特別限制,可制成柱狀、平板狀、環(huán)狀等。將成型體在真空或惰性氣體氣氛中燒結(jié),從而得到擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵。燒結(jié)溫度可根據(jù)原料合金的組成、粉碎方法、粒度、粒度分布等諸條件進(jìn)行調(diào)節(jié)。燒結(jié)溫度為900~1100℃即可,燒結(jié)時(shí)間為1~10小時(shí)程度即可。也可以在燒結(jié)后進(jìn)行時(shí)效處理。作為擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的矯頑力通過時(shí)效處理會(huì)大幅度地提高。在進(jìn)行擴(kuò)散處理的情況下,由于擴(kuò)散熱處理溫度比時(shí)效處理溫度高,所以不會(huì)受時(shí)效處理的影響。擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的氧的含量?jī)?yōu)選為3000質(zhì)量ppm以下,更優(yōu)選為2500質(zhì)量ppm以下,最優(yōu)選為1000質(zhì)量ppm以下。氧量越少,所得到的燒結(jié)磁鐵中的雜質(zhì)越少,燒結(jié)磁鐵的磁特性提高。在氧量多的情況下,在后述的擴(kuò)散工序中,燒結(jié)體中的氧化物可防止重稀土元素的擴(kuò)散,重稀土元素容易在多顆粒晶界相偏析。因此,難以形成殼,矯頑力傾向于下降。作為降低燒結(jié)體中的氧的含量的方法,可舉出在從吸氫粉碎到燒結(jié)的期間,將原料合金維持在氧濃度低的氣氛下的方法。也可以在將擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵加工成所期望的形狀以后,利用酸溶液處理擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的表面。作為表面處理所使用的酸溶液,優(yōu)選硝酸、鹽酸等的水溶液與乙醇的混合溶液。作為表面處理的方法,例如可舉出將擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵浸漬于酸溶液的方法、向燒結(jié)體用酸溶液噴霧的方法等。通過表面處理,能夠去除附著于擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的污物、氧化層等而得到潔凈的表面,能夠確實(shí)地實(shí)施后述的tb或dy化合物顆粒的附著及擴(kuò)散。從進(jìn)一步良好地去除污物或氧化層等的觀點(diǎn)出發(fā),也可以一邊對(duì)酸溶液施加超聲波一邊進(jìn)行表面處理。<擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵的制造方法>本實(shí)施方式的擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵可通過使重稀土元素?cái)U(kuò)散于上述的擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中而得到(擴(kuò)散工序)。在本實(shí)施方式中,重稀土元素包含tb或dy。首先,使含有重稀土元素的重稀土化合物附著于擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的表面。作為重稀土化合物,可舉出合金、氧化物、鹵化物、氫氧化物、氫化物等,特別優(yōu)選使用氫化物。在使用氫化物的情況下,在使重稀土元素?cái)U(kuò)散時(shí),僅氫化物中所含的tb或dy元素向磁鐵素體內(nèi)擴(kuò)散。氫化物所含的氫在使重稀土元素?cái)U(kuò)散時(shí)向擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的外部釋放。因此,如果使用重稀土元素的氫化物,則在最終得到的擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵中不會(huì)殘留來源于重稀土元素化合物的雜質(zhì),所以容易防止擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵的剩余磁通密度的降低。作為重稀土元素的氫化物,可舉出dyh2、tbh2或者dy-fe或tb-fe的氫化物。特別優(yōu)選dyh2或tbh2。在使用dy-fe的氫化物的情況下,fe在熱處理工序中也傾向于向擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵中擴(kuò)散。附著于擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的重稀土化合物優(yōu)選為顆粒狀,其平均粒徑優(yōu)選為100nm~50μm,更優(yōu)選為1μm~10μm。如果重稀土化合物的粒徑為100nm以上,則向擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中擴(kuò)散的重稀土化合物的量不會(huì)過多,能夠抑制擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵的剩余磁通密度降低。如果粒徑為50μm以下,重稀土化合物容易向擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中擴(kuò)散,并能夠提高矯頑力。作為使重稀土化合物附著于擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的方法,例如可舉出:將重稀土化合物的顆粒直接吹附到擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的方法、將在溶劑中溶解有重稀土化合物的溶液涂布于擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵上的方法、將在溶劑中分散有重稀土化合物的顆粒的漿料狀擴(kuò)散劑涂布于擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵上的方法、蒸鍍重稀土元素的方法、使重稀土元素進(jìn)行電沉積的方法等。其中,優(yōu)選將擴(kuò)散劑涂布于擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的方法。在使用擴(kuò)散劑的情況下,可以使重稀土化合物均勻地附著于擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵,并可以確實(shí)地進(jìn)行重稀土元素的擴(kuò)散。下面,針對(duì)使用擴(kuò)散劑的情況進(jìn)行說明。作為用于擴(kuò)散劑的溶劑,優(yōu)選不會(huì)溶解而能夠均勻地分散重稀土化合物的溶劑。例如可舉出醇、醛、酮等,其中,優(yōu)選乙醇。也可以使燒結(jié)體浸漬在擴(kuò)散劑中,或?qū)U(kuò)散劑滴在擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵上。在使用擴(kuò)散劑的情況下,擴(kuò)散劑中的重稀土化合物的含量可根據(jù)擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中的重稀土元素的質(zhì)量濃度的目標(biāo)值適當(dāng)調(diào)節(jié)。例如,擴(kuò)散劑中的重稀土化合物的含量可以為10~90質(zhì)量%,也可以為60~80質(zhì)量%。在擴(kuò)散劑中的重稀土化合物的含量為這些數(shù)值范圍外的情況下,重稀土化合物處于難以均勻地附著于燒結(jié)體的傾向。另外,在擴(kuò)散劑中的重稀土化合物的含量過多的情況下,導(dǎo)致燒結(jié)體的表面粗糙,有可能難以形成用于提高所得到的磁鐵的耐腐蝕性的電鍍等。但是,即使擴(kuò)散劑中的重稀土化合物的含量為上述的范圍外,也可達(dá)到上述效果。用于使重稀土元素?cái)U(kuò)散的熱處理溫度優(yōu)選為700~950℃。作為熱處理時(shí)間,優(yōu)選為5~50小時(shí)。通過這樣的熱處理,重稀土向擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵中擴(kuò)散,并能得到本實(shí)施方式的燒結(jié)磁鐵。就重稀土元素的擴(kuò)散從擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵表面穿過晶界相向磁鐵的內(nèi)部擴(kuò)散,并且很少向主相顆粒的表面擴(kuò)散。因而,在擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵中,與擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵不同,重稀土元素濃度有從表面向內(nèi)部變小的傾向。另外,矯頑力有越向表面越高的傾向??梢詫?duì)所得到的燒結(jié)磁鐵實(shí)施時(shí)效處理。時(shí)效處理有助于燒結(jié)磁鐵的磁特性(特別是矯頑力)的提高。時(shí)效溫度優(yōu)選為450~600℃。作為時(shí)效時(shí)間,優(yōu)選為0.5~5小時(shí)。也可以在擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵的表面形成鍍層、氧化層或樹脂層等。這些層作為用于防止磁鐵的劣化的保護(hù)層發(fā)揮作用。本實(shí)施方式的擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵可用于例如電動(dòng)機(jī)、線性電動(dòng)機(jī)、磁場(chǎng)發(fā)生裝置等。實(shí)施例<磁鐵用合金的制作>以成為表1所示的組成的方式稱量含有各元素的原料,并進(jìn)行混合。此外,作為含有各元素的原料,使用了純鐵(純度99.9質(zhì)量%)、fe-b(b:21質(zhì)量%)、nd(純度99.9質(zhì)量%)、pr(純度99.9質(zhì)量%)、dy-fe(dy:80質(zhì)量%)、al(純度99.9質(zhì)量%)、co(純度99.9質(zhì)量%)、cu(純度99.9質(zhì)量%)、fe-zr(zr:75質(zhì)量%)、ga(純度99.9質(zhì)量%)。將原料的混合物裝填于氧化鋁坩堝內(nèi),在高頻真空感應(yīng)爐內(nèi)加熱,得到了熔融金屬。通過對(duì)所得到的熔融金屬進(jìn)行薄帶連鑄法,得到了合金1~7以及比較合金1~6的磁鐵用合金。在此,在薄帶連鑄法中,使用了事先用砂紙研磨了表面的軋輥。將制作合金1~7及比較合金1~6的各磁鐵用合金時(shí)所使用的軋輥的材質(zhì)、以及砂紙的型號(hào)及研磨方向(軋輥的表面狀態(tài))示于表2。另外,在薄帶連鑄法中,用熱電偶測(cè)定注入軋輥以前的熔融金屬的最大溫度(熔化最大溫度)、將熔融金屬注入軋輥時(shí)的軋輥正前方的熔融金屬的溫度(鑄造溫度),并用熱象儀(thermography)測(cè)定剛剛從軋輥剝離之后的合金的溫度(合金冷卻溫度)。分別將制作各磁鐵用合金時(shí)的熔化最大溫度、鑄造溫度、以及合金冷卻溫度示于表2。進(jìn)一步,對(duì)于薄帶連鑄法中的軋輥的圓周速度、鑄造中的腔室內(nèi)的氣氛、及對(duì)從軋輥剝離后的合金的冷卻方法也示于表2中。利用epma分別對(duì)合金1~7及比較合金1~6進(jìn)行合金截面的元素分析。通過從所得到的組成像(cp)對(duì)富r相進(jìn)行圖像識(shí)別,計(jì)算出面積作為富r相的面積。接下來,在富r相內(nèi),統(tǒng)計(jì)cu的元素濃度為0.5at%以上的區(qū)域(區(qū)域a)中所含的像素?cái)?shù),通過像素?cái)?shù)乘以1像素的面積(0.2μm×0.2μm),從而計(jì)算出區(qū)域a的面積。另外,同樣,在區(qū)域a內(nèi),統(tǒng)計(jì)co的元素濃度為2.5at%以上的區(qū)域(區(qū)域b)像素?cái)?shù),通過像素?cái)?shù)乘以1像素的面積,計(jì)算出區(qū)域b的面積。從所得到的區(qū)域a及區(qū)域b的面積,求出nd-cu一致度、及nd-cu-co一致度。將結(jié)果示于表3中。另外,由于合金4及比較合金3分別與合金1及比較合金1的組成及制造條件相同,所以針對(duì)其的nd-cu一致度(a區(qū)域的面積/富r相的面積)、及nd-cu-co一致度(b區(qū)域的面積/a區(qū)域的面積),都省略了測(cè)定。<擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵的制作>在分別使合金1~7及比較合金1~6吸氫以后,加熱到600℃,得到了粗粉。向所得到的粗粉中添加0.1質(zhì)量%的油酸酰胺,用混合器進(jìn)行混合?;旌虾螅脷饬鞣鬯闄C(jī)進(jìn)行粉碎,得到了合金粉末。將所得到的合金粉末在3t的磁場(chǎng)中進(jìn)行成型,得到成型體。將成型體在1080℃、真空氣氛下進(jìn)行4小時(shí)燒成,得到了擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵。此外,所得到的擴(kuò)散前燒結(jié)磁鐵分別與作為原料的合金1~7及比較合金1~6相對(duì)應(yīng),分別稱為燒結(jié)磁鐵1a~7a及比較燒結(jié)磁鐵1a~6a。針對(duì)燒結(jié)磁鐵1a~7a及比較燒結(jié)磁鐵1a~6a,利用bh示蹤儀(bhtracer),測(cè)定剩余磁通密度(br)、矯頑力(hcj)及矩形性(hk/hcj)。將結(jié)果示于表4。另外,利用除將燒成時(shí)間設(shè)為12小時(shí)以外,其余都與燒結(jié)磁鐵1a~7a及比較燒結(jié)磁鐵1a~6a同樣的方法,分別制作了燒結(jié)磁鐵1b~7b及比較燒結(jié)磁鐵1b~6b,利用bh示蹤儀測(cè)定了剩余磁通密度(br)、矯頑力(hcj)及矩形性(hk/hcj)。將結(jié)果示于表5中。此外,由于燒結(jié)磁鐵4a及比較燒結(jié)磁鐵3a與燒結(jié)磁鐵1a及比較燒結(jié)磁鐵1a在組成及制造條件上分別相同,所以省略了剩余磁通密度等的測(cè)定。對(duì)于燒結(jié)磁鐵4b及比較燒結(jié)磁鐵3b也同樣。利用3dap對(duì)燒結(jié)磁鐵1a~7a及比較燒結(jié)磁鐵1a~6a測(cè)定了cu的元素濃度。關(guān)于測(cè)定出的兩個(gè)主相顆粒間的晶界相中的cu的元素濃度,以其最大值作為cu的最大元素濃度。將結(jié)果示于表4中。對(duì)于燒結(jié)磁鐵1b~7b及比較燒結(jié)磁鐵1b~6b,也同樣測(cè)定了cu的最大元素濃度。將結(jié)果示于表5中。<擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵的制作>對(duì)燒結(jié)磁鐵1a~7a及比較燒結(jié)磁鐵1a~6a擴(kuò)散表6所示的重稀土元素,從而得到實(shí)施例1~7及比較例1~6的擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵。作為擴(kuò)散的方法,使1質(zhì)量%的tb或dy附著于燒結(jié)磁鐵的表面,并在900℃下進(jìn)行12小時(shí)擴(kuò)散處理。其后,在500℃下進(jìn)行1小時(shí)時(shí)效處理,得到了擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵。針對(duì)各擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵,使用bh示蹤儀測(cè)定了剩余磁通密度(br)、矯頑力(hcj)及矩形性(hk/hcj)。另外,針對(duì)各擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵,使用3dap測(cè)定了tb或dy及cu的兩個(gè)主相顆粒間的濃度分布曲線。對(duì)所得到的濃度分布曲線進(jìn)行高斯擬合,算出半值寬度,求出tb或dy的濃度分布曲線的半值寬度和cu的濃度分布曲線的半值寬度之差。將結(jié)果示于表6中?!颈?】ndprdybalcocuzrgafemass%mass%mass%mass%mass%mass%mass%mass%mass%mass%合金123800.950.220.20.20.2余部合金223800.950.220.20.20.2余部合金323800.950.220.20.20.2余部比較合金123800.950.220.20.20.2余部比較合金223800.950.220.20.20.2余部合金423800.950.220.20.20.2余部比較合金323800.950.220.20.20.2余部合金52171.80.950.220.20.20.2余部比較合金42171.80.950.220.20.20.2余部合金623800.950.2320.200.2余部比較合金523800.950.2320.200.2余部合金723800.950.1820.20.20余部比較合金623800.950.1820.20.20余部【表2】【表3】【表4】【表5】【表6】對(duì)合金1、2及比較合金1進(jìn)行了epma的分析。圖1(a)是合金1的組成像,圖1(b)~圖1(d)分別是針對(duì)合金1進(jìn)行的nd、co及cu的元素分析的結(jié)果。在圖1(a)中,白色部分表示富r相。在圖1(b)~圖1(d)中,白色部分分別表示大量含有對(duì)應(yīng)的元素的區(qū)域。同樣,圖2(a)~(d)分別是針對(duì)合金2的組成像、以及nd、co及cu的元素分析的結(jié)果。另外,圖3(a)~(d)分別是針對(duì)比較合金1的組成像、以及nd、co及cu的元素分析的結(jié)果。圖4分別是燒結(jié)磁鐵1a、2a及比較燒結(jié)磁鐵1a的磁化曲線。如圖4所示,燒結(jié)磁鐵1a及2a比比較燒結(jié)磁鐵1a的矩形性優(yōu)異。另外,圖5中示出針對(duì)燒結(jié)磁鐵1a、2a及比較燒結(jié)磁鐵1a用epma進(jìn)行的cu的元素分析結(jié)果。在圖5中,白色部分分別是指大量含有cu的區(qū)域。可知在燒結(jié)磁鐵1a及2a中,cu不僅存在于多顆粒晶界相,還存在于兩個(gè)主相顆粒間的晶界相。圖6是針對(duì)燒結(jié)磁鐵1a的nd的3dap分布圖。另外,圖7是針對(duì)比較燒結(jié)磁鐵1a的nd的3dap分布圖。圖6(b)及圖7(b)分別是將圖6(a)及圖7(a)的晶界相附近放大后所得的圖。圖6(c)及圖7(c)表示的是沿著圖6(b)及圖7(b)的箭頭所示的方向測(cè)定的兩個(gè)主相顆粒間的晶界相中的nd、cu、co及ga的元素的分布。如圖6(c)所示,在燒結(jié)磁鐵1a中,由于nd和cu的分布的極大值大致重疊,cu的元素濃度的極大值也為2at%以上,所以可知cu大多存在于兩個(gè)主相顆粒間的晶界相。另一方面,如圖7(c)所示,在比較燒結(jié)磁鐵1a中,兩個(gè)主相顆粒間的晶界相的cu的元素濃度的極大值小于1at%,兩個(gè)主相顆粒間的晶界相的cu的存在量少。圖8及9分別表示的是實(shí)施例1及比較例1的兩個(gè)主相顆粒間及其附近的通過3dap分析得到的tb元素的濃度分布曲線及高斯擬合的結(jié)果。圖10表示實(shí)施例1的擴(kuò)散后燒結(jié)磁鐵的兩個(gè)主相顆粒間的晶界相及晶界相附近的tb及cu的各自的濃度分布曲線。當(dāng)前第1頁12