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一種利用二氧化錫催化生長(zhǎng)Si納米線的方法與流程

文檔序號(hào):12065874閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種利用二氧化錫催化生長(zhǎng)Si納米線的方法,其特征在于,包括以下步驟:

1)催化生長(zhǎng)硅納米線的金屬氧化物SnO2的制備:

將摻氟氧化錫涂層導(dǎo)電玻璃作為襯底,并置于等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置的真空腔內(nèi)的下極靶樣品臺(tái)上;抽至真空,同時(shí)加熱襯底;再通入Ar氣并電離成等離子體,同時(shí)采用流動(dòng)的Ar氣調(diào)節(jié)真空腔內(nèi)的壓強(qiáng)維持在10-100Pa;然后通入SiH4和H2,摻氟氧化錫涂層導(dǎo)電玻璃上的摻氟氧化錫涂層融化成直徑為0.2-0.5μm的液相SnO2球體;

2)根據(jù)固-液-氣生長(zhǎng)原理催化生長(zhǎng)硅納米線:

在真空下,加熱到沉積溫度450-750℃,并以沉積功率為10-75W、沉積壓強(qiáng)為80-140Pa、沉積時(shí)間為50-90min、靶間距離為2.5-3cm進(jìn)行沉積,得到Si納米線。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用二氧化錫催化生長(zhǎng)Si納米線的方法,其特征在于,摻氟氧化錫涂層導(dǎo)電玻璃上摻氟氧化錫涂層的厚度為0.15-0.4μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用二氧化錫催化生長(zhǎng)Si納米線的方法,其特征在于,加熱襯底的溫度為200-350℃,加熱的時(shí)間為3-8分鐘。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用二氧化錫催化生長(zhǎng)Si納米線的方法,其特征在于,SiH4的流量為2-20Sccm,H2的流量為10-100Sccm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用二氧化錫催化生長(zhǎng)Si納米線的方法,其特征在于,步驟1)和步驟2)中的真空度均為1×10-4Pa。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用二氧化錫催化生長(zhǎng)Si納米線的方法,其特征在于,進(jìn)行步驟1)前,將摻氟氧化錫導(dǎo)電玻璃于室溫下置于無水乙醇中超聲波震蕩去除摻氟氧化錫導(dǎo)電玻璃表面的污漬。

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