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一種芯片封裝結(jié)構(gòu)及其制備方法與流程

文檔序號:12478350閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種芯片封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,包括:

第一芯片,所述第一芯片的有源面設(shè)置有粘結(jié)層,所述粘結(jié)層對應(yīng)所述第一芯片的焊盤設(shè)置有粘結(jié)層盲孔,所述第一芯片非有源面的其他側(cè)面有包覆材料包封;

介質(zhì)層,設(shè)置在所述粘結(jié)層上方,所述介質(zhì)層上設(shè)置有與所述粘結(jié)層盲孔對應(yīng)設(shè)置的介質(zhì)層盲孔,所述粘結(jié)層盲孔和所述介質(zhì)層盲孔中填充有導(dǎo)電材料;

第一重布線層,與所述粘結(jié)層盲孔和所述介質(zhì)層盲孔中填充的導(dǎo)電材料電連接;

焊球,與所述第一重布線層電連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,還包括:

第一絕緣層,位于所述第一重布線層上遠(yuǎn)離所述介質(zhì)層的一側(cè),所述第一絕緣層上形成有第一開口,所述焊球通過所述第一開口與所述第一重布線層電連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述介質(zhì)層和所述包覆材料的材料為ABF、FR-4、BT樹脂或者聚丙烯。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項所述的芯片封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,還包括:

至少一個第二芯片封裝層,位于所述包覆材料遠(yuǎn)離所述第一芯片的一側(cè),所述第二芯片封裝層包括第二芯片和第二重布線層,所述第二芯片和所述第二重布線層電連接,所述第二重布線層和所述第一重布線層電連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的芯片封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,還包括:

至少一個通孔,所述通孔位于所述第一芯片兩端的包覆材料和介質(zhì)層中,所述通孔貫穿所述包覆材料和所述介質(zhì)層,所述通孔內(nèi)表面設(shè)置有導(dǎo)電材料,所述第一重布線層和所述第二重布線層通過所述通孔內(nèi)表面設(shè)置的導(dǎo)電材料電連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的芯片封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第二芯片封裝層還包括:

第二絕緣層,位于所述第二芯片與所述第二重布線層之間,所述第二絕緣層上形成有第二開口,所述第二芯片和所述第二重布線層通過所述第二開口電連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的芯片封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一絕緣層和所述第二絕緣層的材料為阻焊綠油或者有機材料。

8.一種芯片封裝結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,包括:

提供一載板,分別在所述載板的上下表面制備雙層剝離結(jié)構(gòu),所述雙層剝離結(jié)構(gòu)包括上層結(jié)構(gòu)和下層結(jié)構(gòu);

分別在所述雙層剝離結(jié)構(gòu)上遠(yuǎn)離所述載板的一側(cè)制備介質(zhì)層,所述介質(zhì)層覆蓋所述雙層剝離結(jié)構(gòu);

在所述介質(zhì)層預(yù)設(shè)位置處制備至少一個介質(zhì)層盲孔,所述介質(zhì)層盲孔貫穿所述介質(zhì)層;

在所述介質(zhì)層盲孔內(nèi)填充導(dǎo)電材料;

提供第一芯片,所述第一芯片包括有源面以及位于所述有源面上的至少一個焊盤,所述第一芯片的有源面設(shè)置有粘結(jié)層,將所述第一芯片通過所述粘結(jié)層倒裝在所述介質(zhì)層上,所述焊盤與所述介質(zhì)層盲孔對應(yīng);

在所述第一芯片非有源面的其他側(cè)面制備包覆材料,所述包覆材料包封所述第一芯片;

將所述雙層剝離結(jié)構(gòu)的上層結(jié)構(gòu)和下層結(jié)構(gòu)進行剝離,得到兩個芯片封裝結(jié)構(gòu),所述上層結(jié)構(gòu)位于所述芯片封裝結(jié)構(gòu)上,所述下層結(jié)構(gòu)位于所述載板上;

刻蝕所述上層結(jié)構(gòu)以及所述介質(zhì)層盲孔內(nèi)的導(dǎo)電材料,露出所述介質(zhì)層和所述粘結(jié)層;

刻蝕所述粘結(jié)層,形成至少一個粘結(jié)層盲孔,所述粘結(jié)層盲孔貫穿所述粘結(jié)層;

在所述介質(zhì)層盲孔和所述粘結(jié)層盲孔內(nèi)填充導(dǎo)電材料,并在所述介質(zhì)層上遠(yuǎn)離所述第一芯片的一側(cè)制備第一重布線層,所述第一重布線層與所述介質(zhì)層盲孔對應(yīng)設(shè)置;

在所述第一重布線層上遠(yuǎn)離所述介質(zhì)層的一側(cè)制備焊球,所述焊球與所述第一重布線層電連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制備方法,其特征在于,在所述介質(zhì)層上遠(yuǎn)離所述第一芯片的一側(cè)制備第一重布線層之后,在所述第一重布線層上遠(yuǎn)離所述介質(zhì)層的一側(cè)制備焊球之前,還包括:

在所述第一重布線層上遠(yuǎn)離所述介質(zhì)層的一側(cè)制備第一絕緣層;

刻蝕所述第一絕緣層形成第一開口,所述第一開口露出所述第一重布線層;

通過所述第一開口制備焊球。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制備方法,其特征在于,在所述介質(zhì)層中預(yù)設(shè)位置處制備至少一個介質(zhì)層盲孔,包括:

使用激光刻蝕的方式,在所述介質(zhì)層中預(yù)設(shè)位置處制備至少一個介質(zhì)層盲孔,且激光刻蝕時的能量為0.5-1.0mJ。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制備方法,其特征在于,刻蝕所述粘結(jié)層,形成粘結(jié)層盲孔,包括:

使用激光刻蝕的方式,刻蝕所述粘結(jié)層,形成粘結(jié)層盲孔,且激光刻蝕時的能量為0.1-0.3mJ。

12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制備方法,其特征在于,將所述第一芯片通過粘結(jié)層倒裝在所述介質(zhì)層上,包括:

采用貼片機或者倒裝焊機將所述第一芯片通過粘結(jié)層倒裝在所述介質(zhì)層上。

13.根據(jù)權(quán)利要求8-12任一項所述的制備方法,其特征在于,在所述第一重布線層上遠(yuǎn)離所述介質(zhì)層的一側(cè)制備焊球之后,還包括:

在所述包覆材料上遠(yuǎn)離所述第一芯片的一側(cè)制備至少一個第二芯片封裝層,所述第二芯片封裝層包括第二芯片和第二重布線層,所述第二芯片和所述第二重布線層電連接,所述第二重布線層和所述第一重布線層電連接。

14.根據(jù)權(quán)利要求16所述的制備方法,其特征在于,在刻蝕所述粘結(jié)層,形成粘結(jié)層盲孔的同時,還包括:

刻蝕所述介質(zhì)層和所述包覆材料,形成至少一個通孔,所述通孔貫穿所述介質(zhì)層和所述包覆材料。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的制備方法,其特征在于,在所述介質(zhì)層盲孔和所述粘結(jié)層盲孔內(nèi)填充導(dǎo)電材料,并在所述介質(zhì)層上遠(yuǎn)離所述第一芯片的一側(cè)制備第一重布線層的同時,還包括:

在所述通孔內(nèi)表面填充導(dǎo)電材料;

在所述包覆材料上遠(yuǎn)離所述第一芯片的一側(cè)制備第二重布線層。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的制備方法,其特征在于,在所述包覆材料上遠(yuǎn)離所述第一芯片的一側(cè)制備第二重布線層之后,還包括:

在所述第二重布線層上遠(yuǎn)離所述包覆材料的一側(cè)制備第二絕緣層,所述第二絕緣層上形成有第二開口,所述第二芯片和所述第二重布線層通過所述第二開口電連接。

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