技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種紅黃光發(fā)光二極管的制作方法，屬于半導(dǎo)體器件加工技術(shù)領(lǐng)域。所述制作方法包括：在晶元上生長紅黃光LED；采用鐵環(huán)固定在晶元的環(huán)狀側(cè)壁上；將膠膜貼附在紅黃光LED和鐵環(huán)上，并去除氣泡；將晶元放置在陶瓷微孔承載盤上，并將砂輪與晶元沒有貼附膠膜的表面相貼；利用陶瓷微孔承載盤帶動(dòng)晶元沿第一方向轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)驅(qū)動(dòng)砂輪沿與第一方向相反的第二方向轉(zhuǎn)動(dòng)，減薄晶元；去除晶元上的膠膜和鐵環(huán)。本發(fā)明不需要加熱形成液體蠟、等蠟冷卻、去除蠟等工序，使用更為方便，而且可以避免蠟殘留的問題。同時(shí)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶元厚度的控制，厚度均勻、翹曲度小，減小生產(chǎn)過程中裂片損失，提高生產(chǎn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：林曉文;高百卉;卞廣彪;肖千宇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：華燦光電（浙江）有限公司
文檔號(hào)碼：201610637860
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.05
技術(shù)公布日：2016.11.16