技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及太陽能電池的制造方法及太陽能電池。
背景技術(shù)：
：近年來，特別是出于地球環(huán)境保護(hù)的觀點(diǎn)，對將太陽能直接轉(zhuǎn)換為電能的太陽能電池作為新一代能源的期待急劇高漲。作為太陽能電池，雖然具有使用化合物半導(dǎo)體或有機(jī)材料的太陽能電池等各種類型，但目前，使用硅晶的太陽能電池已成為主流。目前，制造及銷售最多的太陽能電池的結(jié)構(gòu)是在受光面和與受光面相反一側(cè)的背面形成了電極的結(jié)構(gòu)。圖6表示日本特開2004-14566號公報(bào)(專利文獻(xiàn)1)所公開的現(xiàn)有太陽能電池的受光面的俯視示意圖，圖7表示沿圖6的VII-VII的剖面示意圖。如圖7所示，專利文獻(xiàn)1所公開的現(xiàn)有太陽能電池101在作為基材的p型硅基板103的太陽能電池101的受光面121側(cè)的表面形成n型雜質(zhì)擴(kuò)散層104。而且，形成防止反射膜105，以覆蓋n型雜質(zhì)擴(kuò)散層104。而且，如圖6及圖7所示，在受光面121上形成基于銀電極的電極部102。電極部102由主柵102a和次柵102b構(gòu)成。此外，如圖7所示，在太陽能電池101的、與受光面121相反一側(cè)的面即背面122上形成p+型層即BSF(BackSurfaceField：背面電場)層106。進(jìn)而，在背面122上形成鋁電極107，以覆蓋BSF層106，在鋁電極107上一部分重疊地形成銀電極108。太陽能電池101受光面121的電極部102是通過對銀膏進(jìn)行絲網(wǎng)印刷、使之干燥、并在氧化性氣體下進(jìn)行燒制而形成的。在此，電極部102在燒制銀膏時(shí)，燒穿防止反射膜105，從而穿透防止反射膜105，與n型擴(kuò)散層104接觸。而且，在銀膏的絲網(wǎng)印刷中，主柵102a及次柵102b的圖案使用同一銀膏、在一個(gè)工序中形成。專利文獻(xiàn)1：(日本)特開2004-14566號公報(bào)隨著太陽能發(fā)電系統(tǒng)的快速普及，降低太陽能電池的制造成本成為當(dāng)務(wù)之急。作為用來降低太陽能電池的制造成本的方法，減少電極部102的銀使用量是有效的方法之一。然而，在減少電極部102的銀使用量的情況下，由于電極部102電阻的升高，可能引起太陽能電池性能的大幅降低。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，本發(fā)明的目的在于提供能夠減少電極的銀使用量、卻幾乎不會使太陽能電池的性能降低的太陽能電池的制造方法及太陽能電池。本發(fā)明為一種太陽能電池的制造方法，為具有在基板的表面形成主柵電極及次柵電極的工序的太陽能電池的制造方法，形成主柵電極所使用的銀膏中的銀含有率低于形成次柵電極所使用的銀膏中的銀含有率。在此，在本發(fā)明的太陽能電池的制造方法中，形成主柵電極所使用的銀膏中的玻璃料含有率優(yōu)選高于形成次柵電極所使用的銀膏中的玻璃料含有率。而且，在本發(fā)明的太陽能電池的制造方法中，形成主柵電極所使用的銀膏中的玻璃料含有率相對于銀含有率的比例優(yōu)選大于形成次柵電極所使用的銀膏中的玻璃料含有率相對于銀含有率的比例。此外，在本發(fā)明的太陽能電池的制造方法中，形成主柵電極所使用的銀膏中玻璃料的軟化點(diǎn)優(yōu)選低于形成次柵電極所使用的銀膏中玻璃料的軟化點(diǎn)。而且，在本發(fā)明的太陽能電池的制造方法中，形成主柵電極所使用的銀膏中銀的BET值優(yōu)選大于形成次柵電極所使用的銀膏中銀的BET值。此外，在本發(fā)明的太陽能電池的制造方法中，主柵電極的中心部厚度優(yōu)選薄于次柵電極的中心部厚度。進(jìn)而，本發(fā)明為一種太陽能電池，為在基板的表面具有主柵電極及次柵電極的太陽能電池，并且主柵電極中的銀含有率低于次柵電極中的銀含有率。根據(jù)本發(fā)明，能夠提供可減少電極的銀使用量、卻幾乎不會使太陽能電池的性能降低的太陽能電池的制造方法及太陽能電池。附圖說明圖1是本發(fā)明太陽能電池的一例的受光面的俯視示意圖；圖2是由圖1的圓所包圍的部分的立體示意圖；圖3是主柵電極與次柵電極的接合部分的俯視示意圖；圖4(a)是串聯(lián)兩個(gè)太陽能電池后的狀態(tài)的正視示意圖，(b)是(a)所表示的狀態(tài)的側(cè)視示意圖；圖5(a)是主柵電極與次柵電極的接合部分的前視示意圖，(b)是沿(a)的Vb-Vb的剖面示意圖，(c)是對由(b)的圓所包圍的部分中銀料的狀況進(jìn)行圖解的示意性概念圖；圖6是專利文獻(xiàn)1所公開的現(xiàn)有太陽能電池的受光面的俯視示意圖；圖7是沿圖6的VII-VII的剖面示意圖。附圖標(biāo)記說明1p型單晶Si基板；2n型雜質(zhì)擴(kuò)散層；3防止反射膜；4主柵電極；5次柵電極；6BSF層；7背面銀電極；8鋁電極；9中繼饋線；11太陽能電池；101太陽能電池；102電極部；102a主柵；102b次柵；103硅基板；104n型雜質(zhì)擴(kuò)散層；105防止反射膜；106BSF層；107鋁電極；108銀電極；121受光面；122背面。具體實(shí)施方式下面，針對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。另外，在本發(fā)明的附圖中，相同的標(biāo)記表示相同的部分或相當(dāng)?shù)牟糠?。圖1表示本發(fā)明太陽能電池的一例的受光面的俯視示意圖，圖2表示由圖1的圓所包圍的部分的立體示意圖。圖1及圖2所示的太陽能電池11例如可以按照以下的方式進(jìn)行制造。首先，通過對p型單晶Si基板1進(jìn)行蝕刻，在p型單晶Si基板1上形成紋理。然后，在p型單晶Si基板1的受光面(表面)上涂布異丙氧基鈦酸脂中含有磷化合物的PTG(PhosphoricTitanateGlass：磷酸鈦酸鹽玻璃)液后，使之干燥。接著，將涂布PTG液并干燥后的p型單晶Si基板1加熱至例如800℃～900℃，由此，向p型單晶Si基板1擴(kuò)散磷，從而形成n型雜質(zhì)擴(kuò)散層2，同時(shí)形成由含有磷的TiOx形成的防止反射膜3。按照上述方式形成的n型雜質(zhì)擴(kuò)散層2的片電阻例如為45Ω/□左右。然后，在p型單晶Si基板1的非受光面(背面)上，對形成背面銀電極7所使用的銀膏及形成鋁電極8所使用的鋁膏進(jìn)行印刷后，進(jìn)行干燥。而且，在p型單晶Si基板1的受光面(表面)上，對形成次柵電極5所使用的銀膏進(jìn)行印刷，之后，對形成主柵電極4所使用的銀膏進(jìn)行印刷。在對形成次柵電極5所使用的銀膏及形成主柵電極4所使用的銀膏進(jìn)行印刷后，使之干燥。此時(shí)，為了使形成主柵電極4所使用的銀膏中的銀含有率低于形成次柵電極5所使用的銀膏中的銀含有率，在形成主柵電極4所使用的銀膏和形成次柵電極5所使用的銀膏中使用不同的銀膏。對于銀膏及鋁膏的印刷，例如可以使用絲網(wǎng)印刷法，即、使用具有形成所希望的圖案的開口的絲網(wǎng)，對膏體進(jìn)行擠壓，由此而形成電極圖案。在此，銀膏是銀為導(dǎo)電材料的主要成分的膏體，鋁膏是鋁為導(dǎo)電材料的主要成分的膏體。接著，在對所有的電極圖案進(jìn)行印刷后，在例如800℃左右的溫度下燒制銀膏及鋁膏。此時(shí)，在形成主柵電極4所使用的銀膏及形成次柵電極5所使用的銀膏具有燒穿性的情況下，銀膏貫通防止反射膜3，與n型雜質(zhì)擴(kuò)散層2電連接。而且，通過鋁膏的燒制，在p型單晶Si基板1上形成p+層即BSF層6。由此，制造出太陽能電池11。圖3表示主柵電極4與次柵電極5的接合部分的俯視示意圖。為了減少形成次柵電極5所使用的銀膏的使用量，在主柵電極4與次柵電極5重疊的部分分割次柵電極5。在此，次柵電極5例如可以形成為線寬約80μm、平均厚度約15μm。而且，主柵電極4例如可以形成為線寬約3mm、中心部平坦部分的厚度約15μm。圖4(a)表示串聯(lián)兩個(gè)太陽能電池11后的狀態(tài)的正視示意圖，圖4(b)表示圖4(a)所表示的狀態(tài)的側(cè)視示意圖。在圖4(a)及圖4(b)中，簡單表示了太陽能電池11的結(jié)構(gòu)。如圖4(a)及圖4(b)所示，通常串聯(lián)多個(gè)太陽能電池11進(jìn)行使用。中繼饋線9是用來串聯(lián)太陽能電池11的配線，連接某太陽能電池11表面的主柵電極4與另一個(gè)太陽能電池11背面的背面銀電極7。對于中繼饋線9的連接，例如可以使用焊料。中繼饋線9的寬度例如可以為2mm左右。下面，對于次柵電極5與主柵電極4的必要特性進(jìn)行說明。因?yàn)榇螙烹姌O5是經(jīng)過從次柵電極5的端部至主柵電極4的數(shù)cm左右的距離進(jìn)行集電、盡量不損耗太陽能電池11所產(chǎn)生的光電流的電極，所以要求為低電阻。據(jù)此，因?yàn)閷?dǎo)致電阻升高，因而不優(yōu)選減少形成次柵電極5所使用的銀膏的銀含有量。主柵電極4及次柵電極5的材料即燒制銀比純銀的電阻率高一個(gè)數(shù)量級左右。另一方面，中繼饋線9為被焊料覆蓋的銅線，其電阻率可以與純銅相當(dāng)。因此，主柵電極4主要的作用為將次柵電極5所匯集的電流向中繼饋線9傳導(dǎo)，而不是長距離傳導(dǎo)電流。電流在主柵電極4中流動的距離為主柵電極4的寬度以下，短于電流在次柵電極5中流動的長度，所以，因主柵電極4的電阻造成的損耗較少。因此，即使減少形成主柵電極4所使用的銀膏的銀含有量而導(dǎo)致電阻增高，對太陽能電池11性能的影響也較小。本發(fā)明的發(fā)明者們著眼于該點(diǎn)，嘗試在幾乎不降低太陽能電池11性能的程度下減少形成主柵電極4所使用的銀膏的銀含有量。而且，在形成主柵電極4所使用的銀膏與形成次柵電極5所使用的銀膏中使用不同銀膏的情況下，要求：上述電極間的電阻較低、上述電極的接合強(qiáng)度較高、以及上述電極具有長期可靠性。進(jìn)而，主柵電極4有時(shí)會受到來自中繼饋線9的外力。因此，為了不被外力剝離主柵電極4，要求主柵電極4與太陽能電池11表面的粘接強(qiáng)度高，而且長期可靠性高。為了滿足上述條件，對銀膏中玻璃料的量等諸條件進(jìn)行了研究。實(shí)施例下面，詳細(xì)地說明本發(fā)明的實(shí)施例。在以下的實(shí)施例中，使用完全相同的銀膏形成次柵電極5，對形成主柵電極4所使用的銀膏進(jìn)行各種改變，調(diào)查其特性。將形成次柵電極5所使用的銀膏作為基準(zhǔn)銀膏。另外，在以下的實(shí)施例中所使用的所有銀膏都具有燒穿性?！吹谝弧谒膶?shí)施例〉在第一～第四實(shí)施例中，使用改變了形成主柵電極4所使用的銀膏的銀含有率和玻璃料含有率的銀膏，制作第一～第四實(shí)施例的太陽能電池。而且，在第一～第四實(shí)施例中，如上所述，使用基準(zhǔn)銀膏形成次柵電極5。此外，作為基準(zhǔn)，也制作使用基準(zhǔn)銀膏形成主柵電極4及次柵電極5這兩者的基準(zhǔn)太陽能電池。表1表示第一～第四實(shí)施例的太陽能電池及基準(zhǔn)太陽能電池的特性。[表1]第一實(shí)施例第二實(shí)施例第三實(shí)施例第四實(shí)施例基準(zhǔn)銀含有率(wt％)8078807083玻璃料含有率(wt％)1.61.63.64.11.5玻璃料/銀含有率比(％)22.14.55.81.8銀含有率比(％)96.494.096.484.3100最大輸出比(％)100.4100.199.799.9100粘接強(qiáng)度AAAAA可靠性AAAAA首先，對于表1的各項(xiàng)目進(jìn)行說明。表1所示的銀含有率及玻璃料含有率分別為銀膏中的銀含有率及銀膏中的玻璃料含有率。表1所示的銀含有率及玻璃料含有率用wt％(質(zhì)量百分比)來表示。表1所示的玻璃料/銀含有率比為銀膏中玻璃料含有率相對于銀含有率的比例，用百分比表示玻璃料含有率相對于銀含有率的比例。表1所示的銀含有率比為各銀膏的銀含有率相對于基準(zhǔn)銀膏的銀含有率的比率。在表1所示的銀含有率比低于100％的情況下，表示已經(jīng)減少了銀的使用量。表1所示的最大輸出比為第一～第四實(shí)施例的太陽能電池的最大輸出(Pm)相對于使用基準(zhǔn)銀膏、形成主柵電極4及次柵電極5這兩者的基準(zhǔn)太陽能電池的最大輸出(Pm)的比率。在表1所示的最大輸出比接近100％的情況下，可知具有毫不遜色于基準(zhǔn)太陽能電池的性能。表1所示的粘接強(qiáng)度表示主柵電極4的粘接強(qiáng)度。在第一～第四實(shí)施例的太陽能電池及基準(zhǔn)太陽能電池的主柵電極4上焊接被寬度為2.00mm、厚度為0.5mm的焊料覆蓋的中繼饋線9，在45°方向上拉伸，將其剝離強(qiáng)度為2N以上的情況視為合格。在表1中，粘接強(qiáng)度合格的情況記為“A”，不合格的情況記為“B”。表1所示的可靠性是指將第一～第四實(shí)施例的太陽能電池及基準(zhǔn)太陽能電池在溫度85℃、濕度85％的環(huán)境下放置500小時(shí)時(shí)最大輸出的保持率為98％以上的情況視為合格。對于可靠性，表1中也將合格的情況記為“A”，將不合格的情況記為“B”。首先，根據(jù)基準(zhǔn)銀膏的表1所示的結(jié)果，粘接強(qiáng)度及可靠性都是合格的。因此，可知使用基準(zhǔn)銀膏形成至少主柵電極4及次柵電極5這兩者而成為基準(zhǔn)的太陽能電池經(jīng)得起實(shí)際使用。然后，根據(jù)第一～第四實(shí)施例的太陽能電池的結(jié)果，可知第一～第四實(shí)施例的太陽能電池的銀膏中的銀含有率比都低于100％，可以降低銀的使用量。而且，形成第一～第四實(shí)施例太陽能電池的主柵電極4所使用的銀膏的玻璃料含有率都大于基準(zhǔn)銀膏(1.5wt％)，為1.6wt％以上。進(jìn)而，形成第一～第四實(shí)施例的太陽能電池的主柵電極4所使用的銀膏中的玻璃料/銀含有率比都大于基準(zhǔn)銀膏(1.8％)，為2％以上。另一方面，第一～第四實(shí)施例的太陽能電池的最大輸出比為99.7％～100.4％，在性能上幾乎沒有差別。而且，第一～第四實(shí)施例的太陽能電池在粘接強(qiáng)度及可靠性上都是合格的。據(jù)此，通過使形成主柵電極4所使用的銀膏中的銀含有率小于形成次柵電極5所使用的銀膏中的銀含有率，能夠減少電極的銀使用量，卻幾乎不會降低第一～第四實(shí)施例的太陽能電池的性能。而且，通過使形成主柵電極4所使用的銀膏中的玻璃料含有率大于形成次柵電極5所使用的銀膏中的玻璃料含有率，即使在減少了銀膏中的銀使用量的情況下，也能夠得到與使用基準(zhǔn)銀膏的情況下相同程度的太陽能電池的性能。因此，在該情況下，能夠降低成本，卻幾乎不會降低太陽能電池的性能。此外，通過使形成主柵電極4所使用的銀膏中玻璃料含有率相對于銀含有率的比例大于形成次柵電極5所使用的銀膏中玻璃料含有率相對于銀含有率的比例，即使在減少了銀膏中的銀使用量的情況下，也能夠得到與使用基準(zhǔn)銀膏的情況相同程度的太陽能電池的性能。因此，在該情況下，能夠降低成本，卻幾乎不會降低太陽能電池的性能?！吹谖濉诎藢?shí)施例〉在第五～第八實(shí)施例中，對形成主柵電極4所使用的銀膏的銀含有率與玻璃料軟化點(diǎn)進(jìn)行各種改變，制作第五～第八實(shí)施例的太陽能電池，對其特性進(jìn)行調(diào)查。而且，作為第五～第八實(shí)施例的太陽能電池的次柵電極5所使用的銀膏，如上所述，使用了基準(zhǔn)銀膏。此外，作為基準(zhǔn)，如上所述，也制作了使用基準(zhǔn)銀膏形成主柵電極4及次柵電極這兩者的基準(zhǔn)太陽能電池。表2表示第五～第八實(shí)施例的太陽能電池及基準(zhǔn)太陽能電池的特性。[表2]第五實(shí)施例第六實(shí)施例第七實(shí)施例第八實(shí)施例基準(zhǔn)銀含有率(wt％)8078807083玻璃料軟化點(diǎn)(℃)550460460560590與次柵電極的軟化點(diǎn)差(℃)－40－130－130－300銀含有率比(％)96.494.096.484.3100最大輸出比(％)100.4100.199.799.9100粘接強(qiáng)度AAAAA可靠性AAAAA只針對表2項(xiàng)目中、與表1不同的項(xiàng)目進(jìn)行說明。表2所示的玻璃料軟化點(diǎn)表示形成第五～第八實(shí)施例的太陽能電池的主柵電極4所使用的各銀膏中玻璃料的軟化點(diǎn)的溫度。而且，表2所示的與次柵電極的軟化點(diǎn)差表示形成第五～第八實(shí)施例的太陽能電池的主柵電極4所使用的各銀膏的玻璃料軟化點(diǎn)與形成次柵電極5所使用的基準(zhǔn)銀膏的玻璃料軟化點(diǎn)590℃的溫度差。如表2所示，形成第五～第八實(shí)施例的太陽能電池的主柵電極4所使用的銀膏中的銀含有率比都低于100％，能夠減少銀的使用量。而且，形成第五～第八實(shí)施例的太陽能電池的主柵電極4所使用的銀膏的玻璃料軟化點(diǎn)都低于基準(zhǔn)銀膏的玻璃料軟化點(diǎn)(590℃)，都為560℃以下。另一方面，第五～第八實(shí)施例的太陽能電池的最大輸出比為99.7％～100.4％，在性能上與基準(zhǔn)太陽能電池的最大輸出幾乎沒有差別。而且，第五～第八實(shí)施例的太陽能電池的粘接強(qiáng)度及可靠性也都是合格的。根據(jù)上述結(jié)果，通過使形成主柵電極4所使用的銀膏中的銀含有率小于形成次柵電極5所使用的銀膏的銀含有率，能夠減少銀膏中的銀使用量。而且，通過使形成主柵電極4所使用的銀膏中的玻璃料軟化點(diǎn)低于形成次柵電極5所使用的銀膏中的玻璃料軟化點(diǎn)，即使在減少了銀膏中的銀使用量的情況下，也能夠得到與使用基準(zhǔn)銀膏、形成主柵電極4的情況相同程度的太陽能電池的性能。即能夠降低成本，卻幾乎不會降低太陽能電池的性能?！吹诰拧谑?shí)施例〉在第九～第十二實(shí)施例中，對形成主柵電極4所使用的銀膏的銀含有率與銀膏所使用的銀料的BET(BrunaureEmmettTellerValue：布魯尼爾-埃密特-特勒值)值進(jìn)行各種改變，制作第九～第十二實(shí)施例的太陽能電池，對其特性進(jìn)行調(diào)查。而且，作為第九～第十二實(shí)施例的太陽能電池的次柵電極5所使用的銀膏，如上所述，使用了基準(zhǔn)銀膏。此外，作為基準(zhǔn)，如上所述，也制作了使用基準(zhǔn)銀膏形成主柵電極4及次柵電極5這兩者的基準(zhǔn)太陽能電池。表3表示第九～第十二實(shí)施例的太陽能電池及基準(zhǔn)太陽能電池的特性。[表3]第九實(shí)施例第十實(shí)施例第十一實(shí)施例第十二實(shí)施例基準(zhǔn)銀含有率(wt％)8078807083銀料BET值的分類大大大大中銀含有率比(％)96.494.096.484.3100最大輸出比(％)100.4100.199.799.9100粘接強(qiáng)度AAAAA可靠性AAAAA只針對表3的項(xiàng)目中、與表1及表2不同的項(xiàng)目進(jìn)行說明。表3所示的BET值為也稱為比表面積的值，為物體單位質(zhì)量的表面積。將BET值作為銀料粒徑的指標(biāo)來使用，可以看出表3所示的BET值越大，銀膏中銀料的粒徑越小。不考慮銀膏中銀料的形狀，將BET值分為三類，即0.25m2/g以下的值為“小”，0.25至0.50m2/g的值為“中”，0.50m2/g以上的值為“大”，表3表示了銀料BET值的分類。如表3所示，形成第九～第十二實(shí)施例太陽能電池的主柵電極4所使用的銀膏的銀含有率比都低于100％，能夠減少銀的使用量。而且，第九～第十二實(shí)施例的銀料的BET值的分類都為“大”，都大于基準(zhǔn)銀膏的BET值的分類“中”。即形成第九～第十二實(shí)施例太陽能電池的主柵電極4所使用的銀膏的銀料粒徑都小于基準(zhǔn)銀膏所使用的銀料的粒徑。另一方面，第九～第十二實(shí)施例的太陽能電池的最大輸出比為99.7％～100.4％，在性能上與基準(zhǔn)太陽能電池的最大輸出幾乎沒有差別。而且，第九～第十二實(shí)施例的太陽能電池的粘接強(qiáng)度及可靠性也都是合格的。根據(jù)上述結(jié)果，通過使形成主柵電極4所使用的銀膏中的銀含有率小于形成次柵電極5所使用的銀膏的銀含有率，能夠減少銀膏中的銀使用量。而且，通過使形成主柵電極4所使用的銀膏中銀的BET值大于形成次柵電極5所使用的銀膏中銀的BET值，即使在減少了銀膏中的銀使用量的情況下，也能夠得到與使用基準(zhǔn)銀膏、形成主柵電極4的情況相同程度的太陽能電池的性能。即能夠降低成本，卻幾乎不會降低太陽能電池的性能。圖5(a)～圖5(c)示意性地表示第九～第十二實(shí)施例中主柵電極4與次柵電極5的接合部分的狀況。圖5(a)表示主柵電極4與次柵電極5的接合部分的正視示意圖，圖5(b)表示沿圖5(a)的Vb-Vb的剖面示意圖，圖5(c)表示說明由圖5(b)的圓所包圍的部分中銀料狀況的概念圖。另外，在圖5(c)中，空心圓表示形成主柵電極4的銀料，陰影圓表示形成次柵電極5的銀料。如圖5(c)所示，因?yàn)樾纬芍鳀烹姌O4的銀料的粒徑小于形成次柵電極5的銀料的粒徑，所以，形成主柵電極4的銀料進(jìn)入形成次柵電極5的銀料的間隙中，可以認(rèn)為是以低電阻將主柵電極4與次柵電極5連接，并且上述電極的粘著度增高?！吹谑谑鍖?shí)施例及第一參考例〉在第十三～第十五實(shí)施例及第一參考例中，嘗試在幾乎不降低太陽能電池的性能的情況下，減薄主柵電極4的厚度。這是因?yàn)樵跍p薄了主柵電極4厚度的情況下，能夠進(jìn)一步減少銀膏的銀使用量。作為形成第十三～第十五實(shí)施例及第一參考例的太陽能電池的次柵電極5所使用的銀膏，使用基準(zhǔn)銀膏，進(jìn)行絲網(wǎng)印刷，使次柵電極5的線寬約為80μm，形成次柵電極5的平均厚度約為15μm。而且，使用將厚度進(jìn)行四種變化的絲網(wǎng)，對形成第一實(shí)施例的太陽能電池的主柵電極4所使用的銀膏進(jìn)行絲網(wǎng)印刷，由此，形成主柵電極4，從而制作出第十三～第十五實(shí)施例及第一參考例的太陽能電池。主柵電極4的厚度是對主柵電極4中心部的平坦部分進(jìn)行每條三點(diǎn)的測量，將其平均值作為平均厚度。表4表示制作第十三～第十五實(shí)施例及第一參考例的太陽能電池所使用的絲網(wǎng)的規(guī)格與評估結(jié)果。[表4]如表4所示，第十三實(shí)施例的主柵電極4的平均厚度最厚，第一參考例的主柵電極4的平均厚度最薄。而且，第十三～第十五實(shí)施例及第一參考例的太陽能電池的最大輸出比為99.6％～100.2％，性能上幾乎沒有差別。關(guān)于粘接強(qiáng)度與可靠性，第十三～第十五實(shí)施例合格，與之相對，第一參考例不合格。粘接強(qiáng)度與可靠性都合格的第十三～第十五實(shí)施例的太陽能電池的主柵電極4的平均厚度都薄于次柵電極5的平均厚度15μm。這樣，減少形成主柵電極4所使用的銀膏中的銀含有率，此外，使主柵電極4的中心部的平均厚度薄于次柵電極5的平均厚度，由此，減少銀膏中的銀使用量，能夠謀求降低成本，而幾乎不會降低太陽能電池的性能。另一方面，根據(jù)第一參考例的結(jié)果，可知如果主柵電極4的中心部的平均厚度過薄，則粘接強(qiáng)度與可靠性都降低。根據(jù)上述結(jié)果，因?yàn)樵诘谑鍖?shí)施例太陽能電池的主柵電極4的中心部的平均厚度5.9μm與第一參考例太陽能電池的主柵電極4的中心部的平均厚度4.8μm之間存在臨界值，所以，優(yōu)選主柵電極4的中心部的平均厚度為5.4μm以上，進(jìn)而優(yōu)選為5.9μm以上。在第十三～第十五實(shí)施例及第一參考例中，通過改變絲網(wǎng)規(guī)格，改變了主柵電極4的厚度，但通過改變銀膏的粘度，也能夠改變主柵電極4的厚度。如上所述，根據(jù)本發(fā)明，能夠以低成本制造具有與現(xiàn)行太陽能電池相同程度的電氣特性、粘接強(qiáng)度及可靠性的太陽能電池。如上所述，針對本發(fā)明的實(shí)施方式及實(shí)施例進(jìn)行了說明，但從開始也計(jì)劃使上述實(shí)施方式及各實(shí)施例的結(jié)構(gòu)適當(dāng)組合。本次所公開的實(shí)施方式及實(shí)施例在所有方面都是例示而不應(yīng)該認(rèn)為是限制。本發(fā)明的范圍不是上述的說明而是由權(quán)利要求來表示，目的在于包括與權(quán)利要求的保護(hù)范圍等同的含義和保護(hù)范圍內(nèi)的所有變更。工業(yè)實(shí)用性本發(fā)明能夠廣泛適用于使用形成主柵電極所使用的銀膏與形成次柵電極所使用的銀膏為不同銀膏的太陽能電池的制造方法、太陽能電池、以及使用該太陽能電池的所有太陽能電池模塊中。當(dāng)前第1頁1 2 3