1.一種用于晶圓烘烤的裝置，包括烤箱，其特征在于：還包括延時(shí)繼電器、溫度監(jiān)測儀、報(bào)警器和計(jì)算機(jī)，所述烤箱內(nèi)安裝有溫度傳感器，所述溫度傳感器與溫度監(jiān)測儀相連，所述烤箱通過延時(shí)繼電器與溫度監(jiān)測儀相連，所述溫度監(jiān)測儀通過總線與計(jì)算機(jī)相連，所述報(bào)警器與溫度監(jiān)測儀相連。
2.按照權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓烘烤的裝置，其特征在于：所述溫度傳感器有6個(gè)。
3.按照權(quán)利要求2所述的一種用于晶圓烘烤的裝置，其特征在于：所述溫度監(jiān)測儀包括6路數(shù)碼顯示通道。
4.按照權(quán)利要求3所述的一種用于晶圓烘烤的裝置，其特征在于：所述6個(gè)溫度傳感器通過RS485總線分別與溫度監(jiān)測儀的6路數(shù)碼顯示通道相連。
5.按照權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓烘烤的裝置，其特征在于：所述溫度監(jiān)測儀通過RS485總線或RS232總線與計(jì)算機(jī)相連。
6.按照權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓烘烤的裝置，其特征在于：所述延時(shí)繼電器的延時(shí)范圍為0.1秒到99分鐘。