本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種用于晶圓烘烤的裝置。

背景技術(shù)：

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅芯片，由于其形狀為圓形，故稱(chēng)為晶圓。在硅芯片上可加工制作成各種電路組件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。一般是芯片電路設(shè)計(jì)-晶圓的制造-晶圓的測(cè)試-晶圓的切割研磨-芯片的封裝-成品芯片的測(cè)試。晶圓的測(cè)試對(duì)該芯片的成本控制尤其重要，晶圓的測(cè)試可以將功能缺陷的芯片找出，不進(jìn)入后期較大成本的封裝中，節(jié)約了整體的成本。

晶圓烘烤對(duì)溫度和時(shí)間要求非常精確。目前先進(jìn)的工業(yè)烤箱用于晶圓烘烤時(shí)有較多缺陷例如：無(wú)法監(jiān)測(cè)到烤箱內(nèi)多區(qū)域內(nèi)的細(xì)小溫度差；烤箱突然斷電,人員發(fā)現(xiàn)時(shí)不能追溯之前已烘烤的時(shí)間及溫度；烤箱電壓不穩(wěn)時(shí)當(dāng)有溫度超過(guò)或者低于設(shè)定溫度的規(guī)格時(shí)無(wú)法對(duì)其做追蹤,使得后期芯片異常時(shí)烘烤流程無(wú)追溯記錄。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的就是為了克服上述現(xiàn)有晶圓烘烤的問(wèn)題，提供了一種用于晶圓烘烤的裝置，該裝置烤箱內(nèi)設(shè)置6個(gè)溫度傳感器，溫度傳感器與溫度監(jiān)測(cè)儀相連，可以實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)溫度超溫自動(dòng)報(bào)警；溫度監(jiān)測(cè)儀配合RS485 總線或RS232總線接口，把溫度數(shù)據(jù)導(dǎo)入計(jì)算機(jī),通過(guò)計(jì)算機(jī)記錄每次烘烤的溫度曲線，方便以后產(chǎn)品異常的追朔。

本發(fā)明所要求解決的技術(shù)問(wèn)題可以通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：

一種用于晶圓烘烤的裝置，包括烤箱，還包括延時(shí)繼電器、溫度監(jiān)測(cè)儀、報(bào)警器和計(jì)算機(jī)，所述烤箱內(nèi)安裝有溫度傳感器，所述溫度傳感器與溫度監(jiān)測(cè)儀相連，所述烤箱通過(guò)延時(shí)繼電器與溫度監(jiān)測(cè)儀相連，所述溫度監(jiān)測(cè)儀通過(guò)總線與計(jì)算機(jī)相連，所述報(bào)警器與溫度監(jiān)測(cè)儀相連。

進(jìn)一步地，所述溫度傳感器有6個(gè)。

進(jìn)一步地，所述溫度監(jiān)測(cè)儀包括6路數(shù)碼顯示通道。

進(jìn)一步地，所述6個(gè)溫度傳感器通過(guò)RS485總線分別與溫度監(jiān)測(cè)儀的6路數(shù)碼顯示通道相連。

進(jìn)一步地，所述溫度監(jiān)測(cè)儀通過(guò)RS485總線或RS232總線與計(jì)算機(jī)相連。

進(jìn)一步地，所述延時(shí)繼電器的延時(shí)范圍為0.1秒到99分鐘。

本發(fā)明的有益效果：一種用于晶圓烘烤的裝置，烤箱內(nèi)設(shè)置6個(gè)溫度傳感器，溫度傳感器與溫度監(jiān)測(cè)儀相連，可以實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)溫度超溫自動(dòng)報(bào)警；溫度監(jiān)測(cè)儀配合RS485總線或RS232總線接口，把溫度數(shù)據(jù)導(dǎo)入計(jì)算機(jī),通過(guò)計(jì)算機(jī)記錄每次烘烤的溫度曲線，方便以后產(chǎn)品異常的追朔。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明裝置原理框圖。

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白 了解，下面結(jié)合具體圖示，進(jìn)一步闡述本發(fā)明。

具體實(shí)施時(shí)，結(jié)合圖1，一種用于晶圓烘烤的裝置，包括烤箱、延時(shí)繼電器、溫度監(jiān)測(cè)儀、報(bào)警器和計(jì)算機(jī)?？鞠鋬?nèi)安裝有溫度傳感器，溫度傳感器與溫度監(jiān)測(cè)儀相連，烤箱通過(guò)延時(shí)繼電器與溫度監(jiān)測(cè)儀相連；溫度監(jiān)測(cè)儀通過(guò)總線與計(jì)算機(jī)相連，報(bào)警器與溫度監(jiān)測(cè)儀相連。

當(dāng)烤箱的溫度達(dá)到設(shè)定值一段時(shí)間后，可以通過(guò)延時(shí)繼電器讓溫度監(jiān)測(cè)儀開(kāi)始工作，延時(shí)繼電器的延時(shí)范圍可以為0.1秒到99分鐘。為了實(shí)現(xiàn)烤箱的多點(diǎn)溫度監(jiān)測(cè)，能夠監(jiān)測(cè)到烤箱內(nèi)多區(qū)域內(nèi)的細(xì)小溫度差。在烤箱內(nèi)設(shè)置有6個(gè)溫度傳感器。溫度監(jiān)測(cè)儀設(shè)有溫度值數(shù)碼顯示通道，溫度值數(shù)碼顯示通道有6個(gè)通道。溫度傳感器與溫度值數(shù)碼顯示通道一一對(duì)應(yīng)，6個(gè)溫度傳感器通過(guò)RS485總線分別與溫度監(jiān)測(cè)儀的6路數(shù)碼顯示通道相連。溫度監(jiān)測(cè)儀通過(guò)外接報(bào)警器實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)溫度的超溫自動(dòng)報(bào)警。

溫度監(jiān)測(cè)儀可以通過(guò)RS485總線或RS232總線與計(jì)算機(jī)相連，把溫度數(shù)據(jù)導(dǎo)入計(jì)算機(jī)，通過(guò)計(jì)算機(jī)記錄每次烘烤的溫度曲線，一臺(tái)計(jì)算機(jī)可以同時(shí)控制多臺(tái)烤箱，方便以后產(chǎn)品異常的追朔。

一種用于晶圓烘烤的裝置，烤箱內(nèi)設(shè)置6個(gè)溫度傳感器，溫度傳感器與溫度監(jiān)測(cè)儀相連，可以實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)溫度超溫自動(dòng)報(bào)警；溫度監(jiān)測(cè)儀配合RS485總線或RS232總線接口，把溫度數(shù)據(jù)導(dǎo)入計(jì)算機(jī),通過(guò)計(jì)算機(jī)記錄每次烘烤的溫度曲線，方便以后產(chǎn)品異常的追朔。

以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理、主要特征和本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本發(fā)明不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書(shū)中描述的只是說(shuō)明本發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前 提下本發(fā)明還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書(shū)及其等同物界定。