1.一種光檢測(cè)裝置,包括:
圖案化金屬層,形成于一基板上方;
保護(hù)層,形成于該基板上方且暴露出部分該圖案化金屬層;
多個(gè)彩色濾光元件,形成于該保護(hù)層上;和
圖案化無(wú)機(jī)濾光層,形成于該些彩色濾光元件上方。
2.如權(quán)利要求1所述的光檢測(cè)裝置,還包括一中間層,形成于該保護(hù)層上和位于該圖案化金屬層的該些暴露部分之外,其中該中間層位于該些彩色濾光元件和該圖案化無(wú)機(jī)濾光層之間。
3.如權(quán)利要求2所述的光檢測(cè)裝置,其中該中間層全面地覆蓋該些彩色濾光元件。
4.如權(quán)利要求2所述的光檢測(cè)裝置,其中該中間層包括一平坦層、二氧化硅層、四乙基硅烷層、富硅氧化層、等離子體增強(qiáng)氧化層和旋轉(zhuǎn)涂布玻璃膜層至少其中一者。
5.如權(quán)利要求2所述的光檢測(cè)裝置,其中該中間層以一低溫化學(xué)氣相沉積制作工藝形成。
6.如權(quán)利要求2所述的光檢測(cè)裝置,其中該中間層于溫度100℃到300℃之間沉積于該保護(hù)層上。
7.如權(quán)利要求2所述的光檢測(cè)裝置,其中該中間層的一厚度在到之間。
8.如權(quán)利要求7所述的光檢測(cè)裝置,其中各該彩色濾光元件的一厚度在0.5μm到2.5μm之間。
9.如權(quán)利要求1所述的光檢測(cè)裝置,其中該圖案化無(wú)機(jī)濾光層包括:
第一無(wú)機(jī)層,形成于一第一光檢測(cè)區(qū)域,該第一光檢測(cè)區(qū)域具有至少的該些彩色濾光元件的一堆疊;和
第二無(wú)機(jī)層,形成于一第二光檢測(cè)區(qū)域,該第二光檢測(cè)區(qū)域具有排列為一陣列的該些彩色濾光元件。
10.如權(quán)利要求9所述的光檢測(cè)裝置,還包括一中間層,覆蓋位于該第一光檢測(cè)區(qū)域和該第二光檢測(cè)區(qū)域的所有該些彩色濾光元件,其中該第一無(wú)機(jī)層和該第二無(wú)機(jī)層形成于該中間層上并分別對(duì)應(yīng)該第一光檢測(cè)區(qū)域和該 第二光檢測(cè)區(qū)域。
11.如權(quán)利要求9所述的光檢測(cè)裝置,其中該第一無(wú)機(jī)層與該第二無(wú)機(jī)層分隔開來。
12.如權(quán)利要求1所述的光檢測(cè)裝置,其中該圖案化無(wú)機(jī)濾光層為一多層膜結(jié)構(gòu)。
13.如權(quán)利要求1所述的光檢測(cè)裝置,其中該圖案化無(wú)機(jī)濾光層至少包括多個(gè)第一無(wú)機(jī)材料層和第二無(wú)機(jī)材料層交替堆疊而成,且該些第一無(wú)機(jī)材料層的第一介電系數(shù)不同于該些第二無(wú)機(jī)材料層的第二介電系數(shù)。
14.一種光檢測(cè)裝置的制造方法,包括:
提供一基板,且該基板具有一圖案化金屬層形成于其上方;
形成一保護(hù)層于該基板上方且暴露出部分該圖案化金屬層;
形成多個(gè)彩色濾光元件于該保護(hù)層上;和
形成一圖案化無(wú)機(jī)濾光層于該些彩色濾光元件上方。
15.如權(quán)利要求14所述的制造方法,還包括形成一中間層于該些彩色濾光元件上,且該圖案化無(wú)機(jī)濾光層形成于該中間層上,其中該中間層全面地覆蓋該些彩色濾光元件。
16.如權(quán)利要求15所述的制造方法,其中該中間層包括一平坦層、二氧化硅層、四乙基硅烷層、富硅氧化層、等離子體增強(qiáng)氧化層和旋轉(zhuǎn)涂布玻璃膜層至少其中一者。
17.如權(quán)利要求15所述的制造方法,其中該中間層于溫度100℃到300℃之間沉積于該保護(hù)層上。
18.如權(quán)利要求15所述的制造方法,其中該中間層的一厚度在到之間。
19.如權(quán)利要求14所述的制造方法,其中該圖案化無(wú)機(jī)濾光層包括:
第一無(wú)機(jī)層,形成于一第一光檢測(cè)區(qū)域,該第一光檢測(cè)區(qū)域具有至少的該些彩色濾光元件的一堆疊;和
第二無(wú)機(jī)層,形成于一第二光檢測(cè)區(qū)域,該第二光檢測(cè)區(qū)域具有排列為一陣列的該些彩色濾光元件,
其中該第一無(wú)機(jī)層和該第二無(wú)機(jī)層依序形成。
20.如權(quán)利要求19所述的制造方法,還包括形成一中間層覆蓋位于該第一光檢測(cè)區(qū)域和該第二光檢測(cè)區(qū)域的所有該些彩色濾光元件,其中該第一無(wú) 機(jī)層和該第二無(wú)機(jī)層形成于該中間層上并分別對(duì)應(yīng)該第一光檢測(cè)區(qū)域和該第二光檢測(cè)區(qū)域。
21.如權(quán)利要求14所述的制造方法,還包括:
形成微透鏡于該圖案化無(wú)機(jī)濾光層上方。
22.如權(quán)利要求21所述的制造方法,還包括:
形成一平坦層以覆蓋該圖案化無(wú)機(jī)濾光層,其中該些微透鏡形成于該平坦層上。
23.如權(quán)利要求14所述的制造方法,還包括:
形成微透鏡于該些彩色濾光元件上,其中該圖案化無(wú)機(jī)濾光層在不使該些微透鏡形變的溫度下形成于該些微透鏡上。