固體攝像裝置制造方法
【專利摘要】纖維光學(xué)板(40)的光射出端面(40b)側(cè)的部分(41)包括第一部分(41a)和第二部分(41b)。第一部分(41a)與半導(dǎo)體光檢測元件(20)的周邊部分(23)對應(yīng)。第二部分(41b)與半導(dǎo)體光檢測元件(20)的薄型部分(25)對應(yīng)，并且比第一部分(41a)更向半導(dǎo)體光檢測元件(20)突出。由纖維光學(xué)板(40)的第一部分(41a)和第二部分(41b)構(gòu)成的臺階差的高度比由半導(dǎo)體光檢測元件(20)的薄型部分(25)和周邊部分(23)構(gòu)成的臺階差的高度低。半導(dǎo)體光檢測元件(20)和纖維光學(xué)板(40)以使第一部分(41a)和周邊部分(23)接觸并且使第二部分(41b)和薄型部分(25)分離的狀態(tài)，通過樹脂(45)被固定。
【專利說明】固體攝像裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001〕 本發(fā)明涉及固體攝像裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]已知有一種固體攝像裝置，其包括:具有光入射端面和光射出端面的纖維光學(xué)板；和光入射面與纖維光學(xué)板的光射出端面光學(xué)結(jié)合的半導(dǎo)體光檢測元件(例如，參照專利文獻1)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0004]專利文獻
[0005]專利文獻1:日本特開2000 — 162724號公報


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明所要解決的課題
[0007]為了使固體攝像裝置的檢測靈敏度提高，考慮采用背面入射型的半導(dǎo)體光檢測元件作為半導(dǎo)體光檢測元件。但是，在采用了背面入射型的半導(dǎo)體光檢測元件的固體攝像裝置中，擔心存在以下的問題。
[0008]背面入射型的半導(dǎo)體光檢測元件具有相互相對的第一主面和第二主面。背面入射型的半導(dǎo)體光檢測元件通常將光感應(yīng)區(qū)域設(shè)置于第一主面?zhèn)?，并且使與光感應(yīng)區(qū)域?qū)?yīng)的部分以殘留該部分的周邊部分的方式從第二主面?zhèn)缺槐』?。因此，在纖維光學(xué)板配置于背面入射型的半導(dǎo)體光檢測元件的狀態(tài)下，纖維光學(xué)板的光射出端面和半導(dǎo)體光檢測元件中的被薄化的部分只離開由半導(dǎo)體光檢測元件的被薄化的部分和周邊部分構(gòu)成的臺階差的程度。纖維光學(xué)板的光射出端面與半導(dǎo)體光檢測元件中的被薄化的部分離開時，則從纖維光學(xué)板的光射出端面射出的光進行擴散直至入射到半導(dǎo)體光檢測元件。其結(jié)果，固體攝像裝置的解像度(空間分辨率)降低。
[0009]本發(fā)明的目的在于，提供一種即使在采用背面入射型的半導(dǎo)體光檢測元件的情況下也能夠抑制解像度的降低的固體攝像裝置。
[0010]解決課題的技術(shù)手段
[0011]本發(fā)明為固體攝像裝置，其具有:背面入射型的半導(dǎo)體光檢測元件，其具有相互相對的第一主面和第二主面，在第一主面?zhèn)仍O(shè)置有光感應(yīng)區(qū)域，并且與光感應(yīng)區(qū)域?qū)?yīng)的部分以殘留該部分的周邊部分的方式從第二主面?zhèn)缺槐』环庋b體(即土叫6),其具有相互相對的第三主面和第四主面，在第三主面和第四主面開口，并且形成有收納半導(dǎo)體光檢測元件的收納空間；纖維光學(xué)板，其具有光入射端面和光射出端面，光射出端面以與第二主面相對的方式配置；和保護部件，其從第一主面?zhèn)缺还潭ㄓ诎雽?dǎo)體光檢測元件，保護半導(dǎo)體光檢測元件的被薄化的部分，纖維光學(xué)板的光入射端面?zhèn)鹊牟糠謴牡谌髅嫦蚍庋b體的外側(cè)突出，纖維光學(xué)板的光射出端面?zhèn)鹊牟糠职?與半導(dǎo)體光檢測元件的周邊部分對應(yīng)的第一部分；和與半導(dǎo)體光檢測元件的被薄化的部分對應(yīng)，并且比第一部分更向半導(dǎo)體光檢測元件突出的第二部分，由纖維光學(xué)板的第一部分和第二部分構(gòu)成的臺階差的高度比由半導(dǎo)體光檢測元件的被薄化的部分和周邊部分構(gòu)成的臺階差的高度低，半導(dǎo)體光檢測元件和纖維光學(xué)板，通過填充在光射出端面和被薄化的部分之間的、相對于被檢測光為光學(xué)透明的樹脂，以使第一部分和周邊部分接觸并且使第二部分和被薄化的部分離開的狀態(tài)被固定，纖維光學(xué)板的第二部分和半導(dǎo)體光檢測元件的被薄化的部分通過樹脂而被光學(xué)結(jié)合。
[0012]在本發(fā)明中，纖維光學(xué)板的光射出端面?zhèn)鹊牟糠职?與半導(dǎo)體光檢測元件的周邊部分對應(yīng)的第一部分；和與半導(dǎo)體光檢測元件的被薄化的部分對應(yīng)，并且比第一部分更向半導(dǎo)體光檢測元件突出的第二部分。因此，在纖維光學(xué)板配置于背面入射型的半導(dǎo)體光檢測元件的狀態(tài)下，纖維光學(xué)板的第二部分中的光射出端面和半導(dǎo)體光檢測元件中的被薄化的部分接近。因此，從纖維光學(xué)板的第二部分中的光射出端面射出的光難以進行擴散直至入射到半導(dǎo)體光檢測元件，能夠抑制固體攝像裝置的解像度(空間分辨率)降低。
[0013]由纖維光學(xué)板的第一部分和第二部分構(gòu)成的臺階差的高度設(shè)定為比由半導(dǎo)體光檢測元件的被薄化的部分和周邊部分構(gòu)成的臺階差的高度低。半導(dǎo)體光檢測元件和纖維光學(xué)板以使第一部分和周邊部分接觸并且使第二部分和被薄化的部分分離的狀態(tài)被固定。由此，即使在纖維光學(xué)板的第二部分中的光射出端面和半導(dǎo)體光檢測元件中的被薄化的部分接近的狀態(tài)下，半導(dǎo)體光檢測元件中的被薄化的部分和纖維光學(xué)板(第二部分)也不接觸。因此，能夠防止由于纖維光學(xué)板的接觸等而使半導(dǎo)體光檢測元件的被薄化的部分受到損傷。
[0014]保護部件從第一主面?zhèn)缺还潭ㄓ诎雽?dǎo)體光檢測元件，保護半導(dǎo)體光檢測元件的被薄化的部分。由此，能夠在機械上增強半導(dǎo)體光檢測元件中的被薄化的部分。
[0015]半導(dǎo)體光檢測元件和纖維光學(xué)板通過填充在光射出端面和被薄化的部分之間的、相對于被檢測光為光學(xué)透明的樹脂而被固定。固定半導(dǎo)體光檢測元件和纖維光學(xué)板的樹脂因為填充在纖維光學(xué)板的光射出端面與半導(dǎo)體光檢測元件中的被薄化的部分之間，所以在纖維光學(xué)板的光射出端面與半導(dǎo)體光檢測元件中的被薄化的部分之間、特別是在纖維光學(xué)板的第二部分與半導(dǎo)體光檢測元件中的被薄化的部分之間難以產(chǎn)生空隙(701(1)。因此，能夠防止從纖維光學(xué)板的第二部分中的光射出端面射出的光的散射等。
[0016]在纖維光學(xué)板的第二部分的、與半導(dǎo)體光檢測元件的被薄化的部分相對的面，也可以配置有波長選擇濾波器，半導(dǎo)體光檢測元件和纖維光學(xué)板也可以以波長選擇濾波器和被薄化的部分分離的狀態(tài)被固定。在此情況下，即使在波長選擇濾波器和半導(dǎo)體光檢測元件中的被薄化的部分接近的狀態(tài)下，半導(dǎo)體光檢測元件中的被薄化的部分和波長選擇濾波器也不接觸。因此，能夠防止由于波長選擇濾波器的接觸等而使半導(dǎo)體光檢測元件的被薄化的部分和波長選擇濾波器中的任一者受到損傷。
[0017]半導(dǎo)體光檢測元件也可以經(jīng)由臺座而被固定于封裝體。在此情況下，能夠精度良好地固定半導(dǎo)體光檢測元件。
[0018]固體攝像裝置也可以還具有蓋部件，該蓋部件從第四主面?zhèn)乳]塞收納空間，并被固定于保護部件，保護部件和蓋部件也可以被熱結(jié)合。在此情況下，在半導(dǎo)體光檢測元件產(chǎn)生的熱通過保護部件和蓋部件而被放射。因此，能夠使散熱性提高。
[0019]保護部件和蓋部件也可以通過含有樹脂和由熱傳導(dǎo)率比該樹脂高的材料構(gòu)成的填料的粘接劑而被固定。在此情況下，能夠更加提高散熱性。
[0020]發(fā)明的效果
[0021]根據(jù)本發(fā)明，能夠提供即使在采用背面入射型的半導(dǎo)體光檢測元件的情況下也能夠抑制解像度的降低的固體攝像裝置。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]圖1為表示本實施方式所涉及的固體攝像裝置的俯視圖。
[0023]圖2為用于說明沿著圖1中的II 一 II線的截面構(gòu)成的圖。
[0024]圖3為用于說明半導(dǎo)體光檢測元件和纖維光學(xué)板的截面構(gòu)成的圖。
[0025]圖4為表示本實施方式所涉及的固體攝像裝置的構(gòu)成的分解立體圖。
[0026]圖5為用于說明本實施方式所涉及的固體攝像裝置的制造過程的圖。
[0027]圖6為用于說明本實施方式所涉及的固體攝像裝置的制造過程的圖。
[0028]圖7為用于說明本實施方式所涉及的固體攝像裝置的制造過程的圖。

【具體實施方式】
[0029]以下，參照附圖，對本發(fā)明的優(yōu)選實施方式進行詳細的說明。另外，在說明中，對相同的要素或具有相同功能的要素使用相同符號，省略重復(fù)的說明。
[0030]首先，參照圖1?圖4，對本實施方式所涉及的固體攝像裝置1的構(gòu)成進行說明。圖1為表示本實施方式所涉及的固體攝像裝置的俯視圖。圖2為用于說明沿著圖1中的
II一 II線的斷面構(gòu)成的圖。圖3為用于說明半導(dǎo)體光檢測元件和纖維光學(xué)板的截面構(gòu)成的圖。圖4為用于說明本實施方式所涉及的固體攝像裝置的構(gòu)成的分解立體圖。
[0031]如圖1?圖4所示，固體攝像裝置1具有封裝體10、背面入射型的半導(dǎo)體光檢測元件20、臺座30、纖維光學(xué)板(111361 01)1:108140、保護部件50和蓋部件60。固體攝像裝置1可以用于成像板的放射線圖像讀出裝置。成像板的放射線圖像讀出裝置向成像板照射激發(fā)光，檢測從成像板放射的光。從成像板放射的光(被檢測光)的波長與激發(fā)光的波長不同。
[0032]封裝體10具有相互相對的主面103和主面106，由陶瓷材料構(gòu)成。在本實施方式中，封裝體10由氧化鋁構(gòu)成。在封裝體10的中央?yún)^(qū)域形成有沿封裝體10中的規(guī)定方向延伸的中空部11。封裝體10在俯視中呈大致長方形狀，中空部11沿封裝體10的長邊方向延伸。
[0033]中空部11在主面103和主面106開口。主面103的開口在俯視中呈大致長方形狀，沿封裝體10的長邊方向延伸。中空部11起到作為收納半導(dǎo)體光檢測元件20的收納空間的功能。在封裝體10，以向中空部11突出的方式設(shè)置有用于載置半導(dǎo)體光檢測元件20的載置部13。
[0034]載置部13具有:用于配置半導(dǎo)體光檢測元件20的第一平面15 ；配置了電極墊(未圖示)的第二平面16 ；和固定有蓋部件60的第三平面17。第一、第二和第三平面15、16、17與主面103相對，從主面106側(cè)以第三平面17、第二平面16、第一平面15的順序形成為臺階狀。即，由主面106和第三平面17構(gòu)成臺階差，由第三平面17和第二平面16構(gòu)成臺階差，由第二平面16和第一平面15構(gòu)成臺階差。
[0035]在封裝體10的兩側(cè)面分別配置有外部連接用的多個電極銷19。電極銷19通過配置于封裝體10內(nèi)的配線而與對應(yīng)的電極墊進行電連接。
[0036]半導(dǎo)體光檢測元件20具有相互相對的主面203和主面201在主面203側(cè)設(shè)置有光感應(yīng)區(qū)域21。光感應(yīng)區(qū)域21根據(jù)入射光產(chǎn)生電荷。在本實施方式中，作為半導(dǎo)體光檢測元件20，可以使用81(8^1(^-11111111111211:6(1 111111111118(薄型背照式))一電荷I禹合元件)。所產(chǎn)生的電荷通過移位寄存器而作為信號電荷被傳送，并變換為與信號電荷對應(yīng)的電壓而被輸出。半導(dǎo)體光檢測元件20通過11)1 (111116 061&7 1=1:6取'社丨011 (時間延遲積分))動作進行電荷傳送。半導(dǎo)體光檢測元件20的各電極墊(未圖示)通過接合導(dǎo)線
^11-6)而與封裝體10的對應(yīng)的電極墊電連接。
[0037]半導(dǎo)體光檢測元件20中，與光感應(yīng)區(qū)域21對應(yīng)的部分以殘留該部分的周邊部分23的方式從主面206側(cè)被薄化。即，與光感應(yīng)區(qū)域21對應(yīng)的部分成為被薄化的部分(薄型部分〉25。半導(dǎo)體光檢測元件20的薄化例如可以如以下所述進行。在構(gòu)成半導(dǎo)體光檢測元件20的硅基板的主面206堆積氮化硅膜，通過光刻工序使氮化硅膜圖形化成所期望的形狀。與周邊部分23對應(yīng)的區(qū)域被氮化硅膜覆蓋，與光感應(yīng)區(qū)域21對應(yīng)的部分露出。之后，通過蝕刻液(例如，1(0?等)，以原樣使氮化硅膜所覆蓋的區(qū)域(與周邊部分23對應(yīng)的區(qū)域)較厚地殘留的方式，對硅基板進行蝕刻。
[0038]半導(dǎo)體光檢測元件20以主面206側(cè)成為光入射面的方式，通過臺座30而被載置于載置部13的第一平面15，并被固定于載置部13(封裝體10)。半導(dǎo)體光檢測元件20以半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25面向主面103的開口的方式配置于封裝體10。薄型部分25與主面103的開口對應(yīng)，沿主面103的開口的長邊方向延伸。
[0039]在臺座30形成有與主面103的開口對應(yīng)的貫通孔。臺座30由規(guī)定的溫度范圍內(nèi)的熱膨脹系數(shù)比半導(dǎo)體光檢測元件20(硅)的熱膨脹系數(shù)大的陶瓷材料構(gòu)成。在本實施方式中，臺座30由氧化鋁構(gòu)成。臺座30通過粘接劑(未圖示)被固定于封裝體10。通過粘接劑(未圖示)，半導(dǎo)體光檢測元件20的周邊部分23的主面206側(cè)固定于臺座30。
[0040]纖維光學(xué)板40具有光入射端面403和光射出端面40)3。纖維光學(xué)板40以光射出端面406與半導(dǎo)體光檢測元件20的主面206相對的方式配置。纖維光學(xué)板40在俯視中呈大致長方形狀，其長邊方向與主面103的開口的長邊方向一致。
[0041〕 纖維光學(xué)板40的光射出端面406側(cè)的部分41也如圖3所示，包括第一部分413和第二部分41匕第一部分4匕定位成與半導(dǎo)體光檢測元件20的周邊部分23對應(yīng)。第二部分4化定位成與半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25對應(yīng)。第二部分416比第一部分4匕更向半導(dǎo)體光檢測元件20突出。即，在光射出端面401通過第一部分4匕和第二部分416形成臺階差。由纖維光學(xué)板40的第一部分4匕和第二部分4化構(gòu)成的臺階差的高度設(shè)定為比由半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25和周邊部分23構(gòu)成的臺階差的高度低。
[0042]在纖維光學(xué)板40的第二部分416中的與半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25相對的面(第二部分416的光射出端面404，配置有波長選擇濾波器70。波長選擇濾波器70例如是電介質(zhì)多層膜濾波器。電介質(zhì)多層膜濾波器可以通過蒸鍍等形成于纖維光學(xué)板40的第二部分416的光射出端面40匕
[0043]在成像板的放射線圖像讀出裝置中，為了使向成像板照射的激發(fā)光不入射到半導(dǎo)體光檢測元件20，需要使激發(fā)光和被檢測光分離。通過波長選擇濾波器70能夠使激發(fā)光和被檢測光分離，被檢測光入射到半導(dǎo)體光檢測元件20。
[0044]半導(dǎo)體光檢測元件20和纖維光學(xué)板40通過樹脂45固定。在纖維光學(xué)板40固定于半導(dǎo)體光檢測元件20的狀態(tài)下，第一部分4匕和周邊部分23接觸，并且波長選擇濾波器70 (第二部分414與薄型部分25分離。樹脂45相對于被檢測光為光學(xué)透明。樹脂45填充在纖維光學(xué)板40的光射出端面406和波長選擇濾波器70與半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25之間的空間。由此，波長選擇濾波器70(纖維光學(xué)板40的第二部分414和半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25通過樹脂45而被光學(xué)結(jié)合。在本實施方式中，作為樹脂45，可以使用透明的硅酮樹脂。
[0045]在纖維光學(xué)板40固定于半導(dǎo)體光檢測元件20的狀態(tài)下，纖維光學(xué)板40的光入射端面403側(cè)的部分43比封裝體10的主面103更向封裝體10的外側(cè)突出。纖維光學(xué)板40不直接固定于封裝體10，而是通過半導(dǎo)體光檢測元件20和臺座30而固定于封裝體10。因此，在纖維光學(xué)板40與封裝體10之間形成有規(guī)定的間隙。
[0046]纖維光學(xué)板40的第二部分416與半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25的間隔設(shè)定為比波長選擇濾波器70的厚度大。即，由半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25和周邊部分23構(gòu)成的臺階差的高度設(shè)定為比由纖維光學(xué)板40的第一部分4匕和第二部分416構(gòu)成的臺階差的高度加上波長選擇濾波器70的厚度而得到的值高。因此，在第一部分413與周邊部分23接觸的狀態(tài)下，半導(dǎo)體光檢測元件20和波長選擇濾波器70分離。
[0047]保護部件50從主面203側(cè)固定于半導(dǎo)體光檢測元件20。保護部件50保護半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25。保護部件50在俯視中呈大致長方形狀，其長邊方向成為薄型部分25的長度方向。保護部件50例如由藍寶石基板等構(gòu)成。保護部件50通過粘接劑(未圖示)被固定于半導(dǎo)體光檢測元件20。
[0048]蓋部件60從主面106閉塞中空部11。蓋部件60的端部固定于載置部13的第三平面17。蓋部件60由陶瓷材料構(gòu)成。在本實施方式中，蓋部件60由氧化鋁構(gòu)成。蓋部件60通過粘接劑(未圖示)固定于封裝體10(第三平面17〉。蓋部件60也被固定于保護部件50。由此，保護部件50和蓋部件60被熱結(jié)合。蓋部件60通過粘接劑61被固定于保護部件50。粘接劑61含有樹脂(例如，環(huán)氧樹脂等)和由熱傳導(dǎo)率比該樹脂高的材料構(gòu)成的填料(例如，氧化鋁等
[0049]接著，參照圖5?圖7，對具有上述構(gòu)成的固體攝像裝置1的制造過程進行說明。圖5?圖7為用于說明本實施方式所涉及的固體攝像裝置的制造過程的圖。
[0050]首先，準備封裝體10和臺座30，通過粘接劑81將臺座30固定于封裝體10(第一平面15)(參照圖5的^))。作為粘接劑81，例如使用含有^粉作為填料的環(huán)氧樹脂。
[0051]接著，通過粘接劑82，將準備的半導(dǎo)體光檢測元件20固定于臺座30(參照圖5的(幻)。作為粘接劑82，例如使用含有^粉作為填料的環(huán)氧樹脂。臺座30的固定于封裝體10的面和固定半導(dǎo)體光檢測元件20的面通過機械加工(例如，化學(xué)機械研磨等)而被平坦化。由此，能夠適當?shù)匾?guī)定半導(dǎo)體光檢測元件20的搭載面。
[0052]接著，通過導(dǎo)線接合，將對應(yīng)的半導(dǎo)體光檢測元件20的電極墊(未圖示)和封裝體10的電極墊(未圖示)連接(參照圖6的(4)。
[0053]接著，通過粘接劑83，將準備的保護部件50固定于半導(dǎo)體光檢測元件20的主面203(參照圖6的化))。作為粘接劑83，例如可以使用環(huán)氧樹脂。在使粘接劑83固化時，使之升溫到上述的規(guī)定的溫度范圍。由此，通過半導(dǎo)體光檢測元件20與臺座30的熱膨脹系數(shù)的差，半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25成為平坦化的狀態(tài)，原樣維持該狀態(tài)，保護部件50被固定于半導(dǎo)體光檢測元件20。
[0054]接著，通過粘接劑61、84，將準備的蓋部件60固定于保護部件50和封裝體10(第三平面17)(參照圖7的(4)。作為粘接劑61，例如可以使用加入有上述的氧化鋁填料的環(huán)氧樹脂。粘接劑61的固化在比上述的規(guī)定的溫度范圍低的溫度范圍進行。作為將蓋部件60和封裝體10固定的粘接劑84，例如可以使用環(huán)氧樹脂。
[0055]接著，通過樹脂45，將準備的纖維光學(xué)板40固定于半導(dǎo)體光檢測元件20(參照圖7的化))。在纖維光學(xué)板40，在第二部分416的光射出端面406形成有波長選擇濾波器70。作為樹脂45，可以使用透明的硅酮樹脂。該硅酮樹脂在室溫下被固化。
[0056]通過這些制造過程，能夠得到具有上述的構(gòu)成的固體攝像裝置1。
[0057]如以上所述，在本實施方式中，纖維光學(xué)板40的光射出端面406側(cè)的部分41包括第一部分4匕和第二部分41匕在纖維光學(xué)板40的第二部分416中的光射出端面406配置有波長選擇濾波器70。因此，在將纖維光學(xué)板40配置于半導(dǎo)體光檢測元件20的狀態(tài)下，波長選擇濾波器70(第二部分416中的光射出端面404和半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25接近。因此，從波長選擇濾波器70射出的光難以擴散直至入射到半導(dǎo)體光檢測元件20，能夠抑制固體攝像裝置1的解像度(空間分辨率)降低。
[0058]由纖維光學(xué)板40的第一部分4匕和第二部分416構(gòu)成的臺階差的高度設(shè)定為比從由半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25和周邊部分23構(gòu)成的臺階差的高度減去波長選擇濾波器70的厚度而得到的值低。半導(dǎo)體光檢測元件20和纖維光學(xué)板40以使第一部分418和周邊部分23接觸并且使波長選擇濾波器70 (第二部分41幻和薄型部分25分離的狀態(tài)被固定。由此，即使在波長選擇濾波器70和半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25接近的狀態(tài)下，半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25和波長選擇濾波器70也不接觸。因此，能夠防止由于波長選擇濾波器70的接觸等而使半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25和波長選擇濾波器70中的任一者受到損傷。
[0059]保護部件50從主面203側(cè)固定于半導(dǎo)體光檢測元件20，保護半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25。由此，能夠在機械上增強半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25。在保護部件50固定于半導(dǎo)體光檢測元件20的狀態(tài)下，維持半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25被平坦化的狀態(tài)。因此，能夠抑制波長選擇濾波器70(第二部分416中的光射出端面40幻與半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25的間隔根據(jù)場所而變化，能夠防止解像度產(chǎn)生偏差。
[0060]半導(dǎo)體光檢測元件20和纖維光學(xué)板40通過填充在纖維光學(xué)板40的光射出端面40?和波長選擇濾波器70與半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25之間的空間的樹脂45而被固定。因為樹脂45填充于纖維光學(xué)板40的光射出端面40)3和波長選擇濾波器70與半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25之間，因此，在纖維光學(xué)板40的光射出端面406與半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25之間、特別是在波長選擇濾波器70與薄型部分25之間難以產(chǎn)生空隙。因此，能夠防止從波長選擇濾波器70射出的光的散射等。
[0061]半導(dǎo)體光檢測元件20通過臺座30固定于封裝體10。由此，能夠?qū)雽?dǎo)體光檢測元件20精度良好地固定于封裝體10。
[0062]從主面106閉塞中空部11的蓋部件60固定于保護部件50，并與保護部件50熱結(jié)合。由此，通過半導(dǎo)體光檢測元件20產(chǎn)生的熱量通過保護部件50和蓋部件60而被放射，能夠提高散熱性。
[0063]保護部件50和蓋部件60通過含有樹脂和由熱傳導(dǎo)率比該樹脂高的材料構(gòu)成的填料的粘接劑61而被固定。由此，能夠更加提高散熱性。
[0064]以上，對本發(fā)明的優(yōu)選實施方式進行了說明，但是，本發(fā)明未必限定于上述的實施方式，在不脫離其要旨的范圍內(nèi)可以進行各種變更。
[0065]本實施方式的固體攝像裝置1不僅可以用于成像板的放射線圖像讀出裝置，而且也可以用于分光裝置等。
[0066]在不需要選擇入射到半導(dǎo)體光檢測元件20的光的情況下，不需要配置波長選擇濾波器70。在該情況下，由纖維光學(xué)板40的第一部分4匕和第二部分416構(gòu)成的臺階差的高度也可以設(shè)定為比由半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25和周邊部分23構(gòu)成的臺階差的高度低。由此，能夠防止半導(dǎo)體光檢測元件20的薄型部分25發(fā)生損傷。
[0067]產(chǎn)業(yè)上的可利用性
[0068]本發(fā)明可以利用于成像板的放射線圖像讀出裝置所使用的固體攝像裝置。
[0069]符號的說明
[0070]1…固體攝像裝置、10…封裝體、103、106…主面、11…中空部、20…半導(dǎo)體光檢測元件、20^2013…主面、21…光感應(yīng)區(qū)域、23…周邊部分、25…薄型部分、30…臺座、40…纖維光學(xué)板、403…光入射端面、406…光射出端面、41…光射出端面?zhèn)鹊牟糠帧?匕…第一部分、4化…第二部分、43…光入射端面?zhèn)鹊牟糠帧?5…樹脂、50…保護部件、60…蓋部件、61…粘接劑、70…波長選擇濾波器。
【權(quán)利要求】
1.一種固體攝像裝置，其特征在于， 具有: 背面入射型的半導(dǎo)體光檢測元件，其具有相互相對的第一主面和第二主面，在所述第一主面?zhèn)仍O(shè)置有光感應(yīng)區(qū)域，并且與所述光感應(yīng)區(qū)域?qū)?yīng)的部分以殘留該部分的周邊部分的方式從所述第二主面?zhèn)缺槐』? 封裝體，其具有相互相對的第三主面和第四主面，在所述第三主面和所述第四主面開口，并且形成有收納所述半導(dǎo)體光檢測元件的收納空間； 纖維光學(xué)板，其具有光入射端面和光射出端面，所述光射出端面以與所述第二主面相對的方式配置；以及 保護部件，其從所述第一主面?zhèn)缺还潭ㄓ谒霭雽?dǎo)體光檢測元件，保護所述半導(dǎo)體光檢測元件的被薄化的部分， 所述纖維光學(xué)板的所述光入射端面?zhèn)鹊牟糠謴乃龅谌髅嫦蛩龇庋b體的外側(cè)突出， 所述纖維光學(xué)板的所述光射出端面?zhèn)鹊牟糠职?與所述半導(dǎo)體光檢測元件的所述周邊部分對應(yīng)的第一部分；以及與所述半導(dǎo)體光檢測元件的被薄化的部分對應(yīng)，并且比所述第一部分更向所述半導(dǎo)體光檢測元件突出的第二部分， 由所述纖維光學(xué)板的所述第一部分和所述第二部分構(gòu)成的臺階差的高度比由所述半導(dǎo)體光檢測元件的被薄化的所述部分和所述周邊部分構(gòu)成的臺階差的高度低， 所述半導(dǎo)體光檢測元件和所述纖維光學(xué)板，利用填充于所述光射出端面和被薄化的所述部分之間并且相對于被檢測光為光學(xué)透明的樹脂，以使所述第一部分和所述周邊部分接觸并且使所述第二部分和被薄化的所述部分分離的狀態(tài)被固定， 所述纖維光學(xué)板的所述第二部分和所述半導(dǎo)體光檢測元件的被薄化的所述部分經(jīng)由所述樹脂而被光學(xué)結(jié)合。
2.如權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置，其特征在于: 在所述纖維光學(xué)板的所述第二部分的、與所述半導(dǎo)體光檢測元件的被薄化的所述部分相對的面，配置有波長選擇濾波器， 所述半導(dǎo)體光檢測元件和所述纖維光學(xué)板以所述波長選擇濾波器和被薄化的所述部分分離的狀態(tài)被固定。
3.如權(quán)利要求1或2所述的固體攝像裝置，其特征在于: 所述半導(dǎo)體光檢測元件經(jīng)由臺座而被固定于所述封裝體。
4.如權(quán)利要求1?3中任一項所述的固體攝像裝置，其特征在于: 還具有: 蓋部件，其從所述第四主面?zhèn)乳]塞所述收納空間，并被固定于所述保護部件， 所述保護部件和所述蓋部件被熱結(jié)合。
5.如權(quán)利要求4所述的固體攝像裝置，其特征在于: 所述保護部件和所述蓋部件利用含有樹脂和由熱傳導(dǎo)率比該樹脂高的材料構(gòu)成的填料的粘接劑而被固定。
【文檔編號】H01L27/14GK104303303SQ201380026040
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2013年3月13日 優(yōu)先權(quán)日:2012年5月18日
【發(fā)明者】小林宏也, 村松雅治 申請人:浜松光子學(xué)株式會社