專利名稱：工件支承裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體基板、液晶基板等工件的支承裝置，涉及一種 利用氣體使工件懸浮從而能夠不帶破損和瑕疵地進(jìn)行輸送的工件支承裝置。
背景技術(shù)：
在例如精密設(shè)備領(lǐng)域等生產(chǎn)工序中，即使是微小地給工件劃上瑕疵、 或是弄臟也會(huì)成為不合格的要因，因此是不容許的，因而一般采用利用氣 體以非接觸狀態(tài)支承工件進(jìn)行輸送的方式。
例如專利文獻(xiàn)1中揭示了一種空氣懸浮輸送裝置，不過(guò)，該空氣懸浮 輸送裝置是從配置在平面基板下方的空氣懸浮單元噴射空氣，使平面基板 懸浮且利用進(jìn)給機(jī)構(gòu)向前方移送，在位于平面基板的輸送方向前端的空氣 懸浮單元的下游端附近，設(shè)置增大平面基板懸浮量的機(jī)構(gòu)，以使平面基板 和空氣懸浮單元不會(huì)干涉而發(fā)生破損、劃上瑕疵。
專利文獻(xiàn)1:特開(kāi)2006—222209號(hào)公報(bào)
另外，專利文獻(xiàn)2中揭示了一種在大型基板上附加了帶保護(hù)膜的薄膜 的裝置中所采用的基板輸送系統(tǒng)，利用基板懸浮板向基板吹出來(lái)自下面的 空氣從而使基板懸浮，用沿著基板輸送路徑設(shè)置的輸送用輥夾入基板端部 進(jìn)行輸送。
專利文獻(xiàn)2:特開(kāi)2002 — 151571號(hào)公報(bào)
另外，還有一種構(gòu)成如圖4所示的工件支承裝置1，從加壓氣體的供 給源2借助于臨時(shí)充滿的頭部空間3，利用一面上有多個(gè)小孔h的支承板 4送入加壓氣體，支承工件W。
該方式是通過(guò)調(diào)節(jié)工件W質(zhì)量和氣體流量的平衡來(lái)獲得穩(wěn)定性。 像這樣，由于上述工件支承裝置1利用氣體的壓力來(lái)支承工件W，因 此被認(rèn)為適于用作特別需要非接觸方式的精密工件的支承。
3由于精密工件為晶片、基板、玻璃板等薄且輕的板形狀，因而必須精
細(xì)地控制氣體流量，支承板4主要采用抗振金屬Pm和燒結(jié)板Ps等多孔質(zhì) 材料(參照?qǐng)D6、圖7)?？拐窠饘貾m—面上具有以10mm間隔形成的 直徑5mm左右的小孔h。另外，燒結(jié)板Ps是利用玻璃材料G包覆多孔質(zhì) 材料S表面，在一面上以50mm間隔形成直徑30mm的小孔h。
不過(guò)，近年來(lái)，隨著精密制品的高密度化的發(fā)展，處理的工件W更 加薄化甚至成為薄膜狀工件W。為了穩(wěn)定地支承這樣的工件W，要求更 精妙的氣體流量的調(diào)節(jié)，而與之相對(duì)，抗振金屬Pm和燒結(jié)板Sp在結(jié)構(gòu) 上、流量的控制上是有限的，很難與之對(duì)應(yīng)。
現(xiàn)狀是例如當(dāng)施加O.lMPa的基礎(chǔ)壓力時(shí)，要將從抗振金屬Pm和燒 結(jié)板Sp那樣的支承板4噴出的氣體流量設(shè)定為0.5NL/min/cm2以下，這是 很困難的，在此流量下，近年來(lái)的厚度10ym級(jí)別的薄膜狀工件W中， 工件W的質(zhì)量和氣體流量的平衡遭到破壞，產(chǎn)生所謂的起皺和鼓包等， 支承姿勢(shì)變得不穩(wěn)定(參照?qǐng)D5)。
另外，支承面為抗振金屬Pm和燒結(jié)板Sp，在接觸到姿勢(shì)變得不穩(wěn)定 的工件W時(shí)，有可能使工件W表面帶有瑕疵。
為此，尋求一種能夠以穩(wěn)定的姿勢(shì)支承更輕量且薄化了的薄膜狀工件 W、且接觸了工件W時(shí)也不會(huì)帶有瑕疵的支承裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是基于以上背景而提出的，其目的在于提供一種工件支承裝 置，其是采用通氣阻力更大的通氣性多孔片作為支承面使用，從而從整個(gè) 支承面排放受到控制的微小流量的氣體，能夠進(jìn)行輕量薄化工件的穩(wěn)定支 承。
為了解決上述課題，技術(shù)方案l所述發(fā)明的工件支承裝置，其特征在
于，包括基體(11);配置在基體(11)上的框構(gòu)件(12);配置在框構(gòu) 件(12)內(nèi)側(cè)的基體(11)上的至少一個(gè)安裝構(gòu)件(13);由框構(gòu)件(12) 和安裝構(gòu)件(13)支承的通氣性多孔片(14);向由通氣性多孔片(14)、 框構(gòu)件(12)和基體(11)劃分出的密閉空間(15)供給加壓氣體的加壓 氣體供給源(16)，在利用加壓氣體供給源(16)供給加壓氣體時(shí)，依靠從通氣性多孔片(14)噴出的氣體支承工件(W)，并且，使從通氣性多 孔片(14)噴出的氣體滯留在安裝構(gòu)件(13)上形成的空間(17)中。
從而，若利用加壓氣體供給源(16)供給加壓氣體，則依靠通氣性多 孔片(14)中的高通氣阻力，從通氣性多孔片(14)噴出受到控制的微小 流量的氣體，在與放置于通氣性多孔片(14)上面的工件(W)之間形成 氣體層。
在此之際，所噴出的氣體滯留在通氣性多孔片(14)的安裝構(gòu)件(13) 上形成的空間(17)中，從而即使工件(W)為薄的薄膜狀片，整體也在 規(guī)定的氣體壓力下被支承，能夠穩(wěn)定地支承工件(W)。
技術(shù)方案2所述的發(fā)明，其特征在于，安裝構(gòu)件(13)在基體(11) 上作為棱部構(gòu)成。
從而，在支承通氣性多孔片(14)的棱部狀的安裝構(gòu)件(13)上形成 滯留所噴出氣體的空間。
技術(shù)方案3所述的發(fā)明，其特征在于，安裝構(gòu)件(13)在基體(11)
上作為柱狀部構(gòu)成。
從而，在支承通氣性多孔片(14)的柱狀的安裝構(gòu)件(13)上形成滯
留所噴出氣體的空間。
技術(shù)方案4所述的發(fā)明，其特征在于，密閉空間(15)相互連通。 從而，能夠使氣體無(wú)所不在地遍布全部密閉空間(15)。 技術(shù)方案5所述的發(fā)明，其特征在于，通氣性多孔片(14)由氟類樹
脂構(gòu)成。
從而，即使工件(W)接觸到通氣性多孔片(14)，也由于氟類樹脂 是具有低摩擦性的特性的樹脂，因此不用擔(dān)心表面會(huì)損傷。
技術(shù)方案6所述的發(fā)明，其特征在于，設(shè)有工件輸送裝置(21)，該 工件輸送裝置(21)接近通氣性多孔片(14)上的工件(W)支承面并與 工件(W)接觸，沿輸送方向引導(dǎo)工件(W)。
從而，能夠在使工件(W)依靠氣體壓力從通氣性多孔片(14)上面 懸浮的狀態(tài)下支承工件(W)，因此利用工件輸送裝置(21)輸送工件(W) 的力只需微小的力即可。
還有，上述各裝置的括弧內(nèi)的符號(hào)是表示與后述實(shí)施方式所述具體裝置的對(duì)應(yīng)關(guān)系的一例。


圖1是表示本發(fā)明的工件支承裝置的主要部分的模式性俯視圖。
圖2是圖1所示工件支承裝置的截面說(shuō)明圖。
圖3是圖2所示工件支承裝置的主要部分放大截面說(shuō)明圖。
圖4是表示在本發(fā)明的工件支承裝置的基體上的安裝構(gòu)件上的其他排
列構(gòu)成的模式性俯視圖。
圖5是表示在本發(fā)明的工件支承裝置的基體上的安裝構(gòu)件上的其他排
列構(gòu)成的模式性俯視圖。
圖6是表示現(xiàn)有的工件支承裝置一例的模式性主要部分截面說(shuō)明圖。 圖7是表示利用圖6所示的工件支承裝置支承薄化薄膜狀工件之際的
不合理現(xiàn)象的模式性主要部分截面說(shuō)明圖。
圖8是表示在現(xiàn)有的工件支承裝置中使用的作為支承板的抗振金屬的
模式性說(shuō)明圖。
圖9是表示在現(xiàn)有的工件支承裝置中使用的作為支承板的燒結(jié)板的模 式性說(shuō)明圖。
圖中，IO—支承裝置，ll一基體，12 —框構(gòu)件，13 —安裝構(gòu)件，14一 通氣性多孔片，15 —密閉空間，16—加壓氣體供給源，17_凹部，18—抵 壓構(gòu)件，19一供給孔，20 —連接構(gòu)件，21 —工件輸送裝置，21a—轉(zhuǎn)動(dòng)滑 輪，21b—驅(qū)動(dòng)帶，W—工件，H—連通口。
具體實(shí)施例方式
以下，關(guān)于本發(fā)明的工件支承裝置示例了一個(gè)實(shí)施方式，根據(jù)附圖詳 細(xì)說(shuō)明。
圖1、圖2中模式性表示作為工件的薄化薄膜狀工件W的支承裝置 IO的主要部分。
該支承裝置IO包括配置在基體11上的氣密狀框構(gòu)件12、配置在該框 構(gòu)件12內(nèi)側(cè)的基體11上的至少一個(gè)安裝構(gòu)件13、由這些框構(gòu)件12和安 裝構(gòu)件13支承的通氣性多孔片14、向由通氣性多孔片14、框構(gòu)件12和
6基體11劃分成的密閉空間15供給加壓氣體的加壓氣體供給源16。
基體11為平整狀構(gòu)件，由底部面積至少具有可放置后述的要支承輸
送的工件W整體的面積的方形狀構(gòu)件構(gòu)成，在基體11上的最外周氣密狀
突出設(shè)置框構(gòu)件12。
安裝構(gòu)件13在框構(gòu)件12內(nèi)側(cè)，與框構(gòu)件12相同的高度每隔規(guī)定間
隔呈棱狀突出設(shè)置。當(dāng)然，排列的形態(tài)可以適宜釆用相互平行排列、或排
列成格子狀的構(gòu)成(參照?qǐng)D4)。再有，安裝構(gòu)件13也可以呈柱狀物構(gòu)成 (參照?qǐng)D5)。
通氣性多孔片14能夠采用例如具有低摩擦性、非粘接性特性的氟類 樹脂。這種情況下，通氣性多孔片14厚度為例如0.5mm。
在通氣性多孔片14下面?zhèn)刃纬捎苫w11、框構(gòu)件12和各安裝構(gòu)件 13劃分成的密閉空間15。該密閉空間15連接著能夠從加壓氣體供給源16 供給加壓氣體的配管L。還有，各個(gè)密閉空間15由設(shè)置在各安裝構(gòu)件13 上的連通口 H連通。
并且，通氣性多孔片14在由框構(gòu)件12、棱狀安裝構(gòu)件13支承之際， 由安裝構(gòu)件13支承的支承部位間的部位凸?fàn)罟某觯允箯耐庑远嗫灼?14噴出的氣體滯留在由安裝構(gòu)件13支承的部位上的空間17中(參照?qǐng)D3)。
這種情況下，通氣性多孔片14和安裝構(gòu)件13能夠用適宜的固定手段 固定。即，通氣性多孔片14和安裝構(gòu)件13既可以借助于適宜的抵壓構(gòu)件 18用螺栓等機(jī)械固定，也可以利用粘接、熔敷固定。
這些固定部位根據(jù)安裝構(gòu)件13的高度尺寸來(lái)規(guī)定高度，因?yàn)檫@些固 定部位以外的通氣性多孔片14凸?fàn)罟某?，所以形成以固定部位作為底部?比凸?fàn)罟某龅牟课话枷莸臓顟B(tài)的滯留氣體的空間17。
還有，該支承裝置10，在將厚度為例如0.5mm的通氣性多孔片14往 基體11上的安裝構(gòu)件13上安裝時(shí)，以鄰接的凸?fàn)罟某龅耐庑远嗫灼?4 的頂部間間隔作為支承間距P，設(shè)為30mm。
向密閉空間15供給加壓氣體的加壓氣體供給源16，與在基體11底部 中央開(kāi)口的供給孔19借助于連接構(gòu)件20經(jīng)由配管L連接，以供給加壓氣 體。
還有，加壓氣體供給源16能夠采用眾所周知的構(gòu)成。再有，如以上這樣的支承裝置IO如圖1、圖2所示，在兩側(cè)部設(shè)有適 宜的工件輸送裝置21。即，工件輸送裝置21具備例如配置在基體11兩側(cè) 兩端部的轉(zhuǎn)動(dòng)滑輪21a和分別纏繞在兩側(cè)部?jī)啥瞬康霓D(zhuǎn)動(dòng)滑輪21a、 21a 間的驅(qū)動(dòng)帶21b。
本發(fā)明的工件支承裝置10如以上構(gòu)成，接下來(lái)說(shuō)明其作用。
關(guān)于利用該支承裝置10支承輸送的對(duì)象、即工件W進(jìn)行說(shuō)明。該工 件W是在例如厚度50pim的樹脂上形成厚度30pm的由銅構(gòu)成的電路圖 形，每單位面積的質(zhì)量為0.02g/cm2。
若在安裝于支承裝置10的基體11上的安裝構(gòu)件13上的通氣性多孔 片14上，放置該工件W，驅(qū)動(dòng)加壓氣體供給源16，則加壓氣體通過(guò)基體 11底部中央的供給孔19，向通氣性多孔片14下面?zhèn)鹊挠苫w11和安裝 構(gòu)件13隔開(kāi)的密閉空間15內(nèi)供給。加壓氣體能夠通過(guò)在安裝構(gòu)件13上 形成的連通口 H，無(wú)所不在地遍布所有密閉空間15，能夠橫貫整個(gè)通氣性 多孔片14地從通氣性多孔片14上面噴出氣體。
通氣性多孔片14整個(gè)面上具備微細(xì)孔，從而在氣體通過(guò)之際具有大 的通氣阻力。因而，從密閉空間15內(nèi)，流量被抑制成微量的氣體從通氣 性多孔片14上面噴出。
隨著氣體的噴出，在通氣性多孔片14上面和工件W之間充滿氣體， 在通氣性多孔片14上凹陷的部位、即空間17中蓄積氣體，形成氣體層。
工件W能夠由這些氣體壓力所支承。這種情況下，由于通氣性多孔 片14整個(gè)面上具備微細(xì)孔，另一方面，空間17不噴出氣體卻滯留有從支 承部位周圍的鼓出部位噴出的氣體，因而，形成整體大致一定壓力的氣體 層，工件W以穩(wěn)定的狀態(tài)被支承。
還有，實(shí)施方式中，工件W是一種在例如厚度50pn的樹脂上形成 厚度3(Him的由銅構(gòu)成的電路圖形、每單位面積的質(zhì)量為0.02g/cir^的薄 膜材料，利用加壓氣體供給源16供給的加壓氣體以壓力0.1Mp進(jìn)給，從 通氣性多孔片14上面噴出的氣體流量與現(xiàn)有裝置中采用的抗振金屬Pm 和燒結(jié)板Ps等多孔質(zhì)材料比較，是其大致1/10以下即0.05NL/min/cm2， 能夠以1.5mm的支承高度T進(jìn)行穩(wěn)定的支承。
然后，在此狀態(tài)下輸送工件W時(shí)，使在配置于基體ll兩側(cè)兩端部的工件輸送裝置21上的轉(zhuǎn)動(dòng)滑輪21a、 21a間分別纏繞的驅(qū)動(dòng)帶21b沿著輸 送方向工作，只要些許的力就能夠送出工件W。
還有，即使有時(shí)工件W由于某些原因而接觸到通氣性多孔片14上面， 由于通氣性多孔片14用軟質(zhì)且低摩擦性的氟類樹脂構(gòu)成，因而工件W也 不會(huì)帶有瑕疵。
權(quán)利要求
1. 一種工件支承裝置，其特征在于，包括基體(11)；配置在基體(11)上的框構(gòu)件(12)；配置在所述框構(gòu)件(12)內(nèi)側(cè)的所述基體(11)上的至少一個(gè)安裝構(gòu)件(13)；由所述框構(gòu)件(12)和所述安裝構(gòu)件(13)支承的通氣性多孔片(14)；向由所述通氣性多孔片(14)、所述框構(gòu)件(12)和所述基體(11)劃分出的密閉空間(15)供給加壓氣體的加壓氣體供給源(16)，在利用所述加壓氣體供給源(16)供給加壓氣體時(shí)，依靠從所述通氣性多孔片(14)噴出的氣體支承工件(W)，并且，使從所述通氣性多孔片(14)噴出的氣體滯留在所述安裝構(gòu)件(13)上形成的空間(17)中。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的工件支承裝置，其特征在于， 所述安裝構(gòu)件(13)在所述基體(11)上作為棱部構(gòu)成。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件支承裝置，其特征在于， 所述安裝構(gòu)件(13)在所述基體(11)上作為柱狀部構(gòu)成。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1~3中任意一項(xiàng)所述的工件支承裝置，其特征在于， 所述密閉空間(15)相互連通。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1~3中任意一項(xiàng)所述的工件支承裝置，其特征在于， 所述通氣性多孔片(14)由氟類樹脂構(gòu)成。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1~3中任意一項(xiàng)所述的工件支承裝置，其特征在于， 設(shè)有工件輸送裝置(21)，該工件輸送裝置(21)接近所述通氣性多孔片(14)上的工件(W)支承面并與工件(W)接觸，沿輸送方向引導(dǎo) 所述工件(W)。
全文摘要
一種利用氣體使工件懸浮從而能夠不帶破損和瑕疵地進(jìn)行輸送的工件支承裝置。利用每隔規(guī)定間隔配置的安裝構(gòu)件(13)支承通氣性多孔片(14)，在通氣性多孔片(14)下面?zhèn)葎澐殖雒荛]空間(15)，該密閉空間(15)連接著加壓氣體供給源(16)。通氣性多孔片(14)在每個(gè)與安裝構(gòu)件13安裝的部位間凸?fàn)罟某?，同時(shí)使氣體滯留在安裝構(gòu)件(13)上所形成的空間(17)中。
文檔編號(hào)H01L21/67GK101447445SQ20081016170
公開(kāi)日2009年6月3日 申請(qǐng)日期2008年9月22日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月30日
發(fā)明者鄉(xiāng)古倫央, 岡本圭司, 坂井田敦資, 石川富一, 谷口敏尚 申請(qǐng)人:株式會(huì)社電裝