本實(shí)用新型涉及光學(xué)精密檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種能低應(yīng)力裝夾高精度反射鏡的反射鏡裝夾裝置。

背景技術(shù)：

高精度反射鏡是高精度光學(xué)儀器與精密激光器中的重要光學(xué)元件。隨著高精度光學(xué)儀器與精密激光器的快速發(fā)展和應(yīng)用，高精度光學(xué)儀器與精密激光器對(duì)高精度反射鏡的面形要求也越來(lái)越高。目前高精度反射鏡面形的測(cè)試方法是：先通過(guò)反射鏡裝夾裝置對(duì)反射鏡進(jìn)行裝夾固定，再將反射鏡裝夾裝置豎直放置而使反射鏡也呈豎直放置，接著再使用干涉儀對(duì)呈豎直放置的反射鏡的面形進(jìn)行檢測(cè)。目前所使用的反射鏡裝夾裝置的結(jié)構(gòu)為：包括由側(cè)框條、頂框條及底框條圍成的用以放置反射鏡的框架。上述反射鏡裝夾裝置存在的缺點(diǎn)是：框架對(duì)反射鏡的裝夾應(yīng)力大，導(dǎo)致反射鏡的面形變形嚴(yán)重。因而亟需發(fā)明一種能低裝夾應(yīng)力裝夾反射鏡的反射鏡裝夾裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種能低裝夾應(yīng)力裝夾反射鏡的反射鏡裝夾裝置。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案：所述的一種反射鏡裝夾裝置，包括由側(cè)框條、頂框條及底框條共同圍成用以放置反射鏡的框架，在框架的底框條的內(nèi)側(cè)設(shè)置有第一柔性墊片，在底框條中沿其長(zhǎng)度方向間隔設(shè)置有若干內(nèi)外貫通底框條的安裝孔，在每個(gè)安裝孔中均設(shè)置有用以支撐第一柔性墊片并使第一柔性墊片始終具有向內(nèi)運(yùn)動(dòng)趨勢(shì)的柔性支撐單元，所述柔性支撐單元的結(jié)構(gòu)為：在安裝孔中由框架外向框架內(nèi)依次設(shè)置有外壓環(huán)、以及用以支撐第一柔性墊片的支桿，在支桿與外壓環(huán)之間設(shè)置有彈簧，彈簧使支桿始終具有向內(nèi)頂起第一柔性墊片的趨勢(shì)；當(dāng)?shù)谝蝗嵝詨|片上放置有反射鏡時(shí)，各柔性支撐單元中的支桿在對(duì)應(yīng)彈簧的向內(nèi)彈力作用下會(huì)將反射鏡向內(nèi)頂在頂框條上，使第一柔性墊片與頂框條呈相對(duì)夾持狀?yuàn)A住反射鏡，從而將反射鏡裝夾固定在框架中。

進(jìn)一步地，前述的一種反射鏡裝夾裝置，其中：在安裝孔的內(nèi)壁上設(shè)置有內(nèi)螺紋，在外壓環(huán)的外壁上設(shè)置有外螺紋，外壓環(huán)通過(guò)螺紋配合設(shè)置在安裝孔中，在外壓環(huán)的外側(cè)面上設(shè)置有用以調(diào)節(jié)外壓環(huán)在安裝孔中相對(duì)位置的調(diào)節(jié)孔。

進(jìn)一步地，前述的一種反射鏡裝夾裝置，其中：在外壓環(huán)內(nèi)側(cè)的安裝孔中設(shè)置有限位內(nèi)壓環(huán)，在支桿的側(cè)壁上設(shè)置有能容納限位內(nèi)壓環(huán)的安裝槽，限位內(nèi)壓環(huán)的大小及位置即能避免支桿從安裝孔中脫落、又不妨礙支桿對(duì)第一柔性墊片及反射鏡進(jìn)行彈性支撐。

進(jìn)一步地，前述的一種反射鏡裝夾裝置，其中：第一柔性墊片由從框架外向框架內(nèi)依次層疊的鋁條及硅膠墊片組成。

進(jìn)一步地，前述的一種反射鏡裝夾裝置，其中：在頂框條的內(nèi)側(cè)設(shè)置有第二柔性墊片，當(dāng)?shù)谝蝗嵝詨|片上放置有反射鏡時(shí)，各柔性支撐單元中的支桿在對(duì)應(yīng)彈簧的向內(nèi)彈力作用下會(huì)將反射鏡向內(nèi)頂在頂框條內(nèi)側(cè)的第二柔性墊片上，使第一柔性墊片與第二柔性墊片呈相對(duì)夾持狀?yuàn)A住反射鏡，從而將反射鏡裝夾固定在框架中。

進(jìn)一步地，前述的一種反射鏡裝夾裝置，其中：第二柔性墊片由從框架外向框架內(nèi)依次層疊的鋁條及硅膠墊片組成。

通過(guò)上述技術(shù)方案的實(shí)施，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：通過(guò)第一柔性墊片與第二柔性墊片對(duì)反射鏡進(jìn)行柔性?shī)A持，并且通過(guò)柔性支撐單元對(duì)反射鏡進(jìn)行彈性支撐，大大降低了作用于反射鏡的裝夾應(yīng)力，進(jìn)而有效降低了反射鏡在被裝夾過(guò)程中因裝夾應(yīng)力造成面形變形量，使反射鏡在裝夾過(guò)程中的面形變形量得到了有效控制。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型所述的一種反射鏡裝夾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為圖1中所示的H部位的放大示意圖。

圖3為圖1中所示的柔性支撐單元的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。

彈簧使支桿始終具有向內(nèi)頂起第一柔性墊片的趨勢(shì)；當(dāng)?shù)谝蝗嵝詨|片上放置有反射鏡時(shí)，各柔性支撐單元中的支桿在對(duì)應(yīng)彈簧的向內(nèi)彈力作用下會(huì)將反射鏡向內(nèi)頂在頂框條上，使第一柔性墊片與頂框條呈相對(duì)夾持狀?yuàn)A住反射鏡，從而將反射鏡裝夾固定在框架中。

如圖1、圖2、圖3所示，所述的一種反射鏡裝夾裝置，包括由側(cè)框條1、頂框條2及底框條3共同圍成的用以放置反射鏡4的框架，在框架的底框條3的內(nèi)側(cè)設(shè)置有第一柔性墊片5，在底框條3中沿其長(zhǎng)度方向間隔設(shè)置有若干內(nèi)外貫通底框條3的安裝孔6，在每個(gè)安裝孔6中均設(shè)置有用以支撐第一柔性墊片5并使第一柔性墊片5始終具有向內(nèi)運(yùn)動(dòng)趨勢(shì)的柔性支撐單元7，所述柔性支撐單元7的結(jié)構(gòu)為：在安裝孔6中由框架外向框架內(nèi)依次設(shè)置有外壓環(huán)8、以及用以支撐第一柔性墊片5的支桿9，在支桿9與外壓環(huán)8之間設(shè)置有彈簧10，彈簧10使支桿9始終具有向內(nèi)頂起第一柔性墊片5的趨勢(shì)；當(dāng)?shù)谝蝗嵝詨|片5上放置有反射鏡4時(shí)，各柔性支撐單元7中的支桿9在對(duì)應(yīng)彈簧10的向內(nèi)彈力作用下會(huì)將反射鏡4向內(nèi)頂在頂框條2上，使第一柔性墊片5與頂框條2呈相對(duì)夾持狀?yuàn)A住反射鏡4，從而將反射鏡4裝夾固定在框架中；在本實(shí)施例中，在安裝孔6的內(nèi)壁上設(shè)置有內(nèi)螺紋，在外壓環(huán)8的外圓周壁上設(shè)置有外螺紋，外壓環(huán)8通過(guò)螺紋配合設(shè)置在安裝孔6中，在外壓環(huán)8的外側(cè)面上設(shè)置有用以調(diào)節(jié)外壓環(huán)8在安裝孔6中相對(duì)位置的調(diào)節(jié)孔11，這樣可以通過(guò)調(diào)整外壓環(huán)8在安裝孔6中的相對(duì)位置來(lái)調(diào)節(jié)彈簧10作用于支桿9的向內(nèi)彈力，進(jìn)而對(duì)作用于反射鏡4的裝夾應(yīng)力進(jìn)行調(diào)節(jié)；在本實(shí)施例中，在外壓環(huán)8內(nèi)側(cè)的安裝孔6中設(shè)置有限位內(nèi)壓環(huán)12，在支桿9的側(cè)壁上設(shè)置有能容納限位內(nèi)壓環(huán)12的安裝槽13，限位內(nèi)壓環(huán)12的大小及位置即能避免支桿9從安裝孔6中脫落、又不妨礙支桿9對(duì)第一柔性墊片5及反射鏡4進(jìn)行彈性支撐；在本實(shí)施例中，第一柔性墊片5由從框架外向框架內(nèi)依次層疊的鋁條及硅膠墊片組成；在本實(shí)施例中，在頂框條2的內(nèi)側(cè)設(shè)置有第二柔性墊片14，當(dāng)?shù)谝蝗嵝詨|片5上放置有反射鏡4時(shí)，各柔性支撐單元7中的支桿9在對(duì)應(yīng)彈簧10的向內(nèi)彈力作用下會(huì)將反射鏡4向內(nèi)頂在頂框條2內(nèi)側(cè)的第二柔性墊片14上，使第一柔性墊片5與第二柔性墊片14呈相對(duì)夾持狀?yuàn)A住反射鏡4，從而將反射鏡4裝夾固定在框架中，這樣能進(jìn)一步降低作用于反射鏡4的裝夾應(yīng)力，進(jìn)一步降小反射鏡4因裝夾應(yīng)力而形成的面形變形量；在本實(shí)施例中，第二柔性墊片14由從框架外向框架內(nèi)依次層疊的鋁條及硅膠墊片組成，其中鋁條硬度適當(dāng)，具備一定的伸展性，其中硅膠墊有足夠的彈性，能進(jìn)一步降低對(duì)反射鏡的裝夾應(yīng)力；

安裝時(shí)，先將反射鏡4放置在第一柔性墊片5上，在各柔性支撐單元7中彈簧10的向上彈力作用下，各柔性支撐單元7中的支桿9會(huì)向內(nèi)向上將反射鏡4頂在頂框條2的第二柔性墊片14上，使第一柔性墊片5與第二柔性墊片14呈相對(duì)夾持狀?yuàn)A住反射鏡4，從而將反射鏡4裝夾固定在框架中；在反射鏡4裝夾過(guò)程中，可以通過(guò)調(diào)節(jié)柔性支撐單元7中的外壓環(huán)8在對(duì)應(yīng)安裝孔6中的相對(duì)位置來(lái)調(diào)節(jié)彈簧10的向內(nèi)彈力，進(jìn)而對(duì)作用于反射鏡4的裝夾應(yīng)力進(jìn)行調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)十分方便。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：通過(guò)第一柔性墊片與第二柔性墊片對(duì)反射鏡進(jìn)行柔性?shī)A持，并且通過(guò)柔性支撐單元對(duì)反射鏡進(jìn)行彈性支撐，大大降低了作用于反射鏡的裝夾應(yīng)力，進(jìn)而有效降低了反射鏡在被裝夾過(guò)程中因裝夾應(yīng)力造成面形變形量，使反射鏡在裝夾過(guò)程中的面形變形量得到了有效控制。