技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種在晶圓測試過程中防止Map圖移位的方法，在晶圓測試之前，做PTPA時(shí)，不用探針臺(tái)設(shè)備常規(guī)的方法，而是采用手動(dòng)選擇模式找針，選定距離最遠(yuǎn)的特定兩個(gè)site的探針做為定位site。該方法解決了多site并行測試過程中Map圖移位的發(fā)生，是一個(gè)有效、可靠的預(yù)防方法。

技術(shù)研發(fā)人員：李亮;楊穎超;李鑫
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京確安科技股份有限公司
文檔號(hào)碼：201510535712
技術(shù)研發(fā)日：2015.08.28
技術(shù)公布日：2017.03.08