技術編號：12174575
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種防止晶圓Map圖移位的方法，屬于集成電路測試技術領域。背景技術對集成電路芯片的測試由測試系統(tǒng)和探針臺經過精密對接共同完成，通過晶圓測試對所有芯片進行分類：即失效的芯片和合格的芯片，為了滿足先進的工藝和自動化的要求，現(xiàn)在很少用墨點來區(qū)分芯片的好與壞，而是采用電子式Map圖，該Map圖是探針臺在測試過程中自動生成的。Map圖不僅記錄著芯片的好與壞還記載著被測芯片的其它測試狀態(tài)信息；把測試過的晶圓和電子式Map圖同步傳遞到下一道工序，比如：把Map圖輸入，該工序的設備就能自動完成操作，真...
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