專利名稱：邊緣傳感器和缺陷檢查裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及適合于對例如液晶玻璃的邊緣的缺口和開裂進行檢測的邊緣傳感器和使 用該邊緣傳感器的缺陷檢査裝置。
背景技術：
本申請發(fā)明人先前有一提案，著眼于物體邊緣的單色平行光的菲涅耳衍射，通過分析 使用多個感光單元按規(guī)定間隔排列而成的線型傳感器檢測出的光量分布圖案，以上述線型 傳感器的感光單元的排列間隔以上的精度高精度地檢測上述物體的邊緣位置(參照日本專 利第3858994號公報)。
而且，還針對液晶玻璃等透明體、半透明體提出了通過著眼于上述菲涅耳衍射來高精 度地檢測其邊緣位置的技術方案(參照例如日本特開2007—64733號公報)。
但玻璃體的邊緣一旦存在缺口或開裂，便會受到玻璃體內部的上述缺口和開裂引起的 缺陷部位的反射光的影響。因此，難以從上述菲涅耳衍射的光量分布圖案正確檢測該邊緣。 而且，即便是沿著該邊緣移動線型傳感器來檢測邊緣存在缺口或開裂的玻璃體的邊緣位 置，也難以明確檢測出邊緣位置的變化。因此，也難以確定玻璃體中產生缺口或開裂的缺 陷部位。

發(fā)明內容
本發(fā)明正是考慮到上述情況，其目的在于提供一種從物體邊緣的菲涅耳衍射所產生的 光量分布圖案檢測上述物體邊緣位置的邊緣傳感器，尤其是能夠可靠檢測出諸如液晶玻璃 這種透明或半透明物體所產生的缺口或開裂等缺陷的邊緣傳感器。
同時，本發(fā)明其目的在于，提供一種能夠用上述邊緣傳感器，高精度地檢測出諸如液 晶玻璃這種透明或半透明物體所產生的缺口或開裂等缺陷部位的缺陷檢查裝置。
為了達到上述目的，本發(fā)明的邊緣傳感器，包括多個感光單元以規(guī)定間隔排列而成 的線型傳感器；將單色平行光朝向該線型傳感器投射的光源；以及對所述線型傳感器的輸 出進行分析來對位于所述單色平行光的光路中的物體其特定位置(邊緣)進行檢測的運算
部，其特征在于，
所述運算部構成為例如從自由空間側起對所述線型傳感器的輸出進行搜索來分析所 述線型傳感器上的光量分布圖案，尤其是包括
(A) 第一位置檢測手段，其將對透明或半透明物體的邊緣所產生的光量分布圖案從 其一端部朝向另一端部搜索時光量下降至以自由空間處的光量為基準確定的第一光量閾 值的位置作為所述物體的第一檢測位置求出；
(B) 第二位置檢測手段，其將從檢測到的第一檢測位置起光量進一步下降后增加至 以所述自由空間處的光量為基準確定的第二光量閾值的位置作為所述物體的第二檢測位 置來求出。
另外，對于所述第一和第二光量閾值可分別設定，也可作為相同值來提供。 本發(fā)明的缺陷檢査裝置，其特征在于，構成為具有上述構成的邊緣傳感器，包括
(a) 掃描手段，其使所述邊緣傳感器中的所述線型傳感器沿所述透明或半透明物體 的邊緣移動，或使透明或半透明物體在與所述邊緣傳感器中的線型傳感器相交叉的方向上 移動；以及
(b) 缺陷檢測手段，其隨所述線型傳感器或所述物體的掃描對所述邊緣傳感器中的 所述第一和第二位置檢測手段分別檢測出的第一檢測位置和第二檢測位置的變化進行監(jiān) 視，并當第一或第二檢測位置的變化量超過預先設定的閾值時執(zhí)行發(fā)出警告等規(guī)定處理。
本發(fā)明的另一缺陷檢査裝置，其特征在于，構成為具有上述構成的邊緣傳感器，包括
(C) 遮光寬度檢測手段，其將所述邊緣傳感器中的所述第一和第二位置檢測手段分 別檢測出的第一檢測位置和第二檢測位置之差作為遮光寬度來求出；
(a)掃描手段，其使所述邊緣傳感器中的所述線型傳感器沿所述透明或半透明物體
的邊緣移動，或使透明或半透明物體在與所述邊緣傳感器中的線型傳感器相交叉的方向上
移動；以及
(d)缺陷檢測手段，其隨所述線型傳感器或所述物體的掃描對所述遮光寬度檢測手 段求出的遮光寬度進行監(jiān)視，并當該遮光寬度超過預先設定的閾值時發(fā)出警告。
另外，還構成為所述透明或半透明的物體是玻璃板，所述缺陷檢測手段檢測出上述玻 璃板邊緣的缺口或開裂、甚至是凹部(使邊緣線變形的較大缺口)并發(fā)出表明存在缺陷的 警告。
(發(fā)明效果)
采用上述構成的邊緣傳感器，從物體的邊緣所產生的光量分布圖案中檢測出其光量下降至以自由空間處的光量為基準確定的第一光量閾值的位置(光量發(fā)生較大變化的部位) 作為所述物體的第一檢測位置(例如邊緣位置)，而且上述物體是透明或半透明的，因此 將物體側所產生的光量與如上所述檢出的第一檢測位置相比較大的變化部位作為從上述 第一檢測位置起光量進一步下降后增加至以自由空間處的光量為基準確定的第二光量閾 值的第二檢測位置檢出，因此可根據上述兩個檢測位置的關系來判定上述物體的邊緣是否 存在缺陷。
具體來說，物體的邊緣存在缺口、開裂等缺陷的情況下，透明或半透明物體內部的光 透射作用因這些缺陷而發(fā)生變化，其光量分布圖案便與沒有缺陷的正常邊緣所產生的光量 分布圖案不同，因而可很容易根據上述兩個檢測位置判定該光量分布圖案的變化。因此， 可很容易根據上述兩個檢測位置的關系判定物體邊緣是否存在缺陷。
而采用本發(fā)明的缺陷檢査裝置，使邊緣傳感器中的上述線型傳感器沿上述透明或半透 明物體的邊緣移動，或使透明或半透明物體在與上述邊緣傳感器中的線型傳感器相交叉的 方向上移動分別求出上述第一和第二檢測位置，求出上述檢出的檢測位置的趨勢，從而可 以從上述兩個檢測位置的變化檢出缺口或開裂缺陷，而且可很容易根據檢出缺陷時的上述 檢測位置的檢測部位信息(掃描位置信息)確定該缺陷所在位置。
所以，可著眼于透明或半透明物體其邊緣的光量分布圖案的變化，簡易且有效地檢測 上述物體的邊緣存在的缺口或開裂等缺陷，因而其實用優(yōu)勢較大。


圖l圖示的是本發(fā)明一實施方式的邊緣傳感器和缺陷檢測裝置的大體構成。 圖2圖示的是線型傳感器的光量分布圖案和上述邊緣傳感器檢測出的檢測位置兩者間 的關系。
圖3圖示的是光量分布圖案其隨邊緣有無缺陷和該缺陷種類而有所變化的變化對比。
圖4圖示的是第一和第二檢測位置隨檢査部位的掃描而變化的情況。
圖5圖示的是第一和第二檢測位置相對于邊緣傳感器或半透明體的移動量而變化的情況。
(標號說明)
10 邊緣傳感器
11 線型傳感器
12 光源13 光學頭
14 運算器(CPU)
15 第一位置檢測手段
16 第二位置檢測手段
21 掃描手段(掃描機構)
22 缺陷檢測手段(趨勢判定手段)
23 存儲器
具體實施例方式
下面參照

本發(fā)明一實施方式的邊緣傳感器、使用該邊緣傳感器的缺陷檢測裝置。
圖1是檢測諸如液晶玻璃等透明或半透明物體A的特定位置(例如邊緣位置)的邊緣傳 感器IO、利用該邊緣傳感器10對上述物體A的位置檢測對象部位進行掃描的同時監(jiān)視上述 邊緣傳感器10的輸出來檢測上述物體A中有無缺陷的缺陷檢測裝置的大體構成圖。
該邊緣傳感器10包括下列構成光學頭13，其將多個感光單元以規(guī)定間隔按直線排列 而成的線型傳感器11與將單色平行光朝向該線型傳感器11投射的光源12隔開規(guī)定距離相 對配置；以及運算器14，其對上述線型傳感器ll的輸出進行分析來檢測上述單色平行光的 光路中置放的物體A的特定位置(例如邊緣位置)。
另外，光學頭13的基本結構(構成)如同上述專利第3858994號公報和日本特開2007 一64733號公報等所披露的那樣，是眾所周知的。另外，上述邊緣傳感器10對上述物體A的 位置檢測對象部位的掃描是通過使上述邊緣傳感器10中的上述線型傳感器11 (光學頭13) 沿上述透明或半透明的物體A的邊緣移動來進行的?；蛘呦喾词股鲜鐾该骰虬胪该魑矬wA在 與上述邊緣傳感器10中的線型傳感器11相交叉的方向、具體而言與多個感光單元的排列方 向相交叉的方向上移動來進行該掃描。
而上述運算器14由例如CPU來實現，具有根據該線型傳感器11的輸出對上述物體A的邊 緣產生的上述線型傳感器11上的光量分布圖案進行分析來算出上述物體A的特定位置(包 含例如邊緣位置在內的稍后說明的第一和第二檢測位置)的功能15、 16。這里，上述光量 分布圖案一般來說為上述單色平行光產生的菲涅耳衍射的圖案。
另外，上述運算器1構成為將上述線型傳感器11其在基本上沒有被上述物體A遮住的自 由空間的感光量歸一化為"1"時，將上述光量分布圖案的上升沿部分其感光量為"0.25"
的位置作為上述物體A的檢測位置(邊緣位置)予以檢出。換言之，上述運算器14構成為 上述菲涅耳衍射的光量分布圖案上將其光量為以自由空間處的光量"1"為基準確定的規(guī) 定光量閾值"0.25"的位置作為物體A的特定位置(邊緣位置)予以檢出。
本發(fā)明中，作為檢測對象的物體A為透明或半透明，因此著眼于這樣的情況，即上述 線型傳感器11的輸出如圖2所示，不僅沒有物體A存在的自由空間的感光量較多，而且上述 物體A所處的部分由于透射該物體A的單色平行光到達線型傳感器11因而其感光量也較多。 而物體A為遮光體的情況下，邊緣部分感光量沒有多大的下降，但物體A為透明或半透明的 情況下，僅在物體A的邊緣部分因菲涅耳衍射的影響而造成其感光量有某種程度的降低。 而且上述物體A的邊緣存在缺口或開裂等缺陷的情況下，會受到該缺陷部分的上述單色平 行光的隨機衍射、折射、甚至是漫反射等的影響。這種情況下，與直線狀的邊緣(刀刃邊 緣)產生菲涅耳衍射的情形相比，上述感光量下降(跌落(落6込tO)部位的寬度擴大。
具體來說，如圖3 (a) 圖3 (d)分別所示的用光學頭13檢測出透明物體即液晶玻璃 的檢測位置時線型傳感器ll的輸出那樣，其感光量的分布圖案隨上述液晶玻璃的邊緣是否 存在缺陷而產生差異。圖3 (a)是沒有缺陷存在的邊緣部分的感光分布圖案，圖3 (b)是 邊緣部分存在微小缺口時的感光分布圖案，圖3 (c)是邊緣部分存在開裂時的分布圖案， 而圖3 (d)是邊緣部分存在缺口引起的凹部時的分布圖案。
如圖3 (a) 圖3 (d)分別所示的感光量分布圖案可見的那樣，與物體A的邊緣沒有 缺陷存在的情況相比，存在缺口或開裂等缺陷的情況下邊緣部分的光量跌落增大，而且光 量跌落的寬度擴大。但自由空間側檢測出的光量跌落位置不論有無缺陷均幾乎沒有變化。 而物體側檢測出的光量其跌落位置隨缺陷種類、其程度而有較大的變化，而且其跌落方式 (光量變化圖案)也發(fā)生各種變化。檢測位置存在缺陷的情況下，本來讓光大致均勻透射 的部位其物體A側的感光量有較大的不均。
因此，本發(fā)明的邊緣傳感器10構成為具有第一位置檢測手段15和第二位置檢測手段 16，第一位置檢測手段15對上述線型傳感器11的輸出從沒有上述物體A的自由空間側開始 搜索時，根據光量隨上述物體A的邊緣產生的菲涅耳衍射而急劇下降的部分求出上述物體A 的第一檢測位置a，而第二位置檢測手段16將從該第一位置檢測手段15所求出的第一檢測 位置cc起感光量進一步下降后再增加的位置作為上述物體A的第二檢測位置(3來求出。
另外，本實施方式中，將例如感光量從自由空間側的歸一化光量"1.0"下降至"0.825" 的位置也就是說下降至預先設定的第一和第二光量閾值的位置作為上述第一和第二檢測 位置a、 P分別檢出。這里，對于第一和第二光量閾值設定為相同值"0.825"，但也可設定
為彼此不同的值。而且，本實施方式中，特別是通過從自由空間側開始對上述線型傳感器 ll的輸出進行搜索，因而不論物體A側因缺陷而產生的感光量是否不規(guī)則變化，總能分別 可靠地檢測出確定與物體A的檢測位置(邊緣位置)相對應的感光量的跌落部分所需的第 一和第二檢測位置oc、 p。但構成為從物體A側開始對上述線型傳感器11的輸出進行搜索也 行。而進行感光量歸一化時，可預先測定未設置物體A的狀態(tài)下自由空間的光量進行存儲， 并在檢測時根據該值進行歸一化，或者根據檢測結果將感光量下降較小的區(qū)域作為自由空 間進行處理也行。
用由這樣的邊緣傳感器10檢測出的物體A的檢測位置(第一和第二檢測位置a、 (3)的 信息來對上述物體A進行缺陷檢査的缺陷檢査裝置包括沿該物體A的邊緣移動上述光學頭 13對物體A檢測位置的檢測對象部位的掃描手段(掃描機構)21。該掃描手段21可以是具 有使物體A沿著其邊緣平行移動這種功能的物體支持機構(未圖示)，也可以是相反使上述 光學頭13沿上述物體A的邊緣平行移動的光學頭移動機構(未圖示)。也就是說，掃描手段 21可以是使物體A在與線型傳感器11相交叉的方向上平行移動，也可以是相反使線型傳感 器11沿物體A的邊緣平行移動。
除了這樣的掃描手段21以外，上述缺陷檢査裝置還包括缺陷檢測手段(趨勢判定手段) 22，該缺陷檢測手段22通過隨上述位置檢測對象部位的掃描逐一執(zhí)行上述運算器(CPU) 14對上述第一和第二檢測位置oc、 (3的檢測處理，并對其輸出(第一和第二檢測位置oc、 (3) 的變化進行監(jiān)視來檢測物體A的邊緣有無缺口或開裂等缺陷。本實施方式中，將上述邊緣 傳感器10檢測出的第一和第二檢測位置a、 (M言息一次存儲于存儲器23中，然后將第一和第 二檢測位置的變化圖案(變化趨勢)讀出到上述缺陷檢測手段22內用于缺陷檢査。
而上述缺陷檢測手段(趨勢判定手段)22中，當例如上述第一檢測位置a或第二檢測 位置P的變化幅度超過了預先設定的允許幅度時，將其判定為"有缺陷"。同時將判定為"有 缺陷"時的上述物體A的缺陷檢査部位(掃描位置)檢測為缺陷存在部位。針對第一檢測 位置oc或第二檢測位置(3的變化幅度的允許幅度，可根據對物體A邊緣要求的直線性程度來 設定。
上述缺陷檢測手段(趨勢判定手段)22也可將例如上述第一檢測位置oc和上述第二檢 測位置P之差作為上述光量分布圖案中的光量的跌落寬度(遮光寬度)來檢出，對掃描上 述物體A邊緣時上述檢測位置oc、 (3之差(光量的跌落寬度)的變化進行監(jiān)視。而當檢測位 置的差值(光量的跌落寬度)超過預先設定的允許值時，將其判定為"有缺陷"。這種情 況下，也將判定為"有缺陷"時的上述物體A的缺陷檢査部位(掃描位置)檢測為缺陷存
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在部位。針對上述檢測位置的差值(光量的跌落寬度)的允許值可根據對物體A邊緣要求 的直線性程度來設定。
這樣，本缺陷檢查裝置構成為利用上述邊緣傳感器10將透明或半透明物體A的檢測位 置作為上述第一和第二檢測位置oc、 (3分別檢出，使該位置檢測對象部位沿該邊緣移動的同 時監(jiān)視上述第一和第二檢測位置ct、 p的變化情況(變化趨勢)。因而，采用本裝置可當檢 測出第一和第二檢測位置oc、 p的變化超過預先設定的允許值時，或第一檢測位置a和第二 檢測位置(3兩者之差超過了允許幅度時，可靠地將其檢測為物體A邊緣存在缺口或開裂等缺 陷。同時，采用本裝置可對物體A邊緣的哪個部位存在缺口或開裂等缺陷進行檢出。
圖4 (a)示出以有缺口的液晶玻璃為例進行邊緣檢測時第一和第二檢測位置oc、 p的變 化情況。此例中，對于第一檢測位置a來說幾乎看不到變化，但對于第二檢測位置(3，則在 相當于缺口部分的寬度范圍看到較大的變化。而圖4 (b)則示出以有開裂的液晶玻璃為例 進行邊緣檢測時第一和第二檢測位置a、 p的變化情況。而此例中，對于第一檢測位置a來 說也幾乎看不到變化，但對于第二檢測位置P，則在相當于開裂部分的寬度范圍看到較大 的變化。
而圖4 (c)示出的是以有缺口引起的凹部的液晶玻璃為例進行邊緣檢測時第一和第二 檢測位置a、 (3的變化情況。此例中，對于第一檢測位置a來說可在凹部部位看到稍許的變 化，但對于第二檢測位置(3，則在相當于凹部部位的寬度范圍看到較大的變化。圖5 (a) 圖5 (c)分別與圖4 U) 圖4 (c)相對應，以邊緣傳感器10或半透明體A的移動量為橫 軸來示出第一和第二檢測位置a、 P的變化情況。這樣示出邊緣檢測結果也可看到與上述圖 4 (a) 圖4 (c)所示的變化情況相同的趨勢。
因此，如上所述按照本發(fā)明的缺陷檢査裝置，其中采用本發(fā)明除了通常邊緣傳感器所 檢測的第一檢測位置a以外還檢測第二檢測位置p的邊緣傳感器10，并對掃描物體A邊緣時 的上述第一和第二檢測位置a、 (3的變化情況進行監(jiān)視，便能夠可靠檢測出液晶玻璃等物體 A的邊緣產生的缺口和開裂等微小缺陷。而且還可以檢測出上述缺陷所在的部位，因此在 例如液晶玻璃的質量管理方面具有極大的實用優(yōu)勢。
而且，希望構成為在檢測出缺陷的情況下執(zhí)行與其對應的規(guī)定動作。規(guī)定動作可以是 指發(fā)出例如警告或警報這種動作指令，或者構成為另外設置將物體A作為次品從工序當中 去除的去除裝置，并采取某種手段指令對此執(zhí)行該去除處理這種內容。由此，可很容易應 對存在缺陷的產品。
但物體A的邊緣一旦存在缺口或開裂等缺陷，便如參照圖3 (a) 圖3 (d)所說明的
那樣，在物體A側感光量也會發(fā)生變化。所以，在透明或半透明的物體A上沒有污垢而且可 保證該物體A部分(物體內部)的光量穩(wěn)定的情況下，也可預先求出例如正常物體A內部一 側的圖3 (a)所示的光量分布，將作為檢査對象的物體A內部一側的光量分布與上述光量 分布相比較來進行缺陷檢査。作為檢査對象的物體A其內部側的光量分布分別如圖3 (b) 圖3 (d)所示求得，與圖3 (a)所示的正常物體A的光量分布有所不同時，也可將其判定 為存在缺口或開裂等缺陷。將該方法與上述判定第二檢測位置變化的方法一并運用的話， 就可進一步檢測出物體A邊緣的微小缺陷。
本發(fā)明并不限于上述實施方式。舉例來說，并非在檢測出第一和第二檢測位置oc、 |3的 基礎上對第一和第二光量閾值特定為上述"0.825"，而是根據檢測出邊緣沒有缺陷的透明 或半透明物體A的檢測位置時邊緣部分的光量跌落程度來設定即可。另外，對于線型傳感 器ll的檢測寬度來說，根據線型傳感器11和物體A兩者間的距離(工作距離)等確定即可。 除此之外，本發(fā)明可在不脫離其實質的范圍內進行各種變形來實施。
權利要求
1. 一種邊緣傳感器，包括多個感光單元以規(guī)定間隔排列而成的線型傳感器；將單色平行光朝向該線型傳感器投射的光源；以及對所述線型傳感器的輸出進行分析來對位于所述單色平行光的光路中的物體其邊緣進行檢測的運算部，其特征在于，所述運算部包括第一位置檢測手段和第二位置檢測手段，所述第一位置檢測手段將對透明或半透明物體的邊緣所產生的光量分布圖案從其一端部朝向另一端部搜索時光量下降至以自由空間處的光量為基準確定的第一光量閾值的位置作為所述物體的第一檢測位置求出，所述第二位置檢測手段將從檢測到的第一檢測位置起光量進一步下降后增加至以所述自由空間處的光量為基準確定的第二光量閾值的位置作為所述物體的第二檢測位置來求出。
2. 如權利要求l所述的邊緣傳感器，其特征在于，所述運算部從自由空間側起對所述 線型傳感器的輸出進行搜索來分析所述線型傳感器上的光量分布圖案。
3. —種缺陷檢査裝置，其特征在于，包括 權利要求l所述的邊緣傳感器；使該邊緣傳感器中的所述線型傳感器沿所述透明或半透明物體的邊緣移動的掃描手 段；以及缺陷檢測手段，其隨該線型傳感器的掃描對所述邊緣傳感器中的所述第一和第二位置 檢測手段分別求出的第一檢測位置和第二檢測位置的變化進行監(jiān)視，并當第一檢測位置或 第二檢測位置的變化量超過預先設定的閾值時發(fā)出警告。
4. 一種缺陷檢査裝置，其特征在于，包括 權利要求l所述的邊緣傳感器；遮光寬度檢測手段，其將該邊緣傳感器中的所述第一和第二位置檢測手段分別檢測出 的第一檢測位置和第二檢測位置之差作為遮光寬度來求出；使所述邊緣傳感器中的所述線型傳感器沿所述透明或半透明物體的邊緣移動的掃描 手段；以及缺陷檢測手段，其隨所述線型傳感器的掃描對所述遮光寬度檢測手段求出的遮光寬度 進行監(jiān)視，并當該遮光寬度超過預先設定的閾值時發(fā)出警告。
5. —種缺陷檢查裝置，其特征在于，包括 權利要求l所述的邊緣傳感器；使所述透明或半透明物體在與所述邊緣傳感器中的線型傳感器相交叉的方向上移動 的掃描手段；以及缺陷檢測手段，其隨所述物體的掃描對所述邊緣傳感器中的所述第一和第二位置檢測 手段分別求出的第一和第二檢測位置的變化進行監(jiān)視，并當第一或第二檢測位置的變化量 超過預先設定的閾值時發(fā)出警告。
6. —種缺陷檢査裝置，其特征在于，包括 權利要求l所述的邊緣傳感器；遮光寬度檢測手段，其將該邊緣傳感器中的所述第一和第二位置檢測手段分別檢測出 的第一檢測位置和第二檢測位置之差作為遮光寬度來求出；使所述透明或半透明物體在與所述邊緣傳感器中的線型傳感器相交叉的方向上移動 的掃描手段；以及缺陷檢測手段，其隨所述物體的掃描對所述遮光寬度檢測手段求出的遮光寬度進行監(jiān) 視，并當該遮光寬度超過預先設定的閾值時發(fā)出警告。
7. 如權利要求3至6中任一項所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述透明或半透明 物體是玻璃板，所述缺陷檢測手段用于檢測所述玻璃板邊緣的缺口或開裂。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠可靠檢測透明或半透明物體中所產生的缺口或開裂等缺陷的邊緣傳感器和缺陷檢查裝置。本發(fā)明的邊緣傳感器從多個感光單元以規(guī)定間隔排列而成的線型傳感器的輸出來對位于單色平行光的光路中的透明體或半透明體的邊緣位置進行檢測時，從自由空間側開始對線型傳感器的輸出進行搜索，將物體其邊緣產生的光量分布圖案當中其光量下降至第一光量閾值的位置作為第一檢測位置檢出，而且將光量進一步下降后增加至第二光量閾值的位置作為所述物體的第二檢測位置檢出。而且根據沿邊緣掃描檢查部位時的第一和第二檢測位置的變化來檢測缺口或開裂等缺陷。
文檔編號G01N21/958GK101377467SQ20081013093
公開日2009年3月4日 申請日期2008年8月28日 優(yōu)先權日2007年8月28日
發(fā)明者岡山喜彥 申請人:株式會社山武