專利名稱：用于檢查玻璃基底的邊緣缺陷和變色的裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于檢查玻璃基底的邊緣缺陷和變色(discoloration)的裝置和方法，更具體地講，涉及一種檢查薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)中用于構(gòu)成薄膜晶體管和濾色器的玻璃基底的邊緣缺陷和變色的裝置和方法。
背景技術(shù)：
通常，薄膜晶體管液晶顯示器由下玻璃基底、上玻璃基底以及注入下玻璃基底和上玻璃基底之間的液晶組成，在下玻璃基底上形成有薄膜晶體管，在上玻璃基底上形成有濾色器。
當(dāng)用于構(gòu)成薄膜晶體管和濾色器的玻璃基底中產(chǎn)生諸如裂紋或邊緣破損的缺陷時(shí)，在將薄膜晶體管和濾色器沉積到玻璃基底上并蝕刻所得結(jié)構(gòu)的處理中，整個(gè)薄膜基底可能破裂。
結(jié)果，執(zhí)行所述處理的室(chamber)中的電極可能被損壞，或者玻璃基底的碎片可能飛濺，從而污染所述室的內(nèi)部。
此外，當(dāng)在玻璃基底上不均勻地執(zhí)行薄膜沉積或蝕刻時(shí)，通過(guò)薄膜晶體管液晶顯示器表現(xiàn)的顏色改變，即，產(chǎn)生變色(discoloration)，從而產(chǎn)生次品。
因此，在將玻璃基底插入室中之后使用等離子體來(lái)執(zhí)行沉積、蝕刻和濺射處理之前，應(yīng)該針對(duì)沉積、光刻或蝕刻處理等中產(chǎn)生的邊緣缺陷、不均勻(irregularity)檢查玻璃基底。
為此，在傳統(tǒng)技術(shù)中，與用于制造薄膜晶體管液晶顯示器的裝置分離地設(shè)置玻璃基底邊緣檢查裝置和玻璃基底變色檢查裝置。
然而，傳統(tǒng)的玻璃基底邊緣和變色檢查裝置與薄膜晶體管液晶顯示器制造裝置分離。因此，無(wú)論何時(shí)執(zhí)行各種處理以制造薄膜晶體管液晶顯示器，都應(yīng)該在單獨(dú)的場(chǎng)所重復(fù)并單獨(dú)地執(zhí)行玻璃基底的邊緣和變色檢查，因此不方便并且花費(fèi)不必要的時(shí)間。
此外，由于變色檢查裝置將特定波長(zhǎng)的光照射到玻璃基底，以視覺(jué)上確定通過(guò)玻璃基底的表面以及入射光的反射角表現(xiàn)的條紋，所以其確定結(jié)果可能依賴于觀測(cè)者的主觀而變化，從而無(wú)法進(jìn)行精確檢查。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述和/或其他問(wèn)題，本發(fā)明的一方面在于提供一種邊緣缺陷和變色檢查裝置及其方法，該裝置位于用于制造薄膜晶體管液晶顯示器的連續(xù)的處理裝置之間，用于連續(xù)地實(shí)時(shí)檢查玻璃基底的邊緣缺陷和變色。
本發(fā)明的一方面提供一種檢查邊緣缺陷和變色的裝置，包括加載單元，傳送用于制造薄膜晶體管液晶顯示器的玻璃基底；檢查單元，用于檢查由加載單元傳送的玻璃基底的邊緣缺陷和變色；控制單元，用于控制加載單元和檢查單元。
可同時(shí)執(zhí)行玻璃基底的邊緣檢查和變色檢查。
可選擇性地執(zhí)行玻璃基底的邊緣檢查和變色檢查之一。
此外，所述加載單元可包括用于接收玻璃基底的板；傳送件，與所述板的一側(cè)接合，用于使所述板運(yùn)動(dòng)。
此外，所述檢查單元可包括檢查框架，具有檢查窗口，玻璃基底通過(guò)該檢查窗口；檢測(cè)傳感器，沿玻璃基底的運(yùn)動(dòng)方向安裝在檢查框架的兩側(cè)，用于檢測(cè)玻璃基底是否通過(guò)檢查窗口；多個(gè)照相機(jī)，安裝在檢查窗口的上部，用于檢查玻璃基底的邊緣；照明器，安裝在檢查窗口的下部，用于將光照射到通過(guò)檢查窗口的玻璃基底上。
此外，多個(gè)會(huì)聚透鏡可安裝在檢查框架上，用于會(huì)聚從所述照明器照射的光并將所述光傳輸?shù)娇刂茊卧?，所述控制單元可包括分光儀，該分光儀用于分析由會(huì)聚透鏡會(huì)聚的光。
此外，所述分光儀可具有180～1100納米的觀測(cè)波長(zhǎng)以及0.1～10納米的分辨率。
此外，所述多個(gè)照相機(jī)可包括多個(gè)中心照相機(jī)，與玻璃基底垂直地安裝，用于檢查玻璃基底最初和最終通過(guò)檢查窗口的兩個(gè)邊緣；至少一對(duì)側(cè)照相機(jī)，對(duì)稱地布置在中心照相機(jī)兩側(cè)，用于檢查連接玻璃基底的兩端的兩側(cè)的邊緣缺陷。
此外，所述側(cè)照相機(jī)可平行于中心照相機(jī)。
此外，所述側(cè)照相機(jī)可相對(duì)于中心照相機(jī)傾斜預(yù)定角度。
此外，所述側(cè)照相機(jī)可以是線掃描電荷耦合器件(CCD)照相機(jī)。
此外，所述控制單元可包括監(jiān)視器，該監(jiān)視器用于顯示由照相機(jī)拍攝的圖像。
此外，所述加載單元和檢查單元可安裝在使用等離子體制造薄膜晶體管液晶顯示器的每一處理裝置的入口閘門閥之前和出口閘門閥之后的至少一處。
本發(fā)明的另一方面提供一種檢查邊緣缺陷的方法，包括使用照相機(jī)拍攝玻璃基底；將拍攝的圖像轉(zhuǎn)換為數(shù)字碼；將數(shù)字碼與正常數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)比較和計(jì)算；當(dāng)數(shù)學(xué)比較和計(jì)算的值大于由用戶指定的容許范圍時(shí)，進(jìn)行報(bào)警。
所述正常數(shù)據(jù)可以是當(dāng)沒(méi)有邊緣缺陷的玻璃基底通過(guò)邊緣缺陷檢查裝置時(shí)由照相機(jī)拍攝的圖像的進(jìn)行了數(shù)字碼轉(zhuǎn)換的值。
本發(fā)明的另一方面提供一種檢查變色的方法，包括使用會(huì)聚透鏡會(huì)聚照射到玻璃基底上的光；分析會(huì)聚的光的波長(zhǎng)；將分析出的波長(zhǎng)與波長(zhǎng)的正常水平進(jìn)行比較；當(dāng)比較的波長(zhǎng)大于由用戶指定的容許范圍時(shí)，進(jìn)行報(bào)警。
所述波長(zhǎng)的正常水平可以是當(dāng)沒(méi)有雜質(zhì)(foreign substance)并且作為由薄膜厚度測(cè)量裝置的測(cè)量結(jié)果具有正常厚度的玻璃基底通過(guò)變色檢查裝置時(shí)接收的波長(zhǎng)。
本發(fā)明的另一方面提供一種檢查變色的方法，包括使用會(huì)聚透鏡會(huì)聚照射到玻璃基底的光；分析會(huì)聚的光的波長(zhǎng)；將分析出的波長(zhǎng)與先前會(huì)聚和分析的波長(zhǎng)進(jìn)行比較；當(dāng)比較的波長(zhǎng)大于由用戶指定的容許范圍時(shí)，進(jìn)行報(bào)警。


通過(guò)下面結(jié)合附圖對(duì)示例性實(shí)施例的描述，本發(fā)明的上述和其他方面和優(yōu)點(diǎn)將變得清楚并更容易理解，其中圖1是根據(jù)本發(fā)明的邊緣缺陷和變色檢查裝置的側(cè)視圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的邊緣缺陷和變色檢查裝置的透視圖；圖3A至圖3C是示出使用圖1中的檢查單元依次檢查玻璃基底的邊緣的示例的示圖；圖4是使用圖2中的裝置的邊緣缺陷和變色檢查方法的流程圖；
圖5是根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的邊緣缺陷和變色檢查裝置的俯視圖；圖6是使用圖5的裝置的邊緣缺陷和變色檢查方法的流程圖；圖7是使用圖5的裝置的另一邊緣缺陷和變色檢查方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在，將詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，其例子表示在附圖中。
圖1是根據(jù)本發(fā)明的邊緣缺陷和變色檢查裝置的側(cè)視圖，該裝置安裝在用于制造薄膜晶體管液晶顯示器的沉積或蝕刻設(shè)備的閘門閥(gate valve)前面，圖2是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的邊緣缺陷和變色檢查裝置的透視圖。
參照?qǐng)D1和圖2，該邊緣缺陷和變色檢查裝置選擇性地安裝在處理設(shè)備50的入口閘門閥52之前或處理設(shè)備50的出口閘門閥(未示出)之后，該處理設(shè)備50使用等離子體進(jìn)行沉積、蝕刻和濺射處理，以使用等離子體來(lái)制造薄膜晶體管液晶顯示器。
這樣做的原因在于在玻璃基底40進(jìn)入進(jìn)行制造薄膜晶體管液晶顯示器的沉積、蝕刻和濺射處理的各種處理設(shè)備的室51中之前，檢查玻璃基底40的邊緣缺陷和變色，或者實(shí)時(shí)檢查在各個(gè)處理完成之后排出的玻璃基底40的邊緣缺陷和變色，以確定向后續(xù)處理的傳送。
如圖2中所示，該邊緣缺陷和變色檢查裝置包括加載單元10、檢查單元20和控制單元30，以便同時(shí)執(zhí)行邊緣缺陷和變色檢查，或者執(zhí)行邊緣缺陷檢查和變色檢查之一，或者以一定時(shí)間間隔依次執(zhí)行邊緣缺陷檢查和變色檢查。
加載單元10包括用于支撐玻璃基底40的板11和用于使板11移動(dòng)到合適的位置的傳送件12。
傳送件12包括多個(gè)旋轉(zhuǎn)臂12a、12b、12c和12d，所述多個(gè)旋轉(zhuǎn)臂彼此依次接合以便以預(yù)定的角度旋轉(zhuǎn)。具體地講，多個(gè)旋轉(zhuǎn)臂12a、12b、12c和12d中的一個(gè)臂12b的一端可旋轉(zhuǎn)地連接到緊挨著臂12b下方的另一臂12a，其另一端可旋轉(zhuǎn)地連接到緊挨著臂12b上方的另一臂12c，從而傳送件12驅(qū)動(dòng)最下面的臂12a至最上面的臂12d，使其從初始重疊狀態(tài)依次旋轉(zhuǎn)預(yù)定的角度，從而傳送玻璃基底40。
檢查單元20包括檢查框架26、用于檢測(cè)玻璃基底40的檢測(cè)傳感器24、照明器25和照相機(jī)22。
檢查框架26上形成有檢查窗口21，用于通過(guò)由加載單元10傳送的玻璃基底40，檢測(cè)傳感器24沿著玻璃基底40的運(yùn)動(dòng)方向安裝在檢查框架26的兩側(cè)。
檢測(cè)傳感器24中的一個(gè)檢測(cè)傳感器24a(玻璃基底40在該檢測(cè)傳感器處進(jìn)入檢查窗口21)檢測(cè)玻璃基底40進(jìn)入檢查窗口21的時(shí)間，以將該時(shí)間發(fā)送給控制單元30，以使得照相機(jī)22和照明器25開(kāi)始運(yùn)行。然后，檢測(cè)傳感器24中的另一個(gè)檢測(cè)傳感器24b(玻璃基底40在該檢測(cè)傳感器處離開(kāi)檢查窗口21)檢測(cè)玻璃基底40不存在于檢查窗口21中，以將所述不存在的狀態(tài)發(fā)送給控制單元30，以使得照相機(jī)22和照明器25停止運(yùn)行。
照明器25安裝在檢查窗口21下部，以將光照射到通過(guò)檢查窗口21的玻璃基底40上。在該處理中，照明器25可使用發(fā)光二極管(LED)、激光二極管等。
照相機(jī)22的功能在于使用從照明器25照射的光來(lái)檢查玻璃基底40的邊緣缺陷和變色。為了容易地確定玻璃基底40是否具有邊緣缺陷和變色，如圖3A至3C所示，在檢查窗口21的上部安裝有多個(gè)中心照相機(jī)22a和側(cè)照相機(jī)22b。這里，照相機(jī)22可使用具有高分辨率的電荷耦合器件(CCD)照相機(jī)。此外，照相機(jī)22可檢查玻璃基底40的距離其邊緣5mm的位置，即與邊緣相鄰的部分。
如圖3A至圖3C所示，中心照相機(jī)22a沿著與玻璃基底40垂直的方向檢查玻璃基底40最初和最終通過(guò)檢查窗口21的兩端的邊緣缺陷和變色。
在中心照相機(jī)22a兩側(cè)對(duì)稱地安裝有至少一對(duì)側(cè)照相機(jī)22b。側(cè)照相機(jī)22b沿平行于或傾斜于中心照相機(jī)22a的方向選擇性地安裝在檢查窗口21的上部，以便檢查玻璃基底40的側(cè)邊緣(即，連接由中心照相機(jī)22a檢測(cè)的玻璃基底40的兩端的側(cè)邊緣)的邊緣缺陷和變色，而中心照相機(jī)22a無(wú)法檢查所述側(cè)邊緣的邊緣缺陷和變色。這里，側(cè)照相機(jī)22b可以沿相對(duì)于中心照相機(jī)22a傾斜預(yù)定角度的方向可旋轉(zhuǎn)地鉸接在檢查窗口21的上部，從而當(dāng)由于玻璃基底40的過(guò)分的尺寸而難以檢查玻璃基底40的邊緣時(shí)，側(cè)照相機(jī)22b可以旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度以檢查玻璃基底40的邊緣。
由照相機(jī)22拍攝的圖像被實(shí)時(shí)地轉(zhuǎn)換為數(shù)字碼，以確定玻璃基底40是否被損壞。
此外，可通過(guò)輸入的圖像確定沉積在玻璃基底40上的薄膜是否被損壞。具體地講，如圖4中所示，在對(duì)玻璃基底進(jìn)行拍攝(S1)之后輸入的圖像被轉(zhuǎn)換為諸如數(shù)字的數(shù)字碼(S2)，將該數(shù)字碼與先前輸入的玻璃基底40的正常數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)比較和計(jì)算(S3)。作為比較的結(jié)果，當(dāng)差大于由用戶指定的容許范圍時(shí)(S4)，可向用戶發(fā)出邊緣缺陷或變色的警報(bào)(S5)。在該處理中，正常數(shù)據(jù)是指當(dāng)沒(méi)有邊緣缺陷的玻璃基底通過(guò)邊緣缺陷檢查裝置時(shí)由照相機(jī)拍攝的圖像的數(shù)字碼轉(zhuǎn)換值。
控制單元30包括監(jiān)視器31和控制器(未示出)。
監(jiān)視器31可視地顯示由中心照相機(jī)22a和側(cè)照相機(jī)22b拍攝的圖像。
控制器控制邊緣缺陷和變色檢查裝置100的總的操作，例如，在接收到來(lái)自檢測(cè)傳感器24的檢測(cè)結(jié)果之后控制照相機(jī)22和照明器25的操作，將由照相機(jī)22拍攝的圖像轉(zhuǎn)換為數(shù)字碼，或者對(duì)數(shù)字碼進(jìn)行數(shù)學(xué)運(yùn)算。
下面，將更詳細(xì)地描述玻璃基底40的邊緣缺陷和變色檢查裝置100的操作。
首先，使用加載單元10將玻璃基底40傳送到檢查框架26的檢查窗口21。然后，設(shè)置在檢查框架26上的檢查傳感器24a(玻璃基底40通過(guò)該檢查傳感器24a進(jìn)入檢查窗口21)檢測(cè)玻璃基底40，以將檢測(cè)的結(jié)果發(fā)送給控制單元30，控制單元30操作照相機(jī)22和照明器25拍攝玻璃基底40的邊緣和變色，以將拍攝的圖像轉(zhuǎn)換為數(shù)字碼，從而通過(guò)數(shù)學(xué)運(yùn)算確定是否存在邊緣缺陷或變色。接下來(lái)，當(dāng)玻璃基底40通過(guò)檢查窗口21排出時(shí)，設(shè)置在檢查框架26上的檢測(cè)傳感器24b確定玻璃基底40的不存在，以將結(jié)果發(fā)送給控制單元30，以使得照相機(jī)22和照明器25停止運(yùn)行。
邊緣缺陷和變色檢查裝置100選擇性地安裝在沉積、蝕刻和濺射處理中所使用的處理設(shè)備50的入口閘門閥52之前或處理設(shè)備50的出口閘門閥(未示出)之后，以預(yù)先檢查進(jìn)入沉積或蝕刻處理的玻璃基底40的邊緣缺陷和變色以便防止壞的玻璃基底進(jìn)入處理室51，或者檢查在處理完成之后排出的玻璃基底40的邊緣缺陷或變色以便防止壞的玻璃基底進(jìn)入后續(xù)處理。
當(dāng)檢測(cè)到在沉積或蝕刻處理完成之后排出的玻璃基底40的邊緣缺陷和變色時(shí)，有可能實(shí)時(shí)地識(shí)別出諸如沉積、蝕刻和濺射裝置的使用等離子體的處理設(shè)備的故障。即，當(dāng)盡管在進(jìn)入沉積、蝕刻或?yàn)R射處理之前不存在缺陷，但是檢測(cè)到在處理完成之后排出的玻璃基底中的缺陷時(shí)，意味著處理設(shè)備有缺陷或問(wèn)題。
圖5是用于解釋根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的檢查玻璃基底的變色的另一方法的邊緣缺陷和變色檢查裝置的俯視圖，圖6是使用圖5的裝置的另一邊緣缺陷和變色檢查方法的流程圖。
在本實(shí)施例中，與圖1至圖3中所示的標(biāo)號(hào)相同的標(biāo)號(hào)表示執(zhí)行相同操作的相同部件。
因此，將不重復(fù)對(duì)它們的描述。
邊緣缺陷和變色檢查裝置100包括加載單元10、檢查單元20和控制單元30。在檢查單元20的檢查框架26上安裝有多個(gè)會(huì)聚透鏡23。此外，控制單元30包括分光儀(spectroscope)(未示出)。
會(huì)聚透鏡23會(huì)聚從照明器25照射到玻璃基底40的光(S10)，以將所述光傳輸?shù)椒止鈨x30。分光儀可觀測(cè)到180～1100納米的波長(zhǎng)，并具有0.1～10納米的分辨率。
然后，分光儀分析通過(guò)不均勻沉積的玻璃基底40而會(huì)聚的光的波長(zhǎng)(S20)，以根據(jù)會(huì)聚的光的波長(zhǎng)將結(jié)果表現(xiàn)為強(qiáng)度水平(intensity level)。將具有不均勻沉積部分41的玻璃基底40的強(qiáng)度水平與玻璃基底的正常水平(normal level)的數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，以獲得差(S30)，然后，當(dāng)所述差大于由用戶指定的容許范圍時(shí)(S40)，向用戶通知報(bào)警消息(S50)。
圖7是使用圖5的裝置的另一邊緣缺陷和變色檢查方法的流程圖。
通過(guò)會(huì)聚透鏡23會(huì)聚照射到玻璃基底40的光(S100)，分析會(huì)聚的光的波長(zhǎng)(S200)，將每次進(jìn)入的光的波長(zhǎng)的數(shù)據(jù)與前一次會(huì)聚的光的波長(zhǎng)的數(shù)據(jù)進(jìn)行比較(S300)。當(dāng)差大于由用戶指定的容許范圍時(shí)(S400)，向用戶通知報(bào)警消息(S500)。
因此，所述邊緣缺陷和變色檢查裝置可設(shè)置在沉積和蝕刻處理之間，以便在薄膜晶體管液晶顯示器的連續(xù)的制造處理期間實(shí)時(shí)地檢查邊緣缺陷和變色。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性可從以上描述看出，邊緣缺陷和變色檢查裝置可在制造薄膜晶體管液晶顯示器的處理期間自動(dòng)執(zhí)行玻璃基底的邊緣缺陷和變色檢查。此外，可將該邊緣缺陷和變色檢查裝置設(shè)置在沉積、蝕刻和濺射處理之間，以實(shí)時(shí)地確認(rèn)玻璃基底是好的還是壞的，從而執(zhí)行經(jīng)濟(jì)而快速的處理。
前述描述涉及本發(fā)明的示例性實(shí)施例，是出于示意性目的，而不應(yīng)該被理解為限制本發(fā)明。對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，本發(fā)明的范圍和精神內(nèi)的許多替換、修改和變化將是明顯的。
權(quán)利要求
1.一種檢查邊緣缺陷和變色的裝置，包括加載單元，傳送用于制造薄膜晶體管液晶顯示器的玻璃基底；檢查單元，用于檢查由加載單元傳送的玻璃基底的邊緣缺陷和變色；控制單元，用于控制加載單元和檢查單元。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，同時(shí)執(zhí)行玻璃基底的邊緣檢查和變色檢查。
3.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，選擇性地執(zhí)行玻璃基底的邊緣檢查和變色檢查之一。
4.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述加載單元包括用于接收玻璃基底的板；傳送件，與所述板的一側(cè)接合，用于使所述板運(yùn)動(dòng)。
5.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述檢查單元包括檢查框架，具有檢查窗口，玻璃基底通過(guò)該檢查窗口；檢測(cè)傳感器，沿玻璃基底的運(yùn)動(dòng)方向安裝在檢查框架的兩側(cè)，用于檢測(cè)玻璃基底是否通過(guò)檢查窗口；多個(gè)照相機(jī)，安裝在檢查窗口的上部，用于檢查玻璃基底的邊緣；照明器，安裝在檢查窗口的下部，用于將光照射到通過(guò)檢查窗口的玻璃基底上。
6.如權(quán)利要求5所述的裝置，其中，多個(gè)會(huì)聚透鏡安裝在檢查框架上，用于會(huì)聚從所述照明器照射的光并將所述光傳輸?shù)娇刂茊卧?br> 7.如權(quán)利要求1或5所述的裝置，其中，所述控制單元包括分光儀，該分光儀用于分析由會(huì)聚透鏡會(huì)聚的光。
8.如權(quán)利要求6所述的裝置，其中，所述分光儀具有180～1100納米的觀測(cè)波長(zhǎng)以及0.1～10納米的分辨率。
9.如權(quán)利要求5所述的裝置，其中，所述多個(gè)照相機(jī)包括多個(gè)中心照相機(jī)，與玻璃基底垂直地安裝，用于檢查玻璃基底的最初和最終通過(guò)檢查窗口的兩個(gè)邊緣；至少一對(duì)側(cè)照相機(jī)，對(duì)稱地布置在中心照相機(jī)兩側(cè)，用于檢查連接玻璃基底的兩端的兩側(cè)的邊緣缺陷。
10.如權(quán)利要求9所述的裝置，其中，所述側(cè)照相機(jī)平行于中心照相機(jī)。
11.如權(quán)利要求9所述的裝置，其中，所述側(cè)照相機(jī)相對(duì)于中心照相機(jī)傾斜預(yù)定角度。
12.如權(quán)利要求9所述的裝置，其中，所述側(cè)照相機(jī)是線掃描CCD照相機(jī)。
13.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述控制單元包括監(jiān)視器，該監(jiān)視器用于顯示由照相機(jī)拍攝的圖像。
14.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述加載單元和檢查單元安裝在使用等離子體制造薄膜晶體管液晶顯示器的每一處理裝置的入口閘門閥之前和出口閘門閥之后的至少一處。
15.一種檢查邊緣缺陷的方法，包括使用照相機(jī)拍攝通過(guò)檢查窗口的玻璃基底；將拍攝的圖像轉(zhuǎn)換為數(shù)字碼；將數(shù)字碼與正常數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)比較和計(jì)算；當(dāng)數(shù)學(xué)比較和計(jì)算的值大于由用戶指定的容許范圍時(shí)，進(jìn)行報(bào)警。
16.如權(quán)利要求15所述的方法，其中，所述正常數(shù)據(jù)是當(dāng)沒(méi)有邊緣缺陷的玻璃基底通過(guò)邊緣缺陷檢查裝置時(shí)由照相機(jī)拍攝的圖像的進(jìn)行了數(shù)字碼轉(zhuǎn)換的值。
17.如權(quán)利要求15所述的方法，其中，由照相機(jī)拍攝的圖像包括玻璃基底最初和最終通過(guò)檢查窗口的兩端的邊緣以及連接玻璃基底的兩端的玻璃基底的兩側(cè)的邊緣。
18.如權(quán)利要求17所述的方法，其中，使用線掃描方法拍攝連接玻璃基底的兩端的所述兩側(cè)的邊緣。
19.如權(quán)利要求15所述的方法，其中，拍攝玻璃基底的步驟還包括通過(guò)監(jiān)視器顯示拍攝的圖像。
20.一種檢查變色的方法，包括使用會(huì)聚透鏡會(huì)聚照射到玻璃基底上的光；分析會(huì)聚的光的波長(zhǎng)；將分析出的波長(zhǎng)與波長(zhǎng)的正常水平進(jìn)行比較；當(dāng)比較的波長(zhǎng)大于由用戶指定的容許范圍時(shí)，進(jìn)行報(bào)警。
21.如權(quán)利要求20所述的方法，其中，波長(zhǎng)的正常水平是當(dāng)沒(méi)有雜質(zhì)并且作為由薄膜厚度測(cè)量裝置的測(cè)量結(jié)果具有正常厚度的玻璃基底通過(guò)變色檢查裝置時(shí)接收的波長(zhǎng)。
22.如權(quán)利要求20所述的方法，其中，通過(guò)分光儀來(lái)分析會(huì)聚的光的波長(zhǎng)。
23.如權(quán)利要求22所述的方法，其中，通過(guò)分光儀分析的波長(zhǎng)被表現(xiàn)為強(qiáng)度水平。
24.一種檢查變色的方法，包括使用會(huì)聚透鏡會(huì)聚照射到玻璃基底上的光；分析會(huì)聚的光的波長(zhǎng)；將分析出的波長(zhǎng)與先前會(huì)聚和分析的波長(zhǎng)進(jìn)行比較；當(dāng)比較的波長(zhǎng)大于由用戶指定的容許范圍時(shí)，進(jìn)行報(bào)警。
全文摘要
提供一種檢測(cè)邊緣缺陷和變色的裝置和方法。該裝置包括加載單元，傳送用于制造薄膜晶體管液晶顯示器的玻璃基底；檢查單元，用于檢查由加載單元傳送的玻璃基底的邊緣缺陷和變色；控制單元，用于控制加載單元和檢查單元。所述邊緣缺陷和變色檢查裝置能夠在制造薄膜晶體管液晶顯示器的處理期間自動(dòng)執(zhí)行玻璃基底的邊緣缺陷和變色檢查。此外，可將該邊緣缺陷和變色檢查裝置設(shè)置在沉積、蝕刻和濺射處理之間，以實(shí)時(shí)地確認(rèn)玻璃基底是好的還是壞的，從而執(zhí)行經(jīng)濟(jì)而快速的處理。
文檔編號(hào)G02F1/13GK101069118SQ200680001286
公開(kāi)日2007年11月7日 申請(qǐng)日期2006年2月27日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月2日
發(fā)明者李淳鐘, 禹奉周 申請(qǐng)人:塞米西斯科株式會(huì)社