技術(shù)編號:5840008
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及適合于對例如液晶玻璃的邊緣的缺口和開裂進行檢測的邊緣傳感器和使 用該邊緣傳感器的缺陷檢査裝置。背景技術(shù)本申請發(fā)明人先前有一提案,著眼于物體邊緣的單色平行光的菲涅耳衍射,通過分析 使用多個感光單元按規(guī)定間隔排列而成的線型傳感器檢測出的光量分布圖案,以上述線型 傳感器的感光單元的排列間隔以上的精度高精度地檢測上述物體的邊緣位置(參照日本專 利第3858994號公報)。而且,還針對液晶玻璃等透明體、半透明體提出了通過著眼于上述菲涅耳衍射來高精 度地檢測...
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