1.一種電鍍裝置，
將作為電鍍處理的對象的2片晶片安裝于電鍍用夾具的表背兩面，
具備與所安裝的2片晶片的電鍍處理的對象面分別對置的陽極，
使作為陰極發(fā)揮功能的電鍍用夾具浸漬于儲存有電鍍液的電鍍槽來執(zhí)行電鍍處理，
所述電鍍裝置的特征在于，具備：
引導(dǎo)部，該引導(dǎo)部沿著所述電鍍槽的內(nèi)壁設(shè)置，能夠供所述電鍍用夾具插入；以及
膨脹密封部件，該膨脹密封部件設(shè)置于該引導(dǎo)部，
使該膨脹密封部件膨脹而按壓于插入至所述電鍍槽的所述電鍍用夾具，由此將2片晶片分槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電鍍裝置，其特征在于，
所述引導(dǎo)部具有沿著所述電鍍槽的內(nèi)壁的密封用槽，
所述膨脹密封部件在埋入至所述引導(dǎo)部的所述密封用槽的狀態(tài)下，配置在插入至所述電鍍槽的電鍍用夾具與所述引導(dǎo)部之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電鍍裝置，其特征在于，
所述膨脹密封部件的剖面形狀呈U字形狀或O字形狀，當膨脹時遍及所述引導(dǎo)部的所述密封用槽的整個區(qū)域地填充。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項所述的電鍍裝置，其特征在于，
所述膨脹密封部件由具有耐藥液性的樹脂材料形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項所述的電鍍裝置，其特征在于，
所述引導(dǎo)部具備插入槽，該插入槽具有大于所述電鍍用夾具的厚度的槽寬，
所述電鍍用夾具沿著所述引導(dǎo)部的所述插入槽插入至所述電鍍槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電鍍裝置，其特征在于，
所述膨脹密封部件配置于所述引導(dǎo)部的所述插入槽的一側(cè)面，
在所述膨脹密封部件膨脹的情況下，所述電鍍用夾具的一方按壓于所述膨脹密封部件，另一方按壓于所述引導(dǎo)部的所述插入槽的另一側(cè)面。