1.一種過濾裝置，其特征在于，包括支撐框架、固定架和葉片，所述葉片通過固定架設置在所述支撐框架內，所述葉片與所述支撐框架所在平面呈一定夾角，所述葉片在所述支撐框架所在平面上的投影面積覆蓋所述支撐框架內的通風面積。
2.根據權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，所述固定架的數量為多個，多個固定架間隔地分布在所述支撐框架上，每個固定架上至少設置有一張葉片；或者
所述葉片的數量為多個，多個葉片組成同心圓。
3.根據權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，所述葉片上設有阻擋片，所述阻擋片與所述葉片所在平面呈一定夾角，所述阻擋片在所述葉片上的投影處開設有通孔。
4.根據權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，所述葉片為金屬材料，所述金屬材料的表面鍍有氧化層。
5.根據權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，所述葉片與所述支撐框架所在平面的夾角為5-45°。
6.根據權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，所述葉片與所述支撐框架所在平面的夾角的角度可調。
7.根據權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，所述支撐框架上設置有用于將所述支撐框架固定于過濾通道的連接件。
8.根據權利要求7所述的過濾裝置，其特征在于，所述連接件為樹形卡扣。
9.一種真空抽氣裝置，其特征在于，包括真空泵、過濾通道和如權利要求1-8中任意一項所述的過濾裝置，所述過濾通道與真空泵的入口連通，所述過濾裝置固定于所述過濾通道內。
10.一種刻蝕設備，其特征在于，包括真空反應腔室和如權利要求9所述的真空抽氣裝置，所述真空反應腔室與真空泵通過過濾通道連通，所述過濾裝置位于所述真空反應腔室和真空泵之間。