技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種硅片清洗池用的自動加藥裝置，屬于單晶硅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，該裝置包括儲藥罐，關(guān)鍵是：所述的裝置還包括濃度檢測儀、計量泵、控制模塊、上噴頭和下噴頭，濃度檢測儀的檢測端位于清洗池內(nèi)液面的下方，濃度檢測儀的控制端與控制模塊的信號輸入端連接，控制模塊的控制端與計量泵的受控端連接，上噴頭位于清洗池內(nèi)的液面上方且出口端朝向下方，下噴頭位于清洗池內(nèi)的底部且出口端朝向上方，計量泵的進(jìn)藥口與儲藥罐連通，計量泵的出藥口同時與上噴頭和下噴頭連通。利用計量泵將儲藥罐內(nèi)的藥液加入清洗池內(nèi)，使清洗池內(nèi)藥液的濃度快速恢復(fù)到所需的范圍內(nèi)，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便。

技術(shù)研發(fā)人員：史志明;李世杰;陳世杰;吳成志;劉曉燕;王聰;柳培燦
受保護(hù)的技術(shù)使用者：寧晉松宮電子材料有限公司
文檔號碼：201621209341
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.09
技術(shù)公布日：2017.06.06