技術總結
本實用新型涉及一種適用于擴散爐的一體式外點火裝置，它包括石英泡、小爐體和注入器，所述石英泡的一側設置有與石英管相連的S彎管，所述石英泡的腔體外圍設有防爆罩，在所述防爆罩上開設有冷卻水進水口、冷卻水回水口和火焰?zhèn)鞲衅鳎鯯彎管的一端與石英泡之間設計成一體式結構，在石英泡的另一側設置有直管，所述直管的一端穿過小爐體，所述注入器的一端插入直管并與石英泡的腔體貫通，所述直管的端部通過設置石英球頭與注入器上的球碗連接，并且石英球頭上開槽并裝入O型圈。本實用新型有效的減少了工藝過程中氣體泄露，增加了參數(shù)穩(wěn)定性，提高了產品質量，適合工業(yè)化生產使用。

技術研發(fā)人員：賈云波;呂偉;陳建標;顧軍魏;王海東
受保護的技術使用者：江陰新順微電子有限公司
文檔號碼：201720287050
技術研發(fā)日：2017.03.23
技術公布日：2017.11.14