本實用新型涉及一種適用于改善半導(dǎo)體擴散爐外點火裝置與爐管之間的密封的裝置，屬于集成電路或分立器件圓片制造技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體晶圓制造過程中，普遍采用高溫擴散工藝。隨著產(chǎn)品質(zhì)量要求的提高，氣體流量的穩(wěn)定性直接影響整個擴散系統(tǒng)的氣氛，而摻雜穩(wěn)定性、氧化膜厚穩(wěn)定性等造成的細微影響，都會影響到晶圓的成品質(zhì)量。擴散系統(tǒng)是在高溫環(huán)境中將需要的雜質(zhì)向硅片內(nèi)部推進，在這種情況下有益雜質(zhì)和有害雜質(zhì)同時擴散，所以對擴散系統(tǒng)潔凈度及氣體穩(wěn)定性都有非常高的要求，而擴散爐外點火小爐體與爐管之間連接的密封性的優(yōu)劣，一方面可能導(dǎo)致外界的空氣通過文丘里效應(yīng)引入到擴散爐系統(tǒng)導(dǎo)致擴散爐系統(tǒng)沾污，造成管芯漏電、擊穿低等失效；另一方面可能導(dǎo)致進入擴散爐管的氣體泄漏，造成擴散爐內(nèi)氣氛不飽和，或引起多種工藝氣體的固定比例失控，引起摻雜、氧化層膜厚異常，最終影響管芯成品率。

在本實用新型作出以前，常用的適用于外點火裝置與爐管之間的連接裝置主要存在的不足之處在于：

1、注入器與石英泡、石英泡和S彎接頭之間通過石英球頭和球碗磨砂接觸，通過磨砂面密封，密封穩(wěn)定性得不到保障；

2、石英泡與注入器、石英泡與S型轉(zhuǎn)接頭之間各有一個連接點，連接點越多泄露的可能性越大；

3、石英泡與注入器、石英泡與S型轉(zhuǎn)接頭之間各有一個連接點，各有兩個球頭和球碗，增加石英制品的加工難度，增加了制作成本。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型所要解決的技術(shù)問題是針對上述現(xiàn)有技術(shù)提供一種既能降低制作難度與成本又能保證連接之間的密封性的外點火連接裝置。

本實用新型解決上述問題所采用的技術(shù)方案為：一種適用于擴散爐的一體式外點火裝置，它包括石英泡、小爐體和注入器，所述石英泡的一側(cè)設(shè)置有與石英管相連的S彎管，所述石英泡的腔體外圍設(shè)有防爆罩，在所述防爆罩上開設(shè)有冷卻水進水口、冷卻水回水口和火焰?zhèn)鞲衅?，所述S彎管的一端與石英泡之間設(shè)計成一體式結(jié)構(gòu)，在石英泡的另一側(cè)設(shè)置有直管，所述直管的一端穿過小爐體，所述注入器的一端插入直管并與石英泡的腔體貫通，所述直管的端部通過設(shè)置石英球頭與注入器上的球碗連接，并且石英球頭上開槽并裝入O型圈。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的優(yōu)點在于：

本實用新型通過改進石英與石英之間的連接方式，通過增加O型圈、生料帶起到密封的作用，并且將石英泡和S彎這種分體結(jié)構(gòu)集成為一體結(jié)構(gòu)，有效的減少了工藝過程中氣體泄露，增加了參數(shù)穩(wěn)定性，提高了產(chǎn)品質(zhì)量，適合工業(yè)化生產(chǎn)使用。

附圖說明

圖1 為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：

石英泡1、小爐體2、注入器3、石英管4、 S彎管5、直管6、防爆罩7、冷卻水進水口8、冷卻水回水口9、火焰?zhèn)鞲衅?0。

具體實施方式

以下結(jié)合實施例對本實用新型作進一步詳細描述。

參見圖1，本實用新型涉及一種適用于擴散爐的一體式外點火裝置，包括石英泡1、小爐體2和注入器3，所述石英泡1的一側(cè)設(shè)置有與石英管4相連的S彎管5，由于石英泡與S彎轉(zhuǎn)接頭的連接處溫度很高，處于點火狀態(tài)時該處最高溫度可達400℃以上，不具備安裝O型圈的可能性，將所述S彎管5的一端與石英泡1之間設(shè)計成一體式結(jié)構(gòu)，在石英泡1的另一側(cè)設(shè)置有直管6，所述直管6的一端穿過小爐體2，所述注入器3的一端插入直管6并與石英泡1的腔體貫通，所述直管6的端部通過設(shè)置石英球頭與注入器3上的球碗連接，并且石英球頭上開槽并裝入O型圈，增加密封性，所述石英泡1的腔體外圍設(shè)有防爆罩7，在所述防爆罩7上開設(shè)有冷卻水進水口8、冷卻水回水口9和火焰?zhèn)鞲衅?0。

除上述實施例外，本實用新型還包括有其他實施方式，凡采用等同變換或者等效替換方式形成的技術(shù)方案，均應(yīng)落入本實用新型權(quán)利要求的保護范圍之內(nèi)。