專利名稱：樹脂固化系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明涉及使安裝在帶子上的半導體片等封裝用的樹脂熱固化，同時將該熱固化后的帶子卷繞的樹脂固化系統(tǒng)。
現(xiàn)有技術(shù)為了將安裝在帶子上的半導體片等密封，可以采用將涂敷了環(huán)氧樹脂之類熱固性樹脂的帶子加熱，使涂敷樹脂固化的樹脂固化系統(tǒng)。
該樹脂固化系統(tǒng)以圖4所示的封裝系統(tǒng)為主要構(gòu)成部分組裝起來。該封裝系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)若大致劃分，可由帶子供給裝置1、封裝裝置2、樹脂固化裝置3、帶子卷繞裝置4構(gòu)成。
帶子供給裝置1由帶子供給卷軸14、卷繞襯墊帶13的襯墊帶卷繞卷軸15、多個導輥16和導向件17所構(gòu)成。上述帶子供給卷軸14是將安裝了許多個半導體片11(參照圖中虛線所示的圓形框A)的長帶狀帶子12，在各自的帶子12之間夾持有襯墊帶13的狀態(tài)下保持為滾筒狀。
該帶子供給裝置1使保持在帶子供給卷軸14上的帶子12和襯墊帶13分離，分離后的襯墊帶13由襯墊帶卷繞卷軸15卷繞。另一方面，帶子12在如虛線框A所示的狀態(tài)下供給到下一道工序的封裝裝置2。
封裝裝置2具有將來自該帶子供給裝置1的帶子12送到前方(箭頭a方向)的送入輥21和在帶子12上施加張力的張力輥22，同時還具有對于安裝在該帶子12表面的半導體片11進行熱固性樹脂封裝的封裝部23。
樹脂固化裝置3是將來自封裝裝置2的帶子12用加熱爐30加熱，使涂敷的樹脂固化的裝置。帶子卷繞裝置4是將經(jīng)過樹脂固化裝置3進行了熱固化處理的帶子12卷繞的裝置。
該樹脂固化裝置3和帶子卷繞裝置4在此稱作樹脂固化系統(tǒng)，下面對于該樹脂固化系統(tǒng)加以說明。
該樹脂固化系統(tǒng)構(gòu)成要素之一的樹脂固化裝置3的加熱爐30，具有稱作所謂3段爐的結(jié)構(gòu)。即是從圖4可知，由封裝裝置2送出的、涂敷了樹脂的帶子12，由設置在帶子12前進方向左右兩側(cè)的2根導軌31a、31b(參照圖中虛線所示的圓形框B)的導向，朝水平方向(箭頭a方向)前進。
在圖中虛線所示的圓形框B中，明示了設在該加熱爐30上作為進行加熱的加熱手段的發(fā)熱體151、將來自該發(fā)熱體151的熱擴散的熱擴散板152、將由熱擴散板152擴散的熱有效地照射到帶子12背面的熱反射板153。該發(fā)熱體151、熱擴散板152、熱反射板153沿著第1至第3的運行通道L1～L3而設置是不容置疑的。但是，在此只是表示在圖中虛線所示的圓形框B內(nèi)。
然后，帶子12由第1帶子反轉(zhuǎn)機構(gòu)的第1反轉(zhuǎn)輥32反轉(zhuǎn)，由導軌31a、31b的導向，這次朝反方向(箭頭b方向)前進，再由作為第2帶子反轉(zhuǎn)機構(gòu)的第2反轉(zhuǎn)輥33反轉(zhuǎn)。反轉(zhuǎn)后的帶子12由導軌31a、31b的導向，朝水平方向(箭頭a方向)前進，從帶子出口34送到帶子卷繞裝置4去。
帶子卷繞裝置4具有下列部件與樹脂固化裝置3的帶子出口34對向設置的帶子導入口41，將由該帶子導入口41導入的帶子12送向前方的、且具有驅(qū)動力的送入輥42，將由該送入輥42送入的帶子12朝下方向引導的導向件43，將由該導向件43朝下方向?qū)虻膸ё?2在具有垂弛的狀態(tài)下卷繞的卷繞卷軸44，檢測該帶子12垂弛量的垂弛量檢測傳感器45，以及在用卷繞卷軸44卷繞帶子12時、為了供給避免帶子12之間直接重疊用的襯墊帶46的襯墊帶供給用卷軸47。
除了這些構(gòu)成要素之外，根據(jù)需要還要設置幾個對于帶子12和襯墊帶46的運行進行導向的導輥48。垂弛量檢測傳感器45在此實例中是由2個光電變換元件P1、P2和與其配對的光敏元件R1、R2組成。
圖4中所示的樹脂固化裝置3具有涂敷了樹脂的帶子在通過分別設置于第1加熱區(qū)Z1、第2加熱區(qū)Z2、第3加熱區(qū)Z3的各自運行通道時，對樹脂進行熱固化處理的結(jié)構(gòu)。下面，將下段的運行通道稱為第1運行通道L1、中段的運行通道稱為第2運行通道L2、上段的運行通道稱為第3運行通道L3。
帶子12在從封裝裝置2送出時，半導體片11的安裝面往往是處于上側(cè)位置。即是半導體片11是位于帶子12的上側(cè)狀態(tài)。因此，在樹脂固化裝置3的第1運行通道L1時，按原來的狀態(tài)(半導體片11位于上側(cè)的狀態(tài))運行。但是，在第2運行通道L2時，半導體片11就在處于下側(cè)的狀態(tài)下運行，在第3運行通道L3時，半導體片11再次在處于上側(cè)的狀態(tài)下運行。
這樣，當樹脂固化裝置3的加熱爐30為復數(shù)段(這時為3段爐)結(jié)構(gòu)時，對于涂敷的樹脂能進行充分的加熱。因此，從樹脂固化裝置3進入帶子卷繞裝置4的階段，樹脂能確實達到固化的狀態(tài)。圖4中所示的樹脂固化系統(tǒng)，是表示采用COF(Chip On Film)帶子的例子。此外，經(jīng)常使用有器件孔的TAB(TapeAutmated Bonding)帶子。這些被采用的帶子無論是COF帶子和TAB均是剛性強(有筋骨)的帶子。
第1反轉(zhuǎn)輥32和第2反轉(zhuǎn)輥33具有各自的周端(輥面)只接觸帶子兩端部的結(jié)構(gòu)，對于安裝在帶子12上的半導體片11和由封裝裝置2涂敷的樹脂，這第1及第2反轉(zhuǎn)輥32、33的周端是不接觸的。特別是第1反轉(zhuǎn)輥32，在半導體片11和涂敷的樹脂通過該第1反轉(zhuǎn)輥32時為內(nèi)側(cè)(接觸第1反轉(zhuǎn)輥32周端的一側(cè))，所以必須具有只接觸帶子12兩端部的結(jié)構(gòu)。
發(fā)明所要解決的課題當樹脂固化裝置3的加熱爐30如圖4所示的3段爐的結(jié)構(gòu)時，如上所述，在第1運行通道L1和第3運行通道L3中，帶子12是在半導體片11的安裝面向上的狀態(tài)下運行，但在第2運行通道L2中半導體片11在向下的狀態(tài)下運行。圖5顯示了該狀況。圖5(A)是從帶子卷繞裝置4一側(cè)來看圖4所示的第1運行通道L1和第3運行通道L3部分的截面圖，圖5(B)是從帶子卷繞裝置4一側(cè)來看圖4所示的第2運行通道L2部分的截面圖。
從圖5可知沿帶子12的前進方向，帶子12的左右兩端是分別由導軌31a、31b支持的，帶子12是由該導軌31a、31b的導向而運行的。
這樣，在從第1到第3的運行通道L1～L3中，帶子12其端部是由導軌31a、31b支持的。但是，作為在此進行加熱處理對象考慮的TCP(包括采用TAB的中間產(chǎn)品和成品、COF的中間產(chǎn)品和成品)所用的帶子12，其厚度約為70μm，作為此種帶子12是比較厚的，其剛性也大、是所謂的「筋骨」強的帶子。因此，即使在只靠兩根導軌31a、31b來支持其兩端的狀態(tài)下，也幾乎不會產(chǎn)生由于半導體片11的重量和加熱等所引起的寬度方向的垂弛，能平穩(wěn)地運行。
這類結(jié)構(gòu)的樹脂固化裝置3，如上所述是為「筋骨」強的帶子12使用而開發(fā)的，采用「筋骨」強的帶子12時，這類結(jié)構(gòu)的樹脂固化裝置3具有充分的功能，能進行良好的熱固化處理。
但是，若用此樹脂固化裝置3對于采用「筋骨」弱的帶子12的TCP、例如采用「筋骨」弱的帶子12的COF進行熱固化處理，則會發(fā)生各種問題。即是此COF帶子12的厚度往往是20μm～40μm的薄帶子，與「筋骨」強的帶子厚度(70μm左右)相比較，只有一半左右的厚度，其剛性小，容易垂弛。
因此，若將這種「筋骨」弱的帶子12用圖4所示的樹脂固化裝置3進行熱固化處理，則由于半導體片11的重量和加熱等，容易產(chǎn)生寬度方向的垂弛，有可能從導軌31a、31b處脫落。作為該問題的對策，考慮了如下的結(jié)構(gòu)在第1到第3各自的運行通道L1～L3中，沿各自的運行通道在左右導軌31a、31b之間設置從下方向支撐帶子12的支持件，帶子12一邊由此支持件支撐，一邊運行。
由于設置了這樣的支持件，即使是「筋骨」弱的帶子12，也能可靠地防止其寬度方向的垂弛，避免帶子12從導軌31a、31b處脫落，可以穩(wěn)定地運行。
在第2運行通道L2中，由于帶子12的半導體片11的安裝面處于與支持件側(cè)對向的狀態(tài)，帶子12的回路配線面和半導體片11與支持件接觸，有可能損傷回路配線和半導體片11。
COF往往進行稱為「欠滿」(under fill)的樹脂涂敷。此涂敷方法不是將安裝在帶子12上的半導體片11整個包覆地涂敷樹脂，而是在帶子12上的半導體片11的側(cè)面部(全周或部分)如一筆寫下來那樣的涂敷樹脂的方法。涂敷的樹脂由于毛細管現(xiàn)象而流入到半導體片11的底面和帶子12的表面之間的空隙中。其結(jié)果是使半導體片11牢固地固定在帶子12上。
如上所述，組裝于圖4封裝系統(tǒng)的、過去的樹脂固化裝置3，是用于帶子12有一定厚度、其剛性也大的所謂「筋骨」強的帶子12而開發(fā)的固化裝置。
因此，若將這種樹脂固化裝置直接用于使用「筋骨」弱的帶子的TCP，則會發(fā)生上述之類的各種問題。
但是，對于進行「欠滿」的樹脂涂敷、同時采用「筋骨」弱的帶子的COF，若構(gòu)筑采用這類COF專用的樹脂固化裝置的封裝系統(tǒng)，從使用這種封裝系統(tǒng)生產(chǎn)半導體裝置方面來看，則需要分別準備能與各自相對應的封裝系統(tǒng)。而且，還需要用于設置各自裝置的空間，這在成本及設置空間方面會有許多浪費。
因此，本發(fā)明的目的是要提供一種僅對至今使用的「筋骨」強的帶子用樹脂固化裝置、和卷繞經(jīng)該樹脂固化裝置進行樹脂固化處理帶子的帶子卷繞裝置加以改良，就能使用于剛性小、即所謂「筋骨」弱的帶子的樹脂固化系統(tǒng)。
用于解決課題的手段本發(fā)明的樹脂固化系統(tǒng)由樹脂固化裝置和帶子卷繞裝置構(gòu)成。樹脂固化裝置又由下列部分組成對于采用樹脂涂敷裝置在帶子上涂敷的熱固性樹脂進行加熱的第1加熱區(qū)域，將通過此第1加熱區(qū)域的帶子朝和第1加熱區(qū)域相反的方向輸送、同時進行加熱的第2加熱區(qū)域，將通過此第2加熱區(qū)域的帶子朝和第2加熱區(qū)域相反的方向輸送、同時進行加熱的第3加熱區(qū)域，將通過此第3加熱區(qū)域的帶子送出到加熱爐外的第1帶子出口。帶子卷繞裝置是將從第1帶子出口送出的帶子卷繞的裝置。為了達到本發(fā)明的上述目的，在樹脂固化裝置中設置了將來自于第1加熱區(qū)域的帶子送出到加熱爐外的第2帶子出口；在帶子卷繞裝置中設置了將從第1帶子出口送出的帶子送到卷繞卷軸的第1送入輥、和將從第2帶子出口送出的帶子送到卷繞卷軸的第2送入輥。
這樣，本發(fā)明的樹脂固化裝置就設有2個帶子出口，即運行了多個運行通道進行熱固化處理后、將帶子送出到外部的第1帶子出口，和只運行了第1運行通道進行熱固化處理后、將帶子送出到外部的第2帶子出口。從而可以選擇性地使用其中的任何一個出口，可以根據(jù)帶子性質(zhì)的不同而進行對應的熱固化處理。
此外，其他的發(fā)明點是這類樹脂固化系統(tǒng)中，在第1加熱區(qū)域設有第1運行通道，此第1運行通道具有在其前進方向上的左右兩端支持帶子的2根導軌、和設在此2根導軌之間、從下方支撐通過第1運行通道的帶子的支持件。
這樣，只運行了此第1運行通道進行熱固化處理后，從第2帶子出口送出帶子進行熱固化處理，帶子由于有支持件從下方支撐，所以即使采用剛性小(「筋骨」弱)的帶子，也不會產(chǎn)生寬度方向的垂弛，不會發(fā)生從導軌處脫落的麻煩，能穩(wěn)定地運行。此外，帶子在此第1運行通道運行時，若使半導體安裝面朝上側(cè)運行，則支持件的存在不會對半導體片和帶子里面產(chǎn)生影響。
此外，在第1運行通道和第2帶子出口之間，最好形成延伸第1運行通道的運行通道。
若形成這樣的結(jié)構(gòu)，則帶子從第2帶子出口送出時，該帶子能可靠地從第1運行通道運行到第2帶子出口處。
另外，設有將第1運行通道運行的上述帶子導入上述第2加熱區(qū)域的反轉(zhuǎn)機構(gòu)、且該反轉(zhuǎn)機構(gòu)是輥時，該輥最好要用可改變其安裝位置的安裝結(jié)構(gòu)，安裝在輥安裝件上，從而在帶子于第1運行通道運行后從第2帶子出口送出時，使輥的周端從帶子的運行通道上脫離。
采用這樣的結(jié)構(gòu)后，將帶子從第2帶子出口送出時，輥的周端就不會接觸在運行中的帶子上，輥的周端不會損傷半導體片或是損傷帶子表面，使帶子能平穩(wěn)地運行。
在樹脂固化裝置中，該第1帶子出口和第2帶子出口如何選擇，要由熱固化處理對象的帶子種類來決定，剛性大的帶子時選擇第1帶子出口，剛性小的帶子時最好選擇第2帶子出口。
這樣，可以進行不同種類帶子的熱固化處理。將此樹脂固化裝置組裝在封裝系統(tǒng)，對于不同種類和性質(zhì)的帶子的熱固化處理工序就能在1臺樹脂固化裝置上進行。
選擇第2帶子出口的帶子，是具有剛性小的帶子的TCP用，其厚度最好為20μm～50μm。
這樣，采用極薄帶子的TCP就能采用過去常用的樹脂固化裝置來進行熱固化處理。
最好在第1帶子出口和第2帶子出口分別設有開閉自由的蓋子。
這樣，不使用一邊的基板送出口就能堵住，從而使樹脂固化裝置內(nèi)的熱量避免泄漏浪費，可減少樹脂固化裝置內(nèi)的溫度變化，能使溫度控制動作變得方便。此外，還能防止外部塵埃的侵入。
帶子卷繞裝置在導入了從第1帶子出口或第2帶子出口任何一方送出的上述帶子后，最好將該導入的帶子在保持按相同基準控制的規(guī)定垂弛量的狀態(tài)下，用卷繞卷軸進行卷繞。
采用這樣的結(jié)構(gòu)后，熱固化處理結(jié)束后的帶子的卷繞就能在不損傷帶子的情況下進行。而且，導入進來的帶子按相同基準控制規(guī)定的垂弛量，所以控制裝置的結(jié)構(gòu)也就變得不復雜，且垂弛量的控制也方便了。
除了上述發(fā)明點之外的發(fā)明點是為了使帶子處于保持規(guī)定垂弛量的狀態(tài)，設有檢測帶子垂弛量的垂弛量檢測手段，即是具有多個受光、發(fā)光元件和與之配對的多個反射鏡的垂弛量檢測手段，根據(jù)從該垂弛量檢測手段來的信號，進行卷繞卷軸的驅(qū)動控制，使垂弛量達到預先設定的范圍內(nèi)。
這樣，可以使垂弛量經(jīng)常保持在最佳狀態(tài)，在加熱處理結(jié)束后的帶子上不會加以不合適的力、也不會過分垂弛，可以在保持最佳垂弛量的狀態(tài)下進行卷繞動作。此外，由于利用了反射鏡，可將受光元件和發(fā)光元件配置在同一側(cè)，使連接受光元件和發(fā)光元件的電線容易安裝，同時電線的鋪設量也可減少，使內(nèi)部變得簡潔。
本發(fā)明的實施形態(tài)下面，對于本發(fā)明的樹脂固化系統(tǒng)的實施形態(tài)加以說明。


圖1是說明組裝了有關本發(fā)明實施形態(tài)的樹脂固化系統(tǒng)的封裝系統(tǒng)的圖。若將該封裝系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)大致劃分，則和圖4所示的封裝系統(tǒng)一樣，是由帶子供給裝置1、樹脂涂敷裝置2、構(gòu)成樹脂固化系統(tǒng)的樹脂固化裝置63及帶子卷繞裝置64所構(gòu)成。
本實施形態(tài)的樹脂固化系統(tǒng)，是對于帶子剛性大(「筋骨」強)、且需要充分加熱的TCP(一般、TAB)用的現(xiàn)有樹脂固化系統(tǒng)(圖4中的樹脂固化裝置3和帶子卷繞裝置4)進行改良，從而也能用于帶子剛性小(「筋骨」弱)的樹脂固化系統(tǒng)。
因此，圖1所示的帶子供給裝置1、樹脂密封裝置2可以和圖4的說明一樣，故對其各自的構(gòu)成元件給予和圖4相同的符號，其說明也就省略或簡單化，而對于構(gòu)成本發(fā)明樹脂固化系統(tǒng)的樹脂固化裝置63和帶子卷繞裝置64則詳細加以說明。此外，構(gòu)成該樹脂固化裝置63和帶子卷繞裝置64的構(gòu)成元件中，和圖4所示相同的部分則給予相同的符號。
本樹脂固化裝置63和圖4所示的樹脂固化裝置3一樣，其加熱爐30具有3段爐的結(jié)構(gòu)，形成第1運行通道L1、第2運行通道L2、第3運行通道L3。而且，對于具有「筋骨」強的帶子的TCP，采用上述第1運行通道L1、第2運行通道L2、第3運行通道L3，和以前相同的所謂3段爐進行加熱。但是，對于具有「筋骨」弱的帶子的TCP，可以采用第1運行通道L1的所謂1段爐進行加熱。
為了實現(xiàn)此目標，樹脂固化裝置63和帶子卷繞裝置64具有如下說明的結(jié)構(gòu)。此外，本實施形態(tài)中所用的帶子12的寬度為70mm，具有「筋骨」強的帶子的TCP時，其厚度為70μm，帶子是「筋骨」弱的帶子時，其厚度為20μm～50μm。
首先對于樹脂固化裝置63加以說明。
本樹脂固化裝置63的加熱爐30的結(jié)構(gòu)如上所述，具有由第1加熱區(qū)域Z1、第2加熱區(qū)域Z2、第3加熱區(qū)域Z3構(gòu)成的3段加熱區(qū)域，分別在第1加熱區(qū)域Z1形成第1運行通道L1、在第2加熱區(qū)域Z2形成第2運行通道L2、在第3加熱區(qū)域Z3形成第3運行通道L3，在上述第1至第3的運行通道L1～L3中，和過去一樣設有2根導軌31a、31b，由這2根導軌31a、31b支持帶子12的兩端。
在本實施形態(tài)中，第1至第3的運行通道L1～L3中，第1運行通道L1上在2根導軌31a、31b之間設有支持件131，該支持件131從下方向支撐第1運行通道L1上運行的帶子12。(參照圖1中虛線所示的圓形框B)
在第1運行通道L1中，在該第1運行通道L1的延長線上、且在作為第1帶子反轉(zhuǎn)機構(gòu)的第1反轉(zhuǎn)輥32的前方(帶子12前進方向的前方)設有延長運行通道L1’。該延長運行通道L1’設置時離設在第1運行通道L1的2根導軌31a、31b和存在于該導軌31a、31b之間的支持件131各自終端部E1有規(guī)定的間隔距離。
而且，該延長運行通道L1’上設有2根導軌31a、31b以及支持件131(參照圖中虛線所圍的圓形框C)，這些結(jié)構(gòu)構(gòu)件分別要延長到樹脂固化裝置63的側(cè)壁部附近(帶子卷繞裝置64側(cè)的側(cè)壁部附近)。
而且，在與構(gòu)成延長運行通道L1’的2根導軌31a、31b和支持件131的終端部E2相對的樹脂固化裝置63的側(cè)壁部，設有帶子出口132。即是在該樹脂固化系統(tǒng)使用「筋骨」弱的帶子12時，「筋骨」弱的帶子12從第1運行通道L1始，通過延長運行通道L1’從帶子出口132送出。
設在導軌31a、31b之間的支持件131如前所述，在使用「筋骨」弱的帶子12時、當TCP在該第1運行通道運行中，主要起到防止由于半導體片11的重量和加熱而引起寬度方向上的垂弛的作用。由此防止帶子12從導軌31a、31b處脫落。
這樣，本樹脂固化裝置63設有2個帶子出口，即作為熱固化處理后的帶子12的送出口的與第3運行通道L3終端部相對設置的帶子出口34；和與在第1運行通道L1的延長通道上作為將該第1運行通道L1延伸的運行通道而配置的延長運行通道L1’的終端部E2對向設置的帶子出口132。以下，將與第3運行通道L3的終端部對向設置的帶子出口34稱為第1帶子出口34，將與延長運行通道L1’的終端部E2對向設置的帶子出口132稱為第2帶子出口132。
在該第1帶子出口34及第2帶子出口132上分別設有開閉自由的蓋子133、134，當該第1帶子出口34及第2帶子出口132不使用時，就可以用各自的蓋子133、134將第1帶子出口34及第2帶子出口132堵住。
其理由如下。即在本樹脂固化系統(tǒng)中，在具有「筋骨」強的帶子12的TCP(即使用由COF或TAB等制造方法制得的TCP、「筋骨」強的帶子12)時，采用從第1到第3的運行通道L1～L3進行熱固化處理，熱固化處理后的帶子12從第1帶子出口34送出。此外，在使用由COF或TAB等制造方法制得的TCP、「筋骨」弱的帶子12時，在第1運行通道L1上運行進行熱固化處理，該熱固化處理后的帶子12經(jīng)過延長運行通道L1’從第2帶子出口132送出。這樣，在本樹脂固化系統(tǒng)中，根據(jù)熱固化處理對象的帶子的「筋骨」強弱，只能使用第1帶子出口34或第2帶子出口132中的任何一方的情況下，如果沒有蓋子133、134，則不使用的一方帶子出口則會處于開放狀態(tài)，樹脂固化裝置63內(nèi)部的熱量就要逃逸，溫度變化劇烈，從而導致溫度控制復雜。
此蓋子133、134可以是如同快門那樣上下或左右滑動開閉，也可以是用鉸鏈安裝的門如同旋轉(zhuǎn)圓弧那樣開閉。
在第1運行通道L1和其延長運行通道L1’之間，存在第1反轉(zhuǎn)輥32。該第1反轉(zhuǎn)輥32在本實施形態(tài)的樹脂固化裝置63中，在「筋骨」強的帶子12時，其周端的輥面存在于連結(jié)第1運行通道L1和其延長運行通道L1’的運行通道上。另一方面，對于「筋骨」弱的帶子12，采用本樹脂固化裝置63時，從第1運行通道L1過渡到延長運行通道L1’存在帶子12，第1反轉(zhuǎn)輥32的周端最好不要處于接觸帶子12的狀態(tài)。這是因為第1反轉(zhuǎn)輥32是沒有驅(qū)動力的輥，若其周端處于接觸帶子12的狀態(tài)，則會阻礙帶子12的運行，使帶子不能平穩(wěn)運行。
因此，帶子12從第1運行通道L1經(jīng)延長運行通道L1’、再經(jīng)過第2帶子出口132運行時，采用防止第1反轉(zhuǎn)輥32接觸帶子12的結(jié)構(gòu)。從第2帶子出口132排出帶子12的第1實施例是第1反轉(zhuǎn)輥32要用可改變其安裝位置的安裝機構(gòu)，安裝在輥安裝件上，從而使第1反轉(zhuǎn)輥32的周端能從連結(jié)第1運行通道L1和延長運行通道L1’的運行通道處脫離。該輥安裝機構(gòu)可有各種考慮，作為一例其結(jié)構(gòu)如下在作為安裝該第1反轉(zhuǎn)輥32的輥安裝件的支柱135上，設有安裝該第1反轉(zhuǎn)輥32中心軸32a的長孔(上下方向的長孔)136，通過將該第1反轉(zhuǎn)輥32中心軸32a的安裝位置在該長孔136內(nèi)的任意位置上固定，就能改變其(第1反轉(zhuǎn)輥32)安裝位置。
從第2帶子出口132排出帶子12的第2實施例(圖示省略)是第1反轉(zhuǎn)輥32裝脫自由地安裝在輥安裝件上，第1反轉(zhuǎn)輥32等具有從裝置上拆裝方便的結(jié)構(gòu)。在此實施例中，在用延長運行通道L1’所示的領域配設加熱器，該加熱器是紅外線加熱器，具體是陶瓷加熱器或燈絲加熱器等。該加熱器是為了放長第1運行通道L1的均熱長度。向1段爐的切換首先拆卸配設于反轉(zhuǎn)輥32和延長運行通道的加熱器等，然后，將和圖4所示相同的發(fā)熱體151、熱擴散板152、熱反射板153、導軌和支持件組裝在延長運行通道L1’的領域。此外，可以將發(fā)熱體151、熱擴散板152、熱反射板153、導軌和支持件裝配成部件，用部件進行調(diào)換。
在第1實施例中，如同具有「筋骨」強的帶子12的TCP那樣，在采用從第1到第3的運行通道L1～L3進行熱固化處理時，需要由第1反轉(zhuǎn)輥32進行反轉(zhuǎn)，所以第1反轉(zhuǎn)輥32要將其中心軸32a在長孔136內(nèi)位置決定后固定，使其周端處于接觸第1運行通道L1的位置。此外，如同具有「筋骨」弱的帶子12的TCP那樣，只采用第1運行通道L1和延長運行通道L1’時，因不需要第1反轉(zhuǎn)輥32，第1反轉(zhuǎn)輥32要在其中心軸32a在長孔136內(nèi)位置決定后固定，使其周端從連結(jié)第1運行通道L1和延長運行通道L1’的線上脫離。
樹脂固化裝置63除了上述的構(gòu)成要素之外，作為樹脂固化裝置當然還設有各種必需的構(gòu)成要素。但是，這些要素在說明本發(fā)明方面沒有特殊必要，因此也就在圖示中省略了。
下面，對于帶子卷繞裝置64加以說明。
本帶子卷繞裝置64具有下列各構(gòu)成要素與樹脂固化裝置63的第1帶子出口34對向設置的帶子導入口41(將其稱為第1帶子導入口41)和與樹脂固化裝置63的第2帶子出口132對向設置的帶子導入口141(將其稱為第2帶子導入口141)，將自第1帶子導入口41導入的帶子12送到前方并具有驅(qū)動力的送入輥42(將其稱為第1送入輥42)，將由該第1送入輥42送來的帶子12向下方導向的導向件43(將其稱為第1導向件43)，將自第2帶子導入口141導入的帶子12送到前方并具有驅(qū)動力的送入輥142(將其稱為第2送入輥142)，將由該第2送入輥142送來的帶子12向下方導向的導向件143(將其稱為第2導向件143)，在由第1或第2帶子導入口41、141中的任何一方的帶子導入口導入的帶子持有垂弛的狀態(tài)時卷繞該帶子12的卷繞卷軸44，檢測該帶子12的垂弛狀態(tài)的垂弛量檢測傳感器145，在由卷繞卷軸44卷繞帶子12時為了不使帶子12之間直接重疊而供給襯墊帶46的襯墊帶供給用卷軸47。
除了上述構(gòu)成要素之外，根據(jù)需要設有對帶子12和襯墊帶46的運行進行導向的幾個導向輥48等。此外，還設有許多其他的構(gòu)成要素，但這些要素在說明本發(fā)明方面沒有特殊必要，因此就省略了圖示。
上述垂弛量檢測傳感器145由下列要素構(gòu)成為了能檢測帶子的垂弛量在3階段的狀態(tài)、分別具有發(fā)光和受光兩種機能的3個光電變換元件(第1光電變換元件PR1、第2光電變換元件PR2、第3光電變換元件PR3)，以及與這些第1至第3光電變換元件PR1、PR2、PR3形成配對而對向配置的3個反射鏡M1、M2、M3。各光電變換元件PR1、PR2、PR3接受由各自反射鏡M1、M2、M3反射的自身的光，并將從這些光電變換元件PR1、PR2、PR3輸出的信號給與圖中未示的信號處理部。因此，該信號處理部檢測帶子12的垂弛量，并根據(jù)該垂弛量對卷繞卷軸44進行控制。
下面，對于根據(jù)帶子12的垂弛量控制帶子12的卷繞參照圖2加以說明。圖2是取出圖1中的帶子卷繞裝置64的垂弛量檢測傳感器145和帶子12的垂弛部分、放大后的示意圖，和圖1相同部分就給予相同符號。
上述第1至第3的光電變換元件PR1～PR3和與其對應的3個反射鏡M1、M2、M3中，第1光電變換元件PR1和與其配對的反射鏡M1設置在上段，第2光電變換元件PR2和與其配對的反射鏡M2設置在中段，第3光電變換元件PR3和與其配對的反射鏡M3設置在下段。
這時，作為帶子12的垂弛量，以帶子12的垂弛底部(給予12a的符號)位于設置在中段的第2光電變換元件PR2和設置在下段的第3光電變換元件PR3之間為最合適的垂弛量，若垂弛位置超過設置在下段的第3光電變換元件PR3的話，則其垂弛量過多，若是存在于比設置在中段的第2光電變換元件PR2高的位置，則垂弛量過少。
第1光電變換元件PR1具有限制器的功能，可檢測某些異常的發(fā)生。這類異常諸如有卷繞卷軸44停止卷繞等異常。
在此例子中，若帶子12存在于第1至第3的光電變換元件PR1～PR3和與其配對的反射鏡M1～M3之間的話，從第1至第3光電變換元件PR1、PR2、PR3發(fā)出的光就不會到達分別配對的反射鏡M1、M2、M3上，光電變換元件PR1、PR2、PR3自身發(fā)出的光就不會返回，從第1至第3光電變換元件PR1～PR3輸出顯示帶子12存在的信號；相反，各自的光電變換元件PR1、PR2、PR3發(fā)出的光返回時，則輸出顯示不存在帶子12的信號。
帶子12是否存在于各自的光電變換元件PR1、PR2、PR3和反射鏡M1、M2、M3之間，實際上是用返回的光量多少來判斷的，當返回到各自的光電變換元件PR1、PR2、PR3的光量為預先設定的極限值以上時，就判斷為不存在帶子12。這里不存在帶子12時表現(xiàn)為「光返回」，存在帶子12時表現(xiàn)為「光不返回」。
對于該帶子12的垂弛量控制的具體例子加以說明。如圖2(A)所示，當帶子12的底部12a處在第3光電變換元件PR3下方的狀態(tài)時，從第3光電變換元件PR3發(fā)出的光不返回，就可以判斷為帶子12至少垂弛至第3光電變換元件PR3以下。
也就是說，若自第3光電變換元件PR3發(fā)出的光不返回到自身，就可以判斷為帶子12至少垂弛到第3光電變換元件PR3以下，判斷為垂弛量過多，從而進行卷繞卷軸44的控制，使帶子12的卷繞量增多。
進行這樣的卷繞控制后，帶子12的垂弛量就變少。接著，帶子若達到圖2(B)所示的狀態(tài)，第2光電變換元件PR2發(fā)出的光返回到自身，就可以判斷為帶子12的底部12a位于第2光電變換元件PR2以上的位置。這時，判斷為帶子12的垂弛量變少，為了增加垂弛量，要停止基板卷繞卷軸44的卷繞驅(qū)動。
也就是說，在本實施形態(tài)中，圖2(C)所示的狀態(tài)(帶子12的底部12a處于第3光電變換元件PR3和第2光電變換元件PR2之間的狀態(tài))為最合適的帶子垂弛量，卷繞卷軸44的驅(qū)動控制就是要達到這樣的垂弛量。
第1光電變換元件PR1是在前述的卷繞卷軸44的卷繞停止異常時，為了能與帶子12的垂弛量異常變少時能夠?qū)O置的。例如，若帶子12的底部12a如圖2(D)所示，達到比第1光電變換元件PR1更高的位置時，則自身發(fā)出的光就返回到該第1光電變換元件PR1上。
這時，信號處理部判斷為異常，例如在此時若有卷繞卷軸44進行卷繞動作的話，就緊急停止該卷繞動作。此外，也可以考慮驅(qū)動卷繞卷軸44的驅(qū)動裝置的卷繞速度和樹脂固化裝置63以前工序的帶子12輸送有停滯等異常，就可以考慮停止整個封裝系統(tǒng)，或是用報告發(fā)生異常的手段、例如用蜂鳴器等發(fā)出異常檢測聲音，或者用燈光閃爍來顯示異常。
下面，對于此類結(jié)構(gòu)的本發(fā)明實施形態(tài)的樹脂固化系統(tǒng)(樹脂固化裝置63和帶子卷繞裝置64)的操作方法及其動作加以說明。本樹脂固化系統(tǒng)是作為主要構(gòu)成要素組裝在如圖1所示的封裝系統(tǒng)中。
首先，在組裝了本樹脂固化系統(tǒng)的封裝系統(tǒng)中，使用剛性大的(「筋骨」強的)帶子12時，要通過樹脂固化裝置63的3段爐、即通過第1運行通道L1、第2運行通道L2、第3運行通道L3進行加熱處理。
因此，這時作為起動樹脂固化裝置63的前階段操作，是要用第1反轉(zhuǎn)輥32的反轉(zhuǎn)使帶子12從第1運行通道L1通向第2運行通道L2。再用第2反轉(zhuǎn)輥33(第2帶子反轉(zhuǎn)機構(gòu))的反轉(zhuǎn)使帶子12通過第3運行通道L3，然后將其前端部從帶子出口34送出。接著通過帶子卷繞裝置64的第1送入輥42，沿著第1導向件43朝下方垂弛，然后將其前端部裝在卷繞卷軸44上。這一連串的操作是由操作人員進行的。
在對具有「筋骨」強的帶子12的TCP進行熱固化處理時，即通過第1～第3的運行通道L1～L3進行熱固化處理時，設在第2帶子出口132側(cè)的蓋子134處于關閉狀態(tài)。
進行了上述操作之后，樹脂固化裝置63的加熱爐30開始加熱動作，帶子12在第1運行通道L1、第2運行通道L2、第3運行通道L3中運行時被加熱，涂敷的樹脂被熱固化處理。對于采用加熱進行熱固化處理，由于與本發(fā)明的要點沒有直接關系，所以該說明就省略了。
這時帶子12的送入動作是由設在帶子卷繞裝置64中的第1送入輥42和設在封裝裝置2中的送入輥21通過同步旋轉(zhuǎn)進行的。
在帶子卷繞裝置64中，由樹脂固化裝置63送來的帶子12，通過第1導向件43朝下方輸送，在保持規(guī)定量的垂弛狀態(tài)下卷繞在卷繞卷軸44上。
在此動作狀態(tài)下，帶子卷繞裝置64由第1～第3的光電變換元件PR1～PR3和與其配對的反射鏡M1～M3，進行上述帶子12的垂弛量檢測，并根據(jù)被檢測的垂弛量進行卷繞動作的控制。
在本實施形態(tài)中，如前所述在正常動作時，控制卷繞卷軸44，使帶子12的垂弛量處在第3光電變換元件PR3和第2光電變換元件PR2之間。若由于某種原因帶子12的垂弛量處在比第1光電變換元件PR1還要高的位置，這是異常，要緊急停止卷繞卷軸44的卷繞，或是發(fā)出報告異常信號之類的動作。
另一方面，在圖1所示的封裝系統(tǒng)中，使用剛性小的(「筋骨」弱的)帶子12時，樹脂固化裝置63只要1段爐、即是僅通過第1運行通道L1進行熱固化處理。
因此，這時作為起動樹脂固化裝置63的前階段操作，如圖3所示，將帶子12通過第1運行通道L1和延長運行通道L1’，其前端部從第2帶子出口132送出，然后通過帶子卷繞裝置64的第2送入輥142，沿著第2導向件143朝下方垂弛，再將其前端裝在卷繞卷軸44上。這時的此類初始操作是由操作者進行的。
因此，在「筋骨」弱的帶子12時，帶子12從第1運行通道L1通過延長運行通道L1’，從第2帶子出口132送出，然后進入帶子卷繞裝置64，不需要第1反轉(zhuǎn)輥32。
這時，若第1反轉(zhuǎn)輥32處在原來的位置(第1反轉(zhuǎn)輥32的周端接觸連結(jié)第1運行通道L1和延長運行通道L1’的運行通道的位置)，則帶子12就不能平穩(wěn)地運行，所以第1反轉(zhuǎn)輥32要改變安裝位置，使其周端從帶子12的運行通道處脫離。如前所述，這可以將該第1反轉(zhuǎn)輥32拆卸，或者是在安裝該第1反轉(zhuǎn)輥32的支柱135的長孔136上，將第1反轉(zhuǎn)輥32的安裝位置調(diào)整到該長孔136內(nèi)的上部。
像這樣只用第1運行通道L1進行熱固化處理時，設在樹脂固化裝置63中的第1帶子出口34處的蓋子133不使用，處于關閉狀態(tài)。
進行了上述操作后，樹脂固化裝置63開始進行熱固化處理，帶子12在第1運行通道L1處運行時被加熱，涂敷的樹脂被熱固化處理。這里使用「筋骨」弱的帶子12的TCP、如COF的場合，僅通過第1運行通道L1就使樹脂固化。熱固化處理的實施要選擇與規(guī)定加熱時間相對應的帶子送入速度。
這時的帶子12的送入動作，由設在帶子卷繞裝置64上的第2送入輥142和設在封裝裝置2側(cè)的送入輥21通過同步旋轉(zhuǎn)進行的。
在該第1運行通道L1和延長運行通道L1’中，在左右兩根導軌31a、31b之間設有支持件131，用此支持件131支撐帶子12的里面(下側(cè)面)，即使是「筋骨」弱的帶子也不會產(chǎn)生垂弛，能平穩(wěn)地運行。在此第1運行通道L1上，帶子12是在半導體片11的安裝面面向上側(cè)的狀態(tài)下運行的，所以不用擔心支持件131會損傷半導體片11或損傷帶子表面。
在帶子卷繞裝置64中，帶子12由第2送入輥142和第2導向件143朝下方輸送，在保持規(guī)定垂弛量的狀態(tài)下卷繞在卷繞卷軸44上。從第2送入輥142到卷繞卷軸44所進行的動作，即是根據(jù)垂弛量的檢測、控制卷繞卷軸44的動作，和前述從第1送入輥42到卷繞卷軸44的動作相同，對于該動作此處就省略說明了。
如上所述，本實施形態(tài)中樹脂固化裝置63側(cè)設有2個帶子出口一是迄今為止的樹脂固化裝置所存在的第1～第3運行通道L1～L3和從該第3運行通道L3將帶子12送出到外部的第1帶子出口34；其二是設有延長第1運行通道L1的延長運行通道L1’、同時從該延長運行通道L1’可將帶子12直接送出到外部的第2帶子出口132。即樹脂固化裝置63的結(jié)構(gòu)可以選擇作為3段爐用或是作為1段爐用。
因此，根據(jù)作為處理對象的帶子12，可以任意選擇3段爐和1段爐。例如；使用「筋骨」強的帶子12時，該樹脂固化裝置63作為3段爐使用，使用「筋骨」弱的帶子12時，該樹脂固化裝置63作為1段爐使用。這時，在第1運行通道L1和延長運行通道L1’上，在左右2根導軌31a、31b之間設有支持件131，所以即使是「筋骨」弱的帶子12，也不會因為半導體片11的重量和加熱等而引起寬度方向的垂弛，也不會從導軌31a、31b處脫落。支持件131除了配設在帶子12寬度的中央一處以外，也可以配設在從帶子寬度中央靠端部的兩處。
第1反轉(zhuǎn)輥32可以方便地改變其安裝位置，在采用第1運行通道L1和延長運行通道L1’進行熱固化處理時，將第1反轉(zhuǎn)輥32處于從帶子12的運行通道脫離的位置，因此第1反轉(zhuǎn)輥32的存在并不妨礙帶子的運行。
另一方面，在帶子卷繞裝置64側(cè)，為了能夠?qū)谏鲜鰳渲袒b置63的結(jié)構(gòu)，作為接受從樹脂固化裝置63送出的帶子12的帶子導入口，除了過去已設置的第1帶子導入口41之外，還設有當樹脂固化裝置63作為1段爐使用時、與樹脂固化裝置63側(cè)的第2帶子出口132對應的第2帶子導入口141。
對于上述第1及第2帶子導入口41、141，作為送入輥設有第1及第2送入輥42、142、以及將帶子12導向下方的導向件43、143。而且，無論是從哪個帶子導入口41、141導入的帶子12，在下方保持垂弛的狀態(tài)下，用卷繞卷軸44卷繞。此外，具有監(jiān)視此垂弛量的垂弛量檢測傳感器145，能保持適當?shù)拇钩诹俊?br> 上述的實施形態(tài)是本發(fā)明合適的實施形態(tài)。但是，本發(fā)明只要在不超脫其權(quán)利要求的范圍內(nèi)可以有各種變形的實施形態(tài)。例如，前述的實施形態(tài)中，第1～第3的運行通道L1～L3在各自的段中為水平的運行通道。但是，上述L1～L3在各自的段中并不限定為水平運行通道，例如各自的運行通道L1～L3在各自的段中也可以形成具有規(guī)定傾斜度的鋸齒形運行通道。
在上述實施形態(tài)中，樹脂固化裝置63的3段爐熱固化處理順序為從下段(第1運行通道L1)向上段的順序，但是也可以與此相反，從上段向下段的熱固化處理順序。這時，從封裝裝置2送出的帶子12首先進入最上段(將此定為第1運行通道L1)，以后依次朝下一段(從第2運行通道L2到第3運行通道L3)運行，為了實現(xiàn)本發(fā)明，在最上段的第1運行通道L1設有如前所述實施形態(tài)所說明那樣的延長運行通道L1’和第2帶子出口132，帶子卷繞裝置64也可具有與此相對應的結(jié)構(gòu)。此外，延長運行通道L1’在前述實施形態(tài)中是從第1運行通道L1直接在水平方向延長的運行通道，但是也可以不是水平方向、例如向上方傾斜或下方傾斜延長的運行通道。
在前述的實施形態(tài)中，作為構(gòu)成樹脂固化系統(tǒng)的樹脂固化裝置63的加熱爐30是以3段爐的例子加以說明。但是，并不限于3段爐、只要具有復數(shù)段(不僅是3段、5段之類的奇數(shù)，也可以是偶數(shù)段)的樹脂固化裝置的加熱裝置，都可以適用。當是偶數(shù)段時，一旦將從樹脂固化裝置排出的帶子12不通過該樹脂固化裝置的加熱爐30時，需要有回到帶子卷繞裝置側(cè)的運行通道。
在前述的實施形態(tài)中，將3段爐作為1段爐使用時，使第1反轉(zhuǎn)輥32移動到上方，但是也可以將第1反轉(zhuǎn)輥32的位置固定。這時，使第2帶子出口132的高度低于第1運行通道L1的高度，在從第1運行通道L1到第2帶子出口132之間帶子12不接觸第1反轉(zhuǎn)輥32。例如，作為1段爐使用時，將延長運行通道L1’的支持件131設置成隨著朝向第2帶子出口132向下方傾斜，這樣，在從第1運行通道L1到第2帶子出口132之間，帶子12就可以不接觸或者基本不接觸第1反轉(zhuǎn)輥32。此外，作為1段爐使用時，可考慮使第1運行通道L1移向下方，從而將延長運行通道L1’和第1運行通道L1成一直線狀；作為3段爐使用時，可考慮將第1運行通道L1移向上方。
垂弛量檢測傳感器145由第1～第3光電變換元件PR1～PR3和與此配對的反射鏡所構(gòu)成，但也可以如過去那樣，由發(fā)光元件和與此配對的受光元件構(gòu)成。此外，檢測手段也并不限定在3段。
段數(shù)的切換也可以不是帶子12的「筋骨」強度的強弱，而是考慮所使用的樹脂種類和樹脂量的任意一方或雙方，從而決定為3段運行通道或1段運行通道。此外，也可以考慮帶子12的「筋骨」強度和所使用的樹脂兩者，或是考慮樹脂的涂敷方法來選擇3段運行通道或1段運行通道。在處理TAB帶子時，將支持件131移向下方，避免和帶子里面的器件孔附近的樹脂接觸。另一方面，處理「筋骨」弱的COF帶子時，也可將支持件131上升，回到原來的位置。此外，支持件131的位置可針對帶子12的種類變更為下段、中段、上段三個位置，或者是可以無級調(diào)整支持件131上下方向的位置。
在上述實施形態(tài)中，對于使用于TAB和COF的帶子12的寬度為70mm的場合作了說明，但帶子的寬度并不限定于此。這時，可以改變導向帶子12的導軌寬度，從而可以對應各種寬度的帶子12。
在上述實施形態(tài)中，作為具有所謂「筋骨」強的帶子12的例子是說明了采用TAB的TCP，作為具有所謂「筋骨」弱的帶子12的例子是說明了采用欠滿的COF的TCP。但是，在本發(fā)明的樹脂固化系統(tǒng)中能夠使用的帶子12并不限于這些，TAB用帶子中也有「筋骨」弱的，COF用帶子中也有「筋骨」強的，能夠?qū)诟鞣NTCP用的帶子12。
帶子出口的形狀是橫100mm×縱15mm的近似矩形。第1帶子出口34和第2帶子出口132可以是相同形狀、也可以是不同形狀。導軌配設在帶子出口34、132的左右兩端，且延伸到加熱爐30外。第1帶子導入口41和第2帶子導入口141除了分別設置之外，也可以合并設置1個帶子導入口。
帶子供給卷軸14和帶子卷繞卷軸44的卷繞半徑(開始卷繞帶子時半徑、卷到卷軸上的帶子的最小半徑)的大小以電氣配線不會產(chǎn)生在實用上成為問題的永久變形為宜。但是，在帶子供給裝置1和帶子卷繞裝置4中將帶子垂弛、同時輸送帶子時，若由于帶子垂弛而產(chǎn)生的帶子曲率半徑比卷軸的卷繞半徑小，則配設于帶子上的電氣配線有時會產(chǎn)生永久變形。因此，帶子供給裝置和帶子卷繞裝置中，由于帶子垂弛而產(chǎn)生的帶子曲率半徑不能比卷軸的卷繞半徑小。
另一方面，由于帶子卷繞裝置64卷繞部分樹脂密封的帶子，所以樹脂密封的電氣配線和樹脂未密封的電氣配線的境界區(qū)域的彎曲容易變大，配設于帶子的電器配線容易產(chǎn)生永久變形。因此，在帶子卷繞裝置64中，與帶子供給裝置1比較，由于帶子的垂弛而產(chǎn)生的曲率半徑要放大。
在伴隨帶子垂弛而不縮小發(fā)生的曲率半徑的機構(gòu)中，可以考慮擴大導輥的間隔、放大帶子曲率半徑的機構(gòu)或者考慮帶子下垂的限制機構(gòu)，從而縮小帶子的垂弛量、使帶子不過度下垂到下方。前者如圖1的帶子卷繞裝置4所示，需要大的空間，這樣裝置變大。后者需要提高帶子的送入·卷繞控制精度和頻繁地進行帶子的輸送和停止，但具有帶子來回的空間減小、裝置小型化的優(yōu)點。
在本發(fā)明的帶子卷繞裝置4中，帶子的垂弛機構(gòu)除了圖1及圖3所示的下垂到下方的機構(gòu)之外，也可以是帶子下垂限制機構(gòu)。帶子下垂限制機構(gòu)是把由第1帶子出口34送出的帶子，從送入輥42直接送到卷繞卷軸44。其間，在帶子的曲率半徑不小于卷繞卷軸44的帶子卷繞半徑的范圍內(nèi)，帶子稍有垂弛。卷繞帶子時，若在帶子上作用較大的外力，則會使產(chǎn)品損傷，所以要控制帶子自重以外的張力不加在帶子上。由第2帶子出口送出的帶子從送入輥142送到卷繞卷軸44，和上述同樣地進行卷繞。
此類帶子下垂限制機構(gòu)并不限定1段爐和3段爐組裝的加熱爐，無論是1段爐還是3段爐都有效。采用該機構(gòu)后，帶子供給裝置和帶子卷繞裝置的尺寸可縮小，封裝裝置的全長能縮短。
熱反射板153可以用作為鏡面的不銹鋼(如SUS304)等金屬組成的爐底或爐頂來代替。如果爐內(nèi)的底、側(cè)壁和頂為鏡面，則除了可以削減結(jié)構(gòu)零件(熱反射板和安裝工具等)之外，還具有能在短時間內(nèi)均勻加熱被涂敷的樹脂的優(yōu)點。尤其是3段爐時，在反轉(zhuǎn)輥32彎曲帶子12前被涂敷的樹脂就必須固化到不從帶子或半導體片上剝落的程度。衡量3段爐的帶子送入速度(與封裝系統(tǒng)的生產(chǎn)性成正比)是第1加熱區(qū)域。爐內(nèi)的底、側(cè)壁和頂如果為鏡面，則涂敷的樹脂在第1加熱區(qū)域受到上下左右均勻的加熱，在短時間內(nèi)達到規(guī)定溫度。這樣，就能縮短第1加熱區(qū)域的長度，并縮短封裝系統(tǒng)的全長。爐內(nèi)的底、側(cè)壁和頂為鏡面并不限定于1段爐和3段爐組裝的加熱爐，無論是1段爐還是3段爐等多段爐都有效。
發(fā)明效果如上所述，本發(fā)明的樹脂固化系統(tǒng)，對于「筋骨」強度不同的帶子，只要在1個系統(tǒng)中就能進行封裝工序和以后的熱固化處理工序，所以使用這樣系統(tǒng)的企業(yè)可以平抑設備投資，而且還能有效利用設置空間。
附圖簡單說明圖1所示的是本發(fā)明實施形態(tài)、組裝了本發(fā)明樹脂固化系統(tǒng)的封裝系統(tǒng)的整體構(gòu)成圖。
圖2是說明圖1所示樹脂固化系統(tǒng)的卷繞裝置中、根據(jù)帶子垂弛量控制帶子卷繞的圖。
圖3是在圖1所示的封裝系統(tǒng)整體構(gòu)成中，樹脂固化裝置只用第1運行通道進行熱固化處理時的帶子運行狀況和其動作的說明圖。
圖4是過去的封裝系統(tǒng)的整體構(gòu)成圖。
圖5是圖4中的第1運行通道及第3運行通道的帶子運行狀態(tài)和第2運行通道的帶子運行狀態(tài)的說明圖。
符號的說明1帶子供給裝置2封裝裝置11 半導體片12 帶子23 封裝部21 送入輥22 張緊用輥30 加熱爐31a、31b 導軌
32 第1反轉(zhuǎn)輥(帶子反轉(zhuǎn)機構(gòu))33 第2反轉(zhuǎn)輥34 第1帶子出口131 支持件132 第2帶子出口133、134 蓋子41 第1帶子導入口42 第1送入輥43 第1導向件44 卷繞卷軸63 樹脂固化裝置(樹脂固化系統(tǒng)一部分)64 帶子卷繞裝置(樹脂固化系統(tǒng)一部分)141 第2帶子導入口142 第2送入輥143 第2導向件145 垂弛量檢測傳感器L1 第1運行通道L2 第2運行通道L3 第3運行通道L1’ 延長運行通道(對第1運行通道L1延伸的運行通道)Z1 第1加熱區(qū)域Z2 第2加熱區(qū)域Z3 第3加熱區(qū)域
權(quán)利要求
1.一種樹脂固化系統(tǒng)，其構(gòu)成包括樹脂固化裝置和帶子卷繞裝置，其中上述樹脂固化裝置的組成有以下各部，即對采用樹脂涂敷裝置涂敷在帶子上的熱固性樹脂進行加熱的第1加熱區(qū)域，將通過此第1加熱區(qū)域的上述帶子朝與第1加熱區(qū)域相反的方向輸送、同時進行加熱的第2加熱區(qū)域，將通過此第2加熱區(qū)域的上述帶子朝和第2加熱區(qū)域相反的方向輸送、同時進行加熱的第3加熱區(qū)域，以及將通過此第3加熱區(qū)域的上述帶子送出到加熱爐外的第1帶子出口；上述帶子卷繞裝置卷繞由上述第1帶子出口送出的上述帶子；另，上述樹脂固化裝置還設有將來自于上述第1加熱區(qū)域的上述帶子送出到上述加熱爐外的第2帶子出口，上述帶子卷繞裝置還設有將由上述第1帶子出口送出的上述帶子送到卷繞卷軸的第1送入輥、和將由上述第2帶子出口送出的上述帶子送到上述卷繞卷軸的第2送入輥。
2.如權(quán)利要求1所述的樹脂固化系統(tǒng)，其特征是在前述第1加熱區(qū)域設有第1運行通道，此第1運行通道具有在其前進方向上的左右兩端支持前述帶子的2根導軌、和設在此2根導軌之間并從下方支撐通過此第1運行通道的前述帶子的支持件。
3.如權(quán)利要求1或2所述的樹脂固化系統(tǒng)，其特征是在前述第1運行通道和前述第2帶子出口之間，形成有將前述第1運行通道延伸的運行通道。
4.如權(quán)利要求1所述的樹脂固化系統(tǒng)，其特征是設有將走過前述第1運行通道的前述帶子導入前述第2加熱區(qū)域的反轉(zhuǎn)機構(gòu)，且當該反轉(zhuǎn)機構(gòu)是輥時，該輥用可改變其安裝位置的安裝機構(gòu)，安裝在輥安裝件上，從而在前述帶子于前述第1運行通道運行后、從前述第2帶子出口送出時，使上述輥的周端從前述帶子的運行通道上脫離。
5.如權(quán)利要求1所述的樹脂固化系統(tǒng)，其特征是在前述樹脂固化裝置中，如何選擇其第1帶子出口和第2帶子出口，由熱固化處理對象的帶子種類來決定，其剛性大的帶子時選擇前述第1帶子出口，其剛性小的帶子時選擇前述第2帶子出口。
6.如權(quán)利要求5所述的樹脂固化系統(tǒng)，其特征是選擇前述第2帶子出口的帶子是具有帶子剛性小的TCP用，其厚度為20μm～50μm。
7.如權(quán)利要求1所述的樹脂固化系統(tǒng)，其特征是在前述第1帶子出口及前述第2帶子出口上分別設有開閉自由的蓋子。
8.如權(quán)利要求1所述的樹脂固化系統(tǒng)，其特征是前述帶子卷繞裝置在導入了從前述第1帶子出口或前述第2帶子出口的任何一方送出的前述帶子后，將該導入的帶子在保持按相同基準控制的規(guī)定垂弛量的狀態(tài)下，用卷繞卷軸進行卷繞。
9.如權(quán)利要求8所述的樹脂固化系統(tǒng)，其特征是為了使前述帶子處于保持規(guī)定垂弛量的狀態(tài)，設有檢測前述帶子垂弛量的垂弛量檢測手段，即是具有多個受光、發(fā)光元件和與其配對的多個反射鏡的垂弛量檢測手段，并根據(jù)來自于該垂弛量檢測手段的信號，進行前述卷繞卷軸的驅(qū)動控制，使前述垂弛量達到預先設定的范圍內(nèi)。
全文摘要
本發(fā)明的樹脂固化系統(tǒng)對于剛性不同的帶子具有成本低、省空間的優(yōu)點，其設有樹脂固化裝置63和帶子卷繞裝置64。其中樹脂固化裝置有用于加熱帶子12的第1～3運行通道L1～L3，通過運行通道L1～L3時進行熱固化處理后的帶子12從第1帶子出口34送出；帶子卷繞裝置將由第1帶子出口34送出的帶子12，從第1帶子導入口41導入后卷繞在卷繞卷軸44上。樹脂固化裝置63除了第1帶子出口34之外，還有在第1運行通道L1運行后能將該帶子12送出到外部的第2帶子出口132。帶子卷繞裝置64除了第1導入口41之外，也有能將由第2帶子出口132送出的帶子12導入的第2帶子導入口141。
文檔編號B29L9/00GK1482657SQ0315309
公開日2004年3月17日 申請日期2003年8月7日 優(yōu)先權(quán)日2002年8月8日
發(fā)明者丸山俊 申請人:愛立發(fā)株式會社