本發(fā)明涉及一種容器輸送設(shè)備，具備：第1裝置，具備收納物品的容器被運出的運出部；第2裝置，具備前述容器被運入的運入部；輸送裝置，將前述容器沿著輸送路徑從前述第1裝置輸送到前述第2裝置；供給裝置，將調(diào)整前述容器的內(nèi)部的環(huán)境的調(diào)整用氣體向前述容器的內(nèi)部供給。

背景技術(shù)：

作為上述第1裝置或第2裝置的例子，在特開2015－012042號公報（專利文獻1）中，記載有保管收納半導(dǎo)體基板的容器的保管擱架。專利文獻1的保管擱架具備多個容納容器的容納部，并且具備對保管的容器供給用來防止半導(dǎo)體基板的氧化或污損的氮氣作為填充用氣體的供給裝置。

專利文獻1那樣的保管擱架被設(shè)置在半導(dǎo)體制造設(shè)備中?？墒?，在半導(dǎo)體制造設(shè)備中，第1裝置和第2裝置不一定總是接近設(shè)置，有需要在設(shè)置在離開的位置處的第1裝置與第2裝置之間輸送容器的情況。另外，作為第1裝置和第2裝置被設(shè)置在離開的位置處的情況，例如如特開2013－245032號公報（專利文獻2）所示，可以考慮存在多個半導(dǎo)體制造設(shè)備的作業(yè)區(qū)、設(shè)置有第1裝置的作業(yè)區(qū)和設(shè)置有第2裝置的作業(yè)區(qū)是不同的作業(yè)區(qū)的情況。在專利文獻2中，作為如上述那樣跨越不同的作業(yè)區(qū)輸送容器的輸送裝置，使用頂棚輸送車、或?qū)⑤斔蛯ο笪镙d置在被載置部上并使該被載置部沿著輸送路徑移動的輸送機。

但是，在專利文獻2所示那樣的輸送裝置中，在跨越多個裝置輸送容器的期間中，不能對容器進行氮氣的填充。因此，如果在輸送裝置中的輸送中需要的時間較長，則容器內(nèi)的惰性氣體的濃度有可能下降，有難以將容器的內(nèi)部維持為適合于半導(dǎo)體基板的品質(zhì)維持的環(huán)境的問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

所以，希望有即使第1裝置與第2裝置之間的輸送時間較長、也容易將容器的內(nèi)部維持為適合于收納物品的品質(zhì)維持的環(huán)境的容器輸送設(shè)備。

有關(guān)本公開的容器輸送設(shè)備具備：第1裝置，具備收納物品的容器被運出的運出部；第2裝置，具備前述容器被運入的運入部；輸送裝置，將前述容器沿著輸送路徑從前述第1裝置輸送到前述第2裝置；及供給裝置，將向前述容器的內(nèi)部填充的填充用氣體向前述容器的內(nèi)部供給。

前述容器具備形成有氣體能夠在該容器的外部與內(nèi)部之間流通的流通孔的流通孔形成部。

前述供給裝置具備具有氣體流通自如的流通路的連接部、和使前述填充用氣體向前述流通路流通的填充用氣體供給源。

前述連接部構(gòu)成為，向避讓到在前述輸送路徑中移動的容器的移動區(qū)域的外部的非連接狀態(tài)、和侵入到前述移動區(qū)域的內(nèi)部來與前述容器的流通孔形成部連接的連接狀態(tài)切換自如。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過將連接部從非連接狀態(tài)切換為連接狀態(tài)，能夠使避讓到由輸送裝置輸送的容器的移動區(qū)域的外部的連接部進入到移動區(qū)域的內(nèi)部，成為連接部連接在容器的流通孔形成部上的狀態(tài)。由此，能夠在從第1裝置朝向第2裝置輸送容器的途中將填充用氣體向容器的內(nèi)部供給。

因而，即使第1裝置與第2裝置之間的輸送時間較長，也能夠?qū)⑷萜鞯膬?nèi)部維持為適合于收納物品的品質(zhì)維持的環(huán)境。

有關(guān)本公開的技術(shù)的進一步的特征和優(yōu)點，通過參照附圖記述的以下的例示性且非限定性的實施方式的說明會變得更明確。

附圖說明

圖1是具備容器輸送設(shè)備的半導(dǎo)體制造設(shè)備的概略俯視圖。

圖2是表示容器輸送設(shè)備的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。

圖3是半導(dǎo)體輸送容器的部分剖開主視圖。

圖4是表示第1實施方式的輸送機單元的主視圖。

圖5是表示向棟間輸送輸送機合流的合流部分的俯視圖。

圖6是表示從棟間輸送輸送機分支的分支部分的俯視圖。

圖7是控制塊圖。

圖8是流程圖。

圖9是表示第2實施方式的輸送機單元的主視圖。

圖10是具備第2實施方式的輸送機單元的合流部分的俯視圖。

圖11是具備另一實施方式的輸送機單元的合流部分的俯視圖。

具體實施方式

〔第1實施方式〕

以下，基于附圖說明將容器輸送設(shè)備應(yīng)用到半導(dǎo)體制造設(shè)備中的第1實施方式。

如圖1所示，本實施方式的半導(dǎo)體制造設(shè)備具備把持設(shè)在收納作為物品的半導(dǎo)體基板u的容器b（參照圖2、圖3）的上端的凸緣bf而輸送容器b的頂棚輸送車v行進的行進軌道r、和具備能夠在與上述頂棚輸送車v之間交接容器b的運入運出端口ep的保管庫s1及處理裝置p1。這些行進軌道r、保管庫s1及處理裝置p1設(shè)置在具有被確保了規(guī)定的空氣潔凈度的空間的第1房屋f1的內(nèi)部中。此外，同樣在具有被確保了規(guī)定的空氣潔凈度的空間的第2房屋f2的內(nèi)部中設(shè)置有行進軌道r和保管庫s2及處理裝置p2。

保管庫s1具備多個能夠容納容器b的容納部，在該多個容納部的至少一部分上，設(shè)有向容器b的內(nèi)部供給作為填充用氣體的氮氣的清洗部（圖示省略）。此外，在保管庫s1內(nèi)部設(shè)有在與多個容納部的各自與運入運出端口ep（保管庫運入運出端口sp）之間輸送容器b的堆垛起重機。關(guān)于保管庫s2也是同樣的結(jié)構(gòu)。

處理裝置p1是例如對半導(dǎo)體基板進行光刻處理及清潔處理等的裝置，例如從位于運入運出端口ep（裝載端口pp）的容器b將半導(dǎo)體基板取出來進行處理。另外，在將半導(dǎo)體基板取出的情況下，將設(shè)在容器b的前表面上的拆裝自如的蓋部拆下，用吸附式的機械手等將收納在容器b內(nèi)部中的半導(dǎo)體基板取出，但由于該方法及機構(gòu)是周知的技術(shù)，所以省略說明。關(guān)于處理裝置p2也是同樣的結(jié)構(gòu)。

另外，在本實施方式中，設(shè)在第1房屋f1中的保管庫s1或處理裝置p1相當(dāng)于第1裝置e1，設(shè)在第2房屋f2中的保管庫s2或處理裝置p2相當(dāng)于第2裝置e2。此外，在以后的說明中，在一起說明第1裝置e1及第2裝置e2的情況下稱作裝置e。

為了在第1房屋f1與第2房屋f2之間輸送容器b，設(shè)有棟間輸送機cw（第1棟間輸送機cw1及第2棟間輸送機cw2）。棟間輸送機cw設(shè)置為，使輸送方向一端部穿過將第1房屋f1與第2房屋f2連接的棟間連接筒體t的內(nèi)部而位于第1房屋f1的內(nèi)部，而使輸送方向另一端部位于第2房屋f2的內(nèi)部。

如圖1及圖5所示，在第1棟間輸送機cw1的第1房屋f1側(cè)的端部上連接合流輸送機c1g，以3個緩沖輸送機c11向該合流輸送機c1g合流的狀態(tài)設(shè)置。此外，如圖1及圖6所示，在第1棟間輸送機cw1的第2房屋f2側(cè)的端部上連接著分支輸送機c1b，以從該分支輸送機c1b分支出3個緩沖輸送機c12的狀態(tài)設(shè)置。

同樣，在第2棟間輸送機cw2的第2房屋f2側(cè)的端部上連接著合流輸送機c2g，以3個緩沖輸送機c22向該合流輸送機c2g合流的狀態(tài)設(shè)置。此外，在第2棟間輸送機cw2的第1房屋f1側(cè)的端部上連接著分支輸送機c2b，以從該分支輸送機c2b分支出3個緩沖輸送機c21的狀態(tài)設(shè)置。

在合流輸送機c1g、c2g及分支輸送機c1b、c2b的與緩沖輸送機c11、c12、c21、c22的各自的合流部分或分支部分處，設(shè)有將輸送中的容器b的俯視時的方向轉(zhuǎn)換的旋轉(zhuǎn)臺ct。

作為頂棚輸送車v，設(shè)有沿著從第1房屋f1的頂棚以懸掛狀態(tài)支承的環(huán)狀的行進軌道r（r11、r12）在第1房屋f1內(nèi)行進的、和沿著從第2房屋f2的頂棚以懸掛狀態(tài)被支承的環(huán)狀的行進軌道r（r21、r22）在第2房屋f2內(nèi)行進的。頂棚輸送車v如圖2所示，具備：行進部v1，具備在行進軌道r上轉(zhuǎn)動的行進車輪vw、和驅(qū)動行進車輪vw的行進驅(qū)動部（圖示省略）；主體部v2，在行進部v1的下方以將與該行進部v1的上下方向的距離固定的狀態(tài)被支承，與行進部v1一體地沿著行進軌道r移動。在主體部v2上，支承著能夠在裝置e的容器b的運入運出端口ep等的交接部位的存在高度與在行進軌道r的長度方向觀察和主體部v2重疊的輸送用高度之間升降的升降體vs。頂棚輸送車v在輸送容器b的情況下將升降體vs維持為輸送用高度，在俯視時在升降體vs與交接部位y重疊的位置使升降體vs下降，將容器b在與交接部位y之間交接。此外，在升降體vs上，裝備著把持容器b的凸緣bf的把持部vh。

3個緩沖輸送機c11中的兩個及3個緩沖輸送機c21中的兩個，為輸送端部在行進軌道r12中行進的頂棚輸送車v的交接部位。此外，3個緩沖輸送機c11中的1個及3個緩沖輸送機c21中的1個，為輸送端部在行進軌道r11中行進的頂棚輸送車v的交接部位。

同樣，3個緩沖輸送機c12中的兩個及3個緩沖輸送機c22中的兩個，為輸送端部在行進軌道r21中行進的頂棚輸送車v的交接部位。此外，3個緩沖輸送機c11中的1個及3個緩沖輸送機c21中的1個，為輸送端部在行進軌道r22中行進的頂棚輸送車v的交接部位。

這里，基于圖3對本實施方式的作為輸送對象物的容器b進行說明。

容器b例如是被稱作前端開啟式晶圓傳送盒（foup，frontopeningunifiedpod）或前端開啟式晶圓運送盒（fosb，frontopeningshippingbox）的、能夠以在高度方向上離開的狀態(tài)收納半導(dǎo)體基板u的容器。該容器b在前表面上具備拆裝自如的蓋，在不進行半導(dǎo)體基板u的取放的情況下裝接著該蓋。蓋能夠確保氣密性而構(gòu)成。此外，在容器b的底部bb，設(shè)有兩個形成有氣體能夠在容器b的外部與內(nèi)部之間流通的流通孔bh的流通孔形成部bg。在流通孔形成部bg上能夠連接后述的惰性氣體供給部的噴嘴n（參照圖4）而構(gòu)成。即，容器b具備形成有氣體能夠在該容器b的外部與內(nèi)部之間流通的流通孔bh的流通孔形成部bg。

在流通孔形成部bg，具備當(dāng)連接著噴嘴n時為開狀態(tài)、當(dāng)噴嘴n的連接被解除時為閉狀態(tài)的開閉閥機構(gòu)。并且構(gòu)成為，通過在容器b的流通孔形成部bg上連接著噴嘴n的狀態(tài)下從噴嘴n注入作為填充用氣體的惰性氣體（例如氮氣等），向容器b的內(nèi)部填充惰性氣體。

在本實施方式中，緩沖輸送機c11、c12、c21、c22、分支輸送機c1b、c2b及合流輸送機c1g、c2g如圖5及圖6所示，構(gòu)成為將在俯視時在輸送方向中形成為不到兩個容器b的長度的輸送機單元cu在輸送方向上排列多個。即，在本實施方式中，多個噴嘴n沿著輸送路徑分散設(shè)置。

在以下的說明中，在將上述緩沖輸送機c11、c12、c21、c22、分支輸送機c1b、c2b及合流輸送機c1g、c2g和棟間輸送機cw一起說明的情況下，有稱作輸送機c的情況。在本實施方式中，由輸送機c和上述頂棚輸送車v構(gòu)成輸送裝置。即，設(shè)有具備收納半導(dǎo)體基板u的容器b被運出的運出部ep1的第1裝置e1、具備被運入容器b的運入部ep2的第2裝置e2、和將容器b沿著輸送路徑從第1裝置e1輸送到第2裝置e2的輸送裝置（輸送機c及頂棚輸送車v）。

另外，在該實施方式中，例示了在第1裝置e1中具備運出部ep1、在第2裝置e2中具備運入部ep2、由輸送裝置將容器b從第1裝置e1輸送到第2裝置e2的結(jié)構(gòu)，但也可以為在第2裝置e2中具備運出部、在第1裝置e1中具備運入部、由輸送裝置將容器b從第2裝置e2輸送到第1裝置e1的結(jié)構(gòu)。

在對第1實施方式的輸送機單元cu（以下，在僅對本實施方式的輸送機單元cu說明的情況下設(shè)為輸送機單元cu1進行說明）如圖4所示，具備通過安裝到地板部而沿著輸送路徑的方向上的位置被固定的基部11、被旋轉(zhuǎn)自如地固定在基部11上的輥12、被固定到基部11上的壓力缸支承部13、被固定到壓力缸支承部13上的壓力缸m、和支承惰性氣體供給部的噴嘴n的噴嘴支承體16。壓力缸m由被安裝到壓力缸支承部13上的壓力缸主體14、和能夠在上下方向上伸縮或進退移動地被壓力缸主體14支承的壓力缸桿15構(gòu)成，借助電磁或氣體壓力等的驅(qū)動力將壓力缸桿15上下移動操作。此外，噴嘴支承體16被安裝在壓力缸桿15的上端上，隨著壓力缸桿15的移動操作被上下移動操作。噴嘴n以將相對位置固定的狀態(tài)被噴嘴支承體16支承，隨著壓力缸桿15的移動操作，噴嘴n被在上下方向上移動操作。

噴嘴n構(gòu)成為，借助上述那樣的壓力缸m的壓力缸桿15的伸縮工作，向連接狀態(tài)和非連接狀態(tài)切換自如。這里，連接狀態(tài)是噴嘴n被連接到容器b的流通孔形成部bg的狀態(tài)。通過壓力缸桿15突出而將噴嘴支承體16及噴嘴n向上方推起，噴嘴n向在輸送路徑中移動的容器b的移動區(qū)域側(cè)接近移動。并且，如果噴嘴n的末端進入到形成在流通孔形成部bg上的流通孔bh中并嵌合，則成為連接狀態(tài)。在該連接狀態(tài)下，噴嘴n在嵌合在流通孔bh中的狀態(tài)下向在輸送路徑中移動的容器b的移動區(qū)域的內(nèi)部侵入，成為連接在容器b的流通孔形成部bg上的狀態(tài)。

非連接狀態(tài)是噴嘴n沒有連接在容器b的流通孔形成部bg上的狀態(tài)。通過壓力缸桿15避讓來將噴嘴支承體16及噴嘴n向下方拉下，噴嘴n從容器b的流通孔形成部bg脫離，成為非連接狀態(tài)。在該非連接狀態(tài)下，噴嘴n成為避讓到在輸送路徑中移動的容器b的移動區(qū)域的外部的狀態(tài)。在本實施方式中，噴嘴n在非連接狀態(tài)下成為避讓到處于比容器b的移動區(qū)域靠下方的下部區(qū)域的狀態(tài)。

輥12被輥驅(qū)動馬達l驅(qū)動，前述輥驅(qū)動馬達l被固定到基部11上，由此相對于基部11的沿著輸送路徑的方向的位置被固定。并且，通過在輥12接觸在容器b的底部bb上的狀態(tài)下將輥驅(qū)動馬達l驅(qū)動，容器b被施加沿著輸送路徑的推進力。輥22遍及該輸送機單元cu的輸送方向的全長來排列設(shè)置。

在本實施方式中，輸送裝置具備輸送機c中的輸送機單元cu來構(gòu)成，基部11相當(dāng)于基部，輥驅(qū)動馬達l相當(dāng)于驅(qū)動部，輥12相當(dāng)于接觸部。即，輸送機單元cu1具備沿著輸送路徑的方向上的位置被固定的基部11、在相對于基部11的沿著輸送路徑的方向的位置被固定的狀態(tài)下支承在基部11上的輥驅(qū)動馬達l、和在接觸在容器b上的狀態(tài)下被輥驅(qū)動馬達l驅(qū)動而對容器b傳遞沿著輸送路徑的方向的推進力的輥12，輥12被基部11旋轉(zhuǎn)自如地支承，成為被輥驅(qū)動馬達l旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的旋轉(zhuǎn)體。

如圖4所示，在噴嘴n上，連接著將來自惰性氣體供給部的惰性氣體向上述噴嘴n供給的流通管gt。流通管gt由具有撓性的原材料（橡膠或硅樹脂等）形成。另外，噴嘴n在1個輸送機單元cu中設(shè)有兩個，在一方上作為流通管gt而連接著第1流通管gt1，在另一方上作為流通管gt而連接著第2流通管gt2。

在第1流通管gt1上連接著氣體供給源g，惰性氣體被朝向噴嘴n送出。另一方面，在第2流通管gt2的與噴嘴n相反的一側(cè)的端部上連接著排氣泵，將容器b內(nèi)部的氣體吸取來排氣。由此，能夠?qū)⑷萜鱞的內(nèi)部的氣體用惰性氣體迅速地置換。

此外，在第2流通管gt2與排氣泵之間，設(shè)有檢測惰性氣體的濃度的檢測傳感器j（參照圖7）。檢測傳感器j檢測從容器b經(jīng)由第2流通管gt2流出的容器b內(nèi)的氣體中的惰性氣體的濃度。在本實施方式中，檢測傳感器j相當(dāng)于檢測部。即，設(shè)有檢測容器b內(nèi)的惰性氣體的狀態(tài)的檢測傳感器j。

進而，在第1流通管gt1與氣體供給源g之間，設(shè)有能夠開閉操作的供給切換閥k。氣體供給源g將惰性氣體總是維持為正壓，通過使供給切換閥k成為開狀態(tài)，向第1流通管gt1送出惰性氣體，通過使供給切換閥k成為閉狀態(tài)，將向第1流通管gt1的惰性氣體的送出停止。

在本實施方式中，噴嘴n相當(dāng)于連接部，氣體供給源g及供給切換閥k相當(dāng)于填充用氣體供給源。此外，流通路主要形成在第1流通管gt1中。并且，供給裝置具備上述噴嘴n和氣體供給源g來構(gòu)成。即，供給裝置具備具有氣體流通自如的流通路的噴嘴n、和使惰性氣體向流通路流通的填充用氣體供給源（氣體供給源g及供給切換閥k），填充用氣體供給源構(gòu)成為，向使惰性氣體流通到第1流通管gt1中的供給狀態(tài)、和不使惰性氣體流通到第1流通管gt1中的供給停止?fàn)顟B(tài)切換自如。

另外，在本實施方式中，關(guān)于1個輸送機單元cu1，僅設(shè)有1個被上述噴嘴支承體16支承的一對噴嘴n的組（以下稱作單位供給部）。

圖7是說明本實施方式的半導(dǎo)體制造設(shè)備的控制結(jié)構(gòu)的塊圖?？刂撇縣例如由具備運算裝置和存儲裝置的客戶端計算機或服務(wù)器計算機等單一的計算機構(gòu)成。

控制部h以程序形式具備控制輸送機c的工作的輸送機控制部h1、控制惰性氣體供給部的工作的供給控制部h2、以及控制頂棚輸送車v的行進的頂棚輸送車控制部h3。另外，在本實施方式中，將控制部h用單一的計算機構(gòu)成，用單一的計算機執(zhí)行分別構(gòu)成輸送機控制部h1、供給控制部h2及頂棚輸送車控制部h3的程序，但也可以用分別的計算機執(zhí)行分別構(gòu)成輸送機控制部h1、供給控制部h2及頂棚輸送車控制部h3的程序。在此情況下，這些計算機分別用有線lan或無線lan等能夠相互通信地連接。

輸送機控制部h1構(gòu)成為，控制輸送機單元cu中的輥驅(qū)動馬達l的工作。在輸送機單元cu的各自上，設(shè)有檢測容器b的有無的載貨檢測部（圖示省略）。各輸送機單元cu的載貨檢測部分別向輸送機控制部h1發(fā)送該輸送機單元cu中的容器b的有無的信息。

在本實施方式中，輸送機控制部h1相當(dāng)于輸送控制部，具備上述輸送機單元cu和輸送機控制部h1來構(gòu)成輸送裝置。即，輸送裝置具備控制輥驅(qū)動馬達l的輸送機控制部h1。

此外，在供給控制部h2中，構(gòu)成為，被輸入檢測傳感器j的檢測結(jié)果，并且，供給控制部h2控制壓力缸m的壓力缸桿15的伸縮工作及供給切換閥k的開閉。供給控制部h2控制噴嘴n的連接狀態(tài)和非連接狀態(tài)的切換、以及填充用氣體供給源的供給狀態(tài)和供給停止?fàn)顟B(tài)的切換。

并且，供給控制部h2判斷由檢測傳感器j檢測出的容器b內(nèi)的惰性氣體的狀態(tài)是需要向容器b供給惰性氣體的需供給狀態(tài)、還是不需要向容器b供給惰性氣體的不需供給狀態(tài)，并且構(gòu)成為，在判斷為是需供給狀態(tài)的情況下，使噴嘴n成為連接狀態(tài)并使填充用氣體供給源成為供給狀態(tài)，在判斷為是不需供給狀態(tài)的情況下，使填充用氣體供給源成為供給停止?fàn)顟B(tài)。

另外，所謂使噴嘴n成為連接狀態(tài)，包括在該噴嘴n到此為止是非連接狀態(tài)的情況下切換為連接狀態(tài)、和在已經(jīng)是連接狀態(tài)的情況下維持該連接狀態(tài)的兩者。此外，所謂使填充用氣體供給源為供給狀態(tài)，包括在該填充用氣體供給源到此為止是供給停止?fàn)顟B(tài)的情況下切換為供給狀態(tài)、和已經(jīng)是供給狀態(tài)的情況下維持該供給狀態(tài)的兩者。同樣，所謂使填充用氣體供給源成為供給停止?fàn)顟B(tài)，包括在該填充用氣體供給源到此為止是供給狀態(tài)的情況下切換為供給停止?fàn)顟B(tài)、和在已經(jīng)是供給停止?fàn)顟B(tài)的情況下維持該供給停止?fàn)顟B(tài)的兩者。即構(gòu)成為，供給控制部h2在判斷為是需供給狀態(tài)的情況下，將噴嘴n切換或維持為連接狀態(tài)，將填充用氣體供給源切換或維持為供給狀態(tài)，在判斷為是不需供給狀態(tài)的情況下，將填充用氣體供給源切換或維持為供給停止?fàn)顟B(tài)。

頂棚輸送車控制部h3控制頂棚輸送車v的行進部v1的行進、主體部v2的升降體vs的升降工作、以及裝備在升降體vs上的把持部vh的把持工作。

具體而言，頂棚輸送車控制部h3基于來自上位管理裝置（圖示省略）的指令，使頂棚輸送車v行進到與作為輸送源的第1裝置e1的運出部ep1對應(yīng)的行進位置，在該位置使升降體vs下降到與運入運出端口ep對應(yīng)的高度，使把持部vh把持容器b的凸緣bf。然后，在把持部vh把持著容器b的凸緣bf的狀態(tài)下使升降體vs上升到輸送用高度，使頂棚輸送車v行進到與作為輸送目標(biāo)的緩沖輸送機c11對應(yīng)的位置。并且，在該位置使升降體vs下降，將容器b載置到緩沖輸送機c11上。

在作為輸送目標(biāo)的裝置e存在于不同的房屋（在上述情況下是第2房屋f2）的情況下，容器b被以緩沖輸送機c11、合流輸送機c1g、第1棟間輸送機cw1、分支輸送機c1b及緩沖輸送機c12的順序輸送。相反，在作為輸送源的裝置e存在于第2房屋f2中、作為輸送目標(biāo)的裝置e存在于第1房屋f1中的情況下，容器b被以緩沖輸送機c22、合流輸送機c2g、第2棟間輸送機cw2、分支輸送機c2b及緩沖輸送機c21的順序輸送。

另外，這里說明了作為輸送源的裝置e和作為輸送目標(biāo)的裝置e存在于不同的房屋中的情況，但作為輸送源的裝置e和作為輸送目標(biāo)的裝置e也可以存在于相同的房屋中。

接著，基于圖8的流程圖說明本實施方式的容器輸送設(shè)備的控制形態(tài)。輸送機控制部h1基于載貨檢測部的檢測信息，判斷在輸送機單元cu中是否滯留有容器b（#1）。這里，所謂“容器b滯留”，是指同一個容器b在同一個輸送機單元cu中被支承規(guī)定時間（例如30秒）以上的狀態(tài)。

輸送機控制部h1如果判斷為發(fā)生了容器b的滯留（#1：是），則將該消息向供給控制部h2通知。供給控制部h2借助壓力缸m的工作使噴嘴n上升移動而將噴嘴n切換為連接狀態(tài)（#2），并用檢測傳感器j檢測從容器b經(jīng)由第2流通管gt2流出的容器b內(nèi)的氣體中的惰性氣體的濃度（#3），判斷由檢測傳感器j檢測到的容器內(nèi)的惰性氣體的狀態(tài)是需要向容器b供給惰性氣體的需供給狀態(tài)、還是不需要向容器b供給惰性氣體的不需供給狀態(tài)（#4）。如果判斷為需供給狀態(tài)（#4：是），則供給控制部h2使供給切換閥k成為開狀態(tài)（#5），將惰性氣體向容器b供給。此時，在本實施方式中，使連接在第2流通管gt2上的排氣泵工作。

另外，在判斷為容器b沒有滯留的情況下（#1：否），或者在判斷為是不需供給狀態(tài)的情況下（#4：否），將有關(guān)該流程的控制結(jié)束。控制部h將這樣的控制按照各輸送機單元cu進行，并且在結(jié)束了有關(guān)流程圖的控制的情況下，以規(guī)定的時間間隔（例如1秒）再執(zhí)行。

在本實施方式中，借助上述那樣的結(jié)構(gòu)和控制，即使是在輸送機c的輸送路徑的途中發(fā)生滯留、在從第1裝置e1到第2裝置e2的輸送中花費時間的情況，也能夠抑制容器b的內(nèi)部的惰性氣體的濃度下降而收納在容器b中的半導(dǎo)體基板u的污損或劣化。

〔第2實施方式〕

接著，基于圖9及圖10說明將本發(fā)明的容器輸送設(shè)備應(yīng)用到半導(dǎo)體制造設(shè)備中的第2實施方式，但在第2實施方式中，除了輸送機單元cu的形態(tài)不同這一點以外，是與第1實施方式相同的結(jié)構(gòu)，所以以下僅說明與第1實施方式結(jié)構(gòu)不同的輸送機單元cu。

第2實施方式的輸送機單元cu（輸送機單元cu2）如圖9所示，具備通過安裝到地板部上而沿著輸送路徑的方向上的位置被固定的基部21、具備被旋轉(zhuǎn)自如地固定到基部21上的輥22、被固定到基部21上的壓力缸支承部23、被固定到壓力缸支承部23上的壓力缸m、和支承惰性氣體供給部的噴嘴n的噴嘴支承體26。壓力缸m由安裝到壓力缸支承部23上的壓力缸主體24、能夠在上下方向上伸縮或進退移動地被壓力缸主體24支承的壓力缸桿25構(gòu)成，借助電磁或氣體壓力等的驅(qū)動力將壓力缸桿25上下移動操作。此外，噴嘴支承體26被安裝在壓力缸桿25的上端上，隨著壓力缸桿25的移動操作而被上下移動操作。噴嘴n以相對位置固定的狀態(tài)被將噴嘴支承體26支承，隨著壓力缸桿25的移動操作，噴嘴n在上下方向上被移動操作。

噴嘴n構(gòu)成為，借助上述那樣的壓力缸m中的壓力缸桿25的伸縮工作，向避讓到在輸送路徑中移動的容器b的移動區(qū)域的外部的非連接狀態(tài)、和侵入到移動區(qū)域的內(nèi)部中而與容器b的流通孔形成部bg連接的連接狀態(tài)切換自如。

輥22被輥驅(qū)動馬達l驅(qū)動，前述輥驅(qū)動馬達l被固定到基部21上，由此相對于基部21的沿著輸送路徑的方向的位置被固定。并且，通過在輥22接觸在容器b的底部bb上的狀態(tài)下驅(qū)動輥驅(qū)動馬達l，容器b被施加沿著輸送路徑的推進力。

此外，本實施方式的輸送機單元cu2如圖10所示，1個單元的輸送方向的長度被設(shè)定為容器b的輸送方向上的長度的2倍以上（例如5倍左右）。輥22遍及該輸送機單元cu2的輸送方向的全長而排列設(shè)置。

在壓力缸支承部23的下部，設(shè)有將行進車輪28旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的車輪驅(qū)動馬達29。在基部21上，沿著輸送路徑安裝著將行進車輪28能夠轉(zhuǎn)動地支承的行進軌道27。

車輪驅(qū)動馬達29被輸送機控制部h1控制，使得與由輥22帶來的容器b的移動同步來使壓力缸支承部23移動。因而，如圖9所示，能夠一邊使容器b移動一邊將惰性氣體向該容器b供給。

在本實施方式中，具備行進車輪28和車輪驅(qū)動馬達29而構(gòu)成連接部移動機構(gòu)d。即，具備與被輸送裝置輸送的容器b的沿著輸送路徑的方向上的移動同步而使噴嘴n沿著輸送路徑移動的連接部移動機構(gòu)d。

連接部移動機構(gòu)d構(gòu)成為，被輸送機控制部h1基于由輸送機控制部h1控制的輥驅(qū)動馬達l的旋轉(zhuǎn)量或輥22的旋轉(zhuǎn)量計算的容器b的移動量來控制，來追隨移動相同的移動量。

通過這樣的結(jié)構(gòu)，在使容器b沿著輸送路徑移動時，也能夠?qū)⒍栊詺怏w向容器b的內(nèi)部供給。

〔其他實施方式〕

（1）在上述第1及第2實施方式中，做成了作為第1裝置及第2裝置而具備保管庫s1、s2及處理裝置p1、p2的結(jié)構(gòu)，但也可以做成作為第1裝置及第2裝置而僅具備保管庫或僅具備處理裝置的結(jié)構(gòu)。此外，在上述第1及第2實施方式中，作為處理裝置p1、p2而例示了進行光刻處理或清潔處理的裝置，但也可以應(yīng)用到進行這些以外的處理、例如顯影處理或濺鍍處理等各種處理的裝置中。

（2）在上述第1及第2實施方式中，作為輸送裝置而例示了具備在相對于基部的沿著輸送路徑的方向的位置被固定的狀態(tài)下被基部支承的驅(qū)動部的輸送機，但并不限定于這樣的結(jié)構(gòu)，例如也可以做成作為基部而具備行進軌道、具備能夠沿著該行進軌道行進的頂棚輸送車、作為接觸部而在該頂棚輸送車中具備把持容器的把持部的結(jié)構(gòu)。

（3）作為收納物品而例示了半導(dǎo)體基板，作為容器而例示了前端開啟式晶圓傳送盒（foup，frontopeningunifiedpod）及前端開啟式晶圓運送盒（fosb，frontopeningshippingbox），但收納物品也可以為半導(dǎo)體基板以外的物品（例如標(biāo)線片或玻璃基板等）。此外，也可以使收納物品為食品或農(nóng)產(chǎn)品等。在此情況下，作為填充用氣體，使用用來抑制容器內(nèi)的食品或農(nóng)產(chǎn)品的品質(zhì)下降的氮、二氧化碳、氧、低溫氣體等的食品用氣體。

（4）在上述第1及第2實施方式中，說明了使旋轉(zhuǎn)體為被基部11旋轉(zhuǎn)自如地支承而被輥驅(qū)動馬達l旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的輥12的結(jié)構(gòu)，但也可以代替這樣的結(jié)構(gòu)而使用與容器b的底部bb接觸的帶或鏈等的卷繞體作為旋轉(zhuǎn)體。在此情況下，驅(qū)動部可以考慮做成在卷繞體中使沿著輸送路徑的部分沿著輸送路徑移動的馬達等。此外，在上述實施方式中，例示了使接觸部為旋轉(zhuǎn)體的結(jié)構(gòu)，但例如也可以做成沿著輸送路徑移動自如地被基部11支承而被驅(qū)動部移動的支承體。作為這樣的支承體的例子，例如可以考慮做成以下的結(jié)構(gòu)等：在基部11上沿著輸送路徑固定能夠分別地開啟/關(guān)閉的多個電磁鐵，相對于基部11在沿著輸送路徑的方向上能夠移動的支承體（支承臺車等）的上述電磁鐵的磁力的作用范圍中安裝磁性體，通過朝向輸送方向?qū)㈦姶盆F依次開啟，在輸送方向上使吸附作用部位相對于安裝在支承體上的磁性體移動，來傳遞推進力。

（5）在上述第1實施方式中，例示了對1個輸送機單元cu僅設(shè)置1個單位供給部的結(jié)構(gòu)，但并不限定于這樣的結(jié)構(gòu)，例如如圖11所示，也可以做成關(guān)于1個輸送機單元cu（輸送機單元cu3）設(shè)置兩個單位供給部的結(jié)構(gòu)、或設(shè)置3個以上的結(jié)構(gòu)。

（6）在上述第1及第2實施方式中，例示了作為檢測部而具備檢測容器b內(nèi)的氣體中的惰性氣體的濃度的檢測傳感器j的結(jié)構(gòu)，但并不限定于這樣的結(jié)構(gòu)。例如，也可以做成具備狀態(tài)推測部作為檢測部的結(jié)構(gòu)，所述狀態(tài)推測部以在惰性氣體的濃度和供給惰性氣體起的時間之間有相關(guān)關(guān)系為前提，具備記錄上次將惰性氣體供給到容器b內(nèi)的時刻的數(shù)據(jù)庫，基于從記錄在該數(shù)據(jù)庫中的時刻起的經(jīng)過時間來推測容器b內(nèi)的惰性氣體的狀態(tài)。在此情況下，在“檢測”這一詞語中，包括判斷借助計算機等中的運算推測出的惰性氣體的狀態(tài)。在此情況下，供給控制部h2能夠在基于由上述狀態(tài)推測部推測出的氣體的狀態(tài)判斷為是需供給狀態(tài)之前的期間中，將噴嘴n維持為非連接狀態(tài)。并且，當(dāng)供給控制部h2判斷為需供給狀態(tài)時，將噴嘴n切換為連接狀態(tài)。

（7）在上述第1及第2實施方式中，例示了將多個噴嘴n沿著輸送路徑分散設(shè)置的結(jié)構(gòu)，但也可以做成沿著輸送路徑設(shè)置單一的噴嘴n的結(jié)構(gòu)。

〔實施方式的概要〕

有關(guān)本公開的容器輸送設(shè)備具備：第1裝置，具備收納物品的容器被運出的運出部；第2裝置，具備前述容器被運入的運入部；輸送裝置，將前述容器沿著輸送路徑從前述第1裝置輸送到前述第2裝置；及供給裝置，將向前述容器的內(nèi)部填充的填充用氣體向前述容器的內(nèi)部供給；前述容器具備形成有氣體能夠在該容器的外部與內(nèi)部之間流通的流通孔的流通孔形成部；前述供給裝置具備具有氣體流通自如的流通路的連接部、和使前述填充用氣體向前述流通路流通的填充用氣體供給源；前述連接部構(gòu)成為，向避讓到在前述輸送路徑中移動的容器的移動區(qū)域的外部的非連接狀態(tài)、和侵入到前述移動區(qū)域的內(nèi)部來與前述容器的流通孔形成部連接的連接狀態(tài)切換自如。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過將連接部從非連接狀態(tài)切換為連接狀態(tài)，能夠使避讓到由輸送裝置輸送的容器的移動區(qū)域的外部的連接部進入到移動區(qū)域的內(nèi)部，成為連接部連接在容器的流通孔形成部上的狀態(tài)。由此，能夠在從第1裝置朝向第2裝置輸送容器的途中將填充用氣體向容器的內(nèi)部供給。

因而，即使第1裝置與第2裝置之間的輸送時間較長，也能夠?qū)⑷萜鞯膬?nèi)部維持為適合于收納物品的品質(zhì)維持的環(huán)境。

作為一實施方式，優(yōu)選的是，前述填充用氣體供給源構(gòu)成為，向使前述填充用氣體流通到前述流通路中的供給狀態(tài)、和不使前述填充用氣體流通到前述流通路中的供給停止?fàn)顟B(tài)切換自如；設(shè)有供給控制部和檢測部，前述供給控制部控制前述連接部的前述連接狀態(tài)和前述非連接狀態(tài)的切換、以及控制前述填充用氣體供給源的前述供給狀態(tài)和前述供給停止?fàn)顟B(tài)的切換，前述檢測部檢測前述容器內(nèi)的前述填充用氣體的狀態(tài)；前述供給控制部構(gòu)成為，判斷由前述檢測部檢測出的前述容器內(nèi)的前述填充用氣體的狀態(tài)是需要向前述容器供給前述填充用氣體的需供給狀態(tài)、還是不需要向前述容器供給前述填充用氣體的不需供給狀態(tài)，并且在判斷為是前述需供給狀態(tài)的情況下，使前述連接部成為前述連接狀態(tài)并使前述填充用氣體供給源為前述供給狀態(tài)，在判斷為是前述不需供給狀態(tài)的情況下，使前述填充用氣體供給源成為前述供給停止?fàn)顟B(tài)。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在判斷為由檢測部檢測到的填充用氣體的狀態(tài)是不需要向容器供給填充用氣體的不需供給狀態(tài)的情況下，使填充用氣體供給源為供給停止?fàn)顟B(tài)。因而，當(dāng)容器內(nèi)的狀態(tài)是不需要供給填充用氣體的不需供給狀態(tài)時，能夠不將填充用氣體向容器供給，能夠節(jié)約填充用氣體。

作為一實施方式，優(yōu)選的是，前述輸送裝置具備基部、驅(qū)動部、接觸部、輸送控制部，前述基部沿著前述輸送路徑的方向上的位置被固定，前述驅(qū)動部在相對于前述基部的沿著前述輸送路徑的方向的位置被固定的狀態(tài)下被前述基部支承，前述接觸部在接觸在前述容器上的狀態(tài)下被前述驅(qū)動部驅(qū)動而對前述容器傳遞沿著前述輸送路徑的方向的推進力，前述輸送控制部控制前述驅(qū)動部；前述接觸部是被前述基部旋轉(zhuǎn)自如地支承而被前述驅(qū)動部旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的旋轉(zhuǎn)體、或沿著前述輸送路徑移動自如地被前述基部支承而被前述驅(qū)動部移動的支承體；前述供給控制部在由前述輸送控制部驅(qū)動了前述驅(qū)動部的情況下，使前述連接部成為前述非連接狀態(tài)，使前述填充用氣體供給源成為前述供給停止?fàn)顟B(tài)。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在以向與接觸部接觸的容器由該接觸部施加推進力的形態(tài)輸送容器的輸送裝置中，在由驅(qū)動部驅(qū)動接觸部而使容器移動的期間中，能夠使連接部成為非連接狀態(tài)而使填充用氣體供給源成為供給停止?fàn)顟B(tài)。

另外，作為上述那樣的輸送裝置，具體而言，可以考慮作為旋轉(zhuǎn)體而具備輸送輥、帶或鏈等卷繞體的結(jié)構(gòu)，或作為支承體而具備將容器以載置支承的狀態(tài)在輸送方向上移動的輸送臺的結(jié)構(gòu)。

在這樣的輸送裝置中，在容器移動的狀態(tài)下能夠使連接部成為非連接狀態(tài)，在容器停止的狀態(tài)下能夠使連接部成為連接狀態(tài)，所以能夠在不阻礙輸送路徑中的容器的移動的同時，在從第1裝置向第2裝置的輸送路徑的途中供給填充用氣體。

作為一實施方式，優(yōu)選的是，具備連接部移動機構(gòu)，前述連接部移動機構(gòu)使前述連接部以與被前述輸送裝置輸送的前述容器的沿著前述輸送路徑的方向上的移動同步的方式沿著前述輸送路徑移動。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于與由輸送裝置輸送的容器的沿著輸送路徑的方向上的移動同步，連接部沿著輸送路徑移動，所以在使容器移動的期間中也能夠使連接部成為連接狀態(tài)而將填充用氣體向容器供給。

因而，在從第1裝置向第2裝置的輸送路徑的途中，能夠更多地確保能夠向容器供給填充用氣體的期間，能夠?qū)崿F(xiàn)容易將容器的內(nèi)部維持為適合于收納物品的品質(zhì)維持的環(huán)境的容器輸送設(shè)備。

作為一實施方式，優(yōu)選的是，多個前述連接部沿著前述輸送路徑分散地設(shè)置。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于多個連接部沿著輸送路徑分散地設(shè)置，所以能夠在輸送路徑的多個部位對容器供給填充用氣體。因而，與僅在沿著輸送路徑的方向上的單一的部位設(shè)置連接部的情況相比，能夠?qū)Υ嬖谟谳斔吐窂缴系亩鄠€容器適當(dāng)?shù)毓┙o填充用氣體。

附圖標(biāo)記說明

11、21基部

12、22旋轉(zhuǎn)體

b容器

bg流通孔形成部

bh流通孔

c輸送機（輸送裝置）

cu輸送機單元（輸送裝置）

d連接部移動機構(gòu)

e1第1裝置

e2第2裝置

ep1運出部

ep2運入部

g氣體供給源（填充用氣體供給源）

k供給切換閥（填充用氣體供給源）

h1輸送機控制部（輸送控制部）

h2供給控制部

j檢測傳感器（檢測部）

n噴嘴（連接部）

u半導(dǎo)體基板（物品）。