技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的課題在于提供能夠簡(jiǎn)單地檢測(cè)輸送帶(21F、21R)的異常的基板輸送裝置(1)以及輸送帶檢查方法?；遢斔脱b置(1)具備：設(shè)定有對(duì)基板(B)進(jìn)行輸送的輸送路(A)的無端環(huán)狀的輸送帶(21F、21R)；基板傳感器(22、23)，檢測(cè)在輸送路(A)的規(guī)定的檢測(cè)位置處有無基板(B)；以及控制裝置(6)，在輸送路(A)未輸送基板(B)時(shí)，使輸送帶(21F、21R)轉(zhuǎn)動(dòng)，基于基板傳感器(22、23)的檢測(cè)結(jié)果來判別輸送帶(21F、21R)的異常。

技術(shù)研發(fā)人員：兒玉俊宏
受保護(hù)的技術(shù)使用者：富士機(jī)械制造株式會(huì)社
文檔號(hào)碼：201480081598
技術(shù)研發(fā)日：2014.09.04
技術(shù)公布日：2017.05.10