1.一種基板輸送裝置，具備：
設(shè)定有對基板進(jìn)行輸送的輸送路的無端環(huán)狀的輸送帶；
基板傳感器，檢測在該輸送路的規(guī)定的檢測位置處有無該基板；以及
控制裝置，在該輸送路未輸送該基板時，使該輸送帶轉(zhuǎn)動，基于該基板傳感器的檢測結(jié)果來判別該輸送帶的異常。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送裝置，其中，
所述基板輸送裝置具備顯示所述控制裝置的判別結(jié)果的顯示裝置。
3.一種輸送帶檢查方法，具有：
檢測工序，在設(shè)定于無端環(huán)狀的輸送帶的輸送路未輸送基板時，使該輸送帶轉(zhuǎn)動，檢測在該輸送路的規(guī)定的檢測位置處有無通過物；和
判別工序，基于檢測結(jié)果來判別該輸送帶的異常。