專利名稱：非接觸型抽吸抓取裝置以及具有該裝置的非接觸型抽吸抓取框架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種非接觸型抽吸抓取裝置(suction gripping device)以及具有該 非接觸型抽吸抓取裝置的非接觸型抽吸抓取框架(suctiongripping frame)，更具體而言， 涉及一種無需接觸而利用真空來抬起玻璃(glass)等平板狀物體的非接觸型抽吸抓取裝 置以及具有該非接觸型抽吸抓取裝置的非接觸型抽吸抓取框架。
背景技術(shù)：
玻璃、鋼板、半導(dǎo)體用晶片(wafer)等之類的平板狀物體在生產(chǎn)工序以及應(yīng)用于 生產(chǎn)后的后工序中，需要吸附平板的兩面中的任一面來進(jìn)行移送。使用顯示器(display) 用平板玻璃來舉例，作為在生產(chǎn)工序中需要吸附的情況，可列舉將平板玻璃切割成適合的 尺寸(size)的工序、以及以帶弧狀的方式對所切割的玻璃的側(cè)面進(jìn)行研磨(grind)的(圓 化(rounding))工序，作為在應(yīng)用于生產(chǎn)后的后工序中需要吸附的情況，可列舉在平板的 玻璃基板上對電路進(jìn)行圖案化(patterning)的工序。顯示器用平板玻璃需要高表面平滑度與高平行度。而且，玻璃表面上產(chǎn)生的劃痕 (scratch)會在完成的顯示器裝置的一部分像素中引起不良像素的問題，因此要求進(jìn)行嚴(yán) 格的檢查。此外，作為下一代的顯示器用玻璃基板而開發(fā)的玻璃面板(glass panel)是壁薄 且寬度與長度達(dá)到約2m的大型尺寸。如果握持此種大型尺寸的顯示器用玻璃基板的兩端 而抬起，那么中央部會下垂，因而玻璃基板會振動，或者需要復(fù)雜的設(shè)備等，以便安全地進(jìn) 行反轉(zhuǎn)。然而，當(dāng)將平板玻璃予以移送或反轉(zhuǎn)時，如果使用與平板玻璃接觸的接觸式裝置， 則存在平板玻璃的面會受到污染的問題，因此進(jìn)行有以非接觸方式使用裝置的研究。使用 圖1對此種現(xiàn)有的非接觸式真空裝置的一例進(jìn)行說明?，F(xiàn)有的非接觸式真空裝置具有如下 構(gòu)成在中央部，經(jīng)由從外部供給的真空軟管(hose) 121而提供真空抽吸力，在被提供真空 抽吸力的周圍，可使用壓縮空氣軟管122而可將足夠壓力的空氣排出至外部，從而不與平 坦面接觸。但是，此種現(xiàn)有的非接觸式裝置中，為了形成真空，需要4個 7個大氣壓的裝置， 為了形成此種真空壓，需要壓縮機(jī)(compressor)，但在潔凈室(clean room)的內(nèi)部無法設(shè) 置提供此種真空壓的壓縮機(jī)，因此存在必須使用潔凈干燥空氣(CDA =Clean Dry Air)等的 其他昂貴的裝備的問題。而且，現(xiàn)有的非接觸式裝置中，將平板玻璃與非接觸式裝置之間的 間隔維持為0. 2mm至0. 3mm,如果維持該程度的間隔，則存在平板玻璃會抵接于現(xiàn)有的非接 觸式裝置而產(chǎn)生劃痕的可能性?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 韓國新型登錄第20-0401259號公報
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非專利文獻(xiàn)非專利利文獻(xiàn)1 小金井(二力K )股份有限公司“調(diào)質(zhì)、補(bǔ)助、真空機(jī)器綜合目 錄”第641-649頁，“非接觸搬運(yùn)機(jī)器”

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種非接觸型抽吸抓取裝置以及具有該非接觸型抽吸抓 取裝置的非接觸型抽吸抓取框架，該非接觸型抽吸抓取裝置通過使用相對較低的小于等于 約0. 3個大氣壓的空氣壓，以非接觸的方式抬起板狀物體而不使用其他昂貴的裝備。本發(fā)明的所述目的可通過非接觸型抽吸抓取裝置來實(shí)現(xiàn)，該非接觸型抽吸抓取裝 置以非接觸的方式抽吸抓取平板狀物體，其特征在于包括外殼部(housing)以及噴嘴部 (nozzle)。該外殼部包括壓力部，與平板狀物體的一面暫時地接觸時形成閉曲面；R部，從 所述平板狀物體觀察，從所述壓力部圓化呈凸?fàn)疃由煸O(shè)置；側(cè)部，至少一部分呈直線狀從 所述R部朝向離開所述平板狀物體的垂直方向延伸設(shè)置；以及空氣注入口，與所述側(cè)部連 結(jié)且從外部供給空氣至外殼內(nèi)。且，該噴嘴部具有噴嘴尖頭且為具有傾斜面的漏斗形狀，并 插入至外殼部的內(nèi)部所空出的空間內(nèi)，該噴嘴尖頭以將從空氣注入口供給的空氣沿著所述 R部噴出的方式而與所述側(cè)部的內(nèi)壁之間隔開間隔而配置，該傾斜面以從所述噴嘴尖頭越 朝向所述空氣注入口的方向行進(jìn)而直徑越小的方式形成。優(yōu)選噴嘴尖頭以所述R部與所述側(cè)部的邊界線為基準(zhǔn)，而形成在接近空氣注入口 的方向的位置，通過在外殼上更包括外部R部，可消除平板狀物體的振動，該外部R部從平 板狀物體觀察，從壓力部朝向與所述R部相反的方向圓化呈凸?fàn)疃由煸O(shè)置。另外，壓力部若為與所述平板狀物體的一面暫時地接觸時形成閉曲面的壓力部， 則可為任意形狀，特別優(yōu)選從所述平板狀物體觀察的壓力部的平面形狀形成為選自同心圓 形狀、雙橢圓形狀以及雙四邊形狀中的任一形狀。本發(fā)明的另一目的可通過非接觸型抽吸抓取框架來實(shí)現(xiàn)，其特征在于包括框架以 及多個非接觸型抽吸抓取裝置?？蚣馨ǘ鄠€水平棒(bar)。所述非接觸型抽吸抓取裝置 安裝在框架的水平棒上，且，所述非接觸型抽吸抓取裝置包括外殼部以及噴嘴部。該外殼部 包括壓力部，與平板狀物體的一面接觸時形成閉曲面；R部，從平板狀物體觀察時，以呈凸 狀而圓化的方式從壓力部延伸設(shè)置；側(cè)部，至少一部分呈直線狀從R部朝向遠(yuǎn)離所述平板 狀物體的垂直方向延伸設(shè)置；以及空氣注入口，與所述側(cè)部連結(jié)且注入從外部供給的空氣。 且，該噴嘴部具有噴嘴尖頭且為具有傾斜面的漏斗形狀，并插入至外殼部的內(nèi)部所空出的 空間內(nèi)，該噴嘴尖頭以將從空氣注入口供給的空氣沿著所述R部噴出的方式而與所述側(cè)部 的內(nèi)壁之間隔開間隔而配置，該傾斜面以從所述噴嘴尖頭越朝向空氣注入口的方向行進(jìn)而 直徑越小的方式形成。此時，噴嘴尖頭以R部與側(cè)部的邊界線為基準(zhǔn)，而形成在接近空氣注 入口的方向的位置，以此可更確實(shí)地產(chǎn)生康達(dá)效應(yīng)(Coanda effect) 0[發(fā)明的效果]本發(fā)明的非接觸型抽吸抓取裝置與現(xiàn)有的非接觸式裝置相比，可采用1/30左右 的壓力的注入空氣來進(jìn)行動作。專利文獻(xiàn)1所述的現(xiàn)有的非接觸式裝置通常以4個 7個 大氣壓進(jìn)行動作，最近已知有以2個大氣壓左右進(jìn)行動作的裝置處于測試運(yùn)轉(zhuǎn)中的情況。 本發(fā)明的非接觸型抽吸抓取裝置通過使用康達(dá)效應(yīng)，從而與現(xiàn)有的技術(shù)相比，即便以非常低的壓力即約0. 3個大氣壓仍可進(jìn)行動作。因此，現(xiàn)有技術(shù)中，為了注入較高的空氣壓，必須在潔凈室的外部設(shè)置壓縮機(jī)，而 為了凈化空氣，必須使用作為另外的裝置的CDA。與其相較，本發(fā)明的非接觸型抽吸抓取 裝置在低壓力下也可進(jìn)行動作，因此可直接使用當(dāng)前在產(chǎn)業(yè)界中潔凈室內(nèi)所用的空壓的空 氣，即便無法使用此種空壓的空氣，仍有可使用注入之空氣壓較低且可設(shè)置在潔凈室的內(nèi) 部的鼓風(fēng)機(jī)(ringblower)的優(yōu)點(diǎn)。非專利文獻(xiàn)1所述的已知現(xiàn)有的非接觸式裝置是將裝置面與平板狀物體的非接 觸距離維持為小于等于0. 3mm。在此現(xiàn)有的非接觸式裝置中，裝置面與平板狀物體的非接觸 距離非常短，在使用現(xiàn)有的非接觸式裝置來處理平板狀物體的情況下，平板狀物體接觸裝 置面的情況多有發(fā)生。所述情況是因?yàn)楝F(xiàn)有的非接觸式裝置使用高壓，所以通過裝置面與 平板狀物體的一面之間的流速較高，由此裝置面與平板狀物體的一面之間的非接觸距離變 短。與此相比，本發(fā)明的非接觸型抽吸抓取裝置中，使用約0. 3個大氣壓左右的低氣壓，因 此通過裝置面(壓力部)與平板狀物體之間的流速減少，由此即使在抬起平板狀物體的情 況下，也能夠?qū)毫Σ颗c平板狀物體之間的非接觸距離維持為足夠長。因此，在使用本發(fā)明 的非接觸型抽吸抓取裝置的情況下，幾乎不會發(fā)生在平板狀物體上產(chǎn)生劃痕的情況。


圖1是現(xiàn)有的非接觸真空裝置的剖面圖。圖2是本發(fā)明的一實(shí)施例的非接觸型抽吸抓取裝置的剖面圖。圖3是用以對本發(fā)明的一實(shí)施例的非接觸型抽吸抓取裝置的空氣的流動與對平 板玻璃施加的壓力進(jìn)行說明的剖面圖。圖4是使用本發(fā)明的非接觸型抽吸抓取裝置，將小尺寸的平板狀物體G抬起后反 轉(zhuǎn)的狀態(tài)的立體圖。圖5是用以對將本發(fā)明的非接觸型抽吸抓取裝置用于板厚較薄的板材時所產(chǎn)生 的振動現(xiàn)象進(jìn)行說明的剖面圖。圖6是本發(fā)明的非接觸型抽吸抓取裝置的另一實(shí)施例的立體圖。圖7是由本發(fā)明的非接觸型抽吸抓取裝置的壓力部所形成的多種閉曲面的例。圖8是本發(fā)明的另一實(shí)施例，是使用非接觸型抽吸抓取裝置來構(gòu)成非接觸型抽吸 抓取框架的一實(shí)施例的立體圖。[符號的說明]
11壓力部23 噴嘴尖頭122 壓縮空氣軟1
13:R部25傾斜面200 框架
15側(cè)部27 空氣注入口A1、A2、A 3 區(qū)域
15--1 內(nèi)壁35 空氣注入軟管G 平板狀物體
17連結(jié)部100非接觸型抽吸L 假想的水平面
19外部R部抓取裝置P、P1、P2 壓力
21噴嘴部121真空軟管Q:邊界線
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的特征及優(yōu)點(diǎn)可通過基于附圖的對以下的優(yōu)選實(shí)施例的詳細(xì)說明而更明 白。此處，本說明書以及權(quán)利要求書中所用的術(shù)語或單詞必須遵照能夠適當(dāng)定義術(shù)語的概 念以便發(fā)明者能以最佳方法說明自己的發(fā)明這一原則，而解釋為符合本發(fā)明的技術(shù)思想的 含義或概念。圖2是本發(fā)明的一實(shí)施例的非接觸型抽吸抓取裝置。本發(fā)明的非接觸型抽吸抓取 裝置100是由產(chǎn)生康達(dá)效應(yīng)的外殼部以及噴嘴部21所構(gòu)成。外殼部是由以下各部所構(gòu)成 壓力部11，與平板狀物體的一面暫時地接觸時形成閉曲面；R部13，從平板狀物體觀察，從 壓力部圓化呈凸?fàn)疃由煸O(shè)置；側(cè)部15，至少一部分呈直線狀從R部13朝向離開平板狀物 體的垂直方向延伸設(shè)置；以及連結(jié)部17，與側(cè)部15連結(jié)而形成從外部供給空氣至外殼內(nèi)的 空氣注入口 27。噴嘴部21具有大致漏斗形狀，為如圖2所示般具有噴嘴尖頭23與傾斜面 的漏斗形狀，并插入至外殼部的內(nèi)部所空出的空間內(nèi)而形成，該噴嘴尖頭23沿著側(cè)部15的 內(nèi)壁15-1而從內(nèi)壁15-1隔開窄至空氣不容易但可流通的程度的間隔(Δ)并具有尖銳的 形狀，該傾斜面以從噴嘴尖頭23越朝向空氣注入口 27的方向行進(jìn)而直徑越小的方式形成。 引起康達(dá)效應(yīng)的形狀是由壓力部11、R部13、側(cè)部15以及噴嘴部21所構(gòu)成，因此不能認(rèn)為 連結(jié)部17及空氣注入口 27的形狀、或注入空氣的方式是主要的特征部分，所以可進(jìn)行各種 變形。如圖2所示，本發(fā)明的非接觸型抽吸抓取裝置100中，壓力部11與假想的水平面L 形成閉曲面。壓力部11只要是抽吸平板狀物體的吸引力作用的形狀，則可為任意形狀，因 此可具有任一閉曲面的形狀。但是，為了便于設(shè)計(jì)及制造，優(yōu)選壓力部11設(shè)置成以閉曲面 的重心為基準(zhǔn)而對稱的形狀。若對此進(jìn)行具體說明，則以載置平板狀物體的水平面為基準(zhǔn)， 外殼部及噴嘴部21的各水平剖面形成為具有以由壓力部11所形成的閉曲面的重心點(diǎn)為基 準(zhǔn)的重心點(diǎn)對稱形狀。另外，為了以由壓力部11所形成的閉曲面對平板狀物體施加引力，如圖2所示，使 噴嘴尖頭23位于比假想的水平面L更接近空氣注入口的上方，而形成由閉曲面、R部13、側(cè) 部15以及噴嘴部21所形成的空出的空間。更優(yōu)選以外殼部的R部13與側(cè)部15的邊界線 Q為基準(zhǔn)，將噴嘴尖頭23設(shè)置在更接近空氣注入口 27的位置，以更確實(shí)地實(shí)現(xiàn)康達(dá)效應(yīng)。圖3是用以對本發(fā)明的一實(shí)施例的非接觸型抽吸抓取裝置的空氣的流動與對平 板玻璃施加的壓力進(jìn)行說明的剖面圖，圖4是表示使用本發(fā)明的非接觸型抽吸抓取裝置， 將小尺寸的平板狀物體G抬起后反轉(zhuǎn)的狀態(tài)的圖。如圖3所示，經(jīng)由空氣注入口而注入的 空氣沿著噴嘴部21的傾斜面流下，通過噴嘴尖頭23與外殼部的內(nèi)壁15-1之間后，沿著R 部流動，然后通過壓力部而吐出至外部。所謂康達(dá)效應(yīng)，是指流體沿著彎曲面而流動的效應(yīng)。本發(fā)明的非接觸型抽吸抓取 裝置利用此種康達(dá)效應(yīng)，將所注入的空氣引導(dǎo)成通過外殼部的R部而流動，由此可對平板 狀物體產(chǎn)生吸引力與斥力。如圖3所示，當(dāng)供給至本發(fā)明的非接觸型抽吸抓取裝置的空氣 產(chǎn)生流動時，由平板狀物體G、外殼部以及噴嘴尖頭23的表面所形成的內(nèi)部空間的壓力Pl 形成為比周圍的壓力P低。即，成為Pl < P，而在以Al所表示的區(qū)域中，產(chǎn)生使平板玻璃靠 近非接觸型抽吸抓取裝置的方向的吸引力。另一方面，由于以較高的流速通過R部而朝向 壓力部流動的空氣的流動，該部分的壓力P2形成為比周圍的壓力P高。即，成為P2 > P，而
7在以A2所表示的區(qū)域中，產(chǎn)生將平板玻璃向與非接觸型抽吸抓取裝置的相反方向推開的 斥力。本發(fā)明的非接觸型抽吸抓取裝置100中，利用經(jīng)由空氣注入軟管35而注入的相 對較低壓的空氣，對平板狀物體G產(chǎn)生引力與斥力，從而如圖4所示，能夠在非接觸狀態(tài)下 抬起平板玻璃?，F(xiàn)有的非接觸式裝置中，需要注入大于等于2個大氣壓的高壓縮空氣，但 在利用康達(dá)效應(yīng)的本發(fā)明的非接觸型抽吸抓取裝置的情況下，只要注入大概約0. 3個大氣 壓左右的空氣即可。因此，現(xiàn)有的非接觸式裝置必須另行具備設(shè)置在潔凈室的外部的壓縮 機(jī)與CDA，但在本發(fā)明的非接觸型抽吸抓取裝置的情況下，使用作為送風(fēng)機(jī)的一種的鼓風(fēng)機(jī) (ring blower)即可施加足夠的空氣。另一方面，當(dāng)使用本發(fā)明的非接觸型抽吸抓取裝置100來抽吸抓取薄板材的平板 狀物體時，存在會因朝向壓力部的外部吐出的空氣的流動，而導(dǎo)致板材的一部分產(chǎn)生振動 現(xiàn)象的可能性。圖5是用以對將本發(fā)明的非接觸型抽吸抓取裝置用于板厚較薄的板材時所 產(chǎn)生的振動現(xiàn)象進(jìn)行說明的剖面圖。如圖5所示，有時會因從非接觸型抽吸抓取裝置的壓 力部排出的空氣的流動，而導(dǎo)致在以A3所表示的區(qū)域中，板厚較薄的平板狀物體G產(chǎn)生振 動現(xiàn)象。圖6是本發(fā)明的非接觸型抽吸抓取裝置的另一實(shí)施例。僅對與圖2所示的非接觸 型抽吸抓取裝置不同的構(gòu)成進(jìn)行說明。如圖6所示，在外殼部中更具備外部R部19，該外 部R部19從平板狀物體G觀察，從壓力部朝向與所述R部相反的方向圓化呈凸?fàn)疃由煸O(shè) 置。通過該具備的外部R部19，所注入的空氣通過R部與壓力部而排出的空氣的流向由于 外部R部19而變更為離開平板狀物體G的垂直方向。因此，在將本發(fā)明的非接觸型抽吸抓 取裝置100用于板厚較薄的板材的情況下，也能相當(dāng)程度地消除振動現(xiàn)象。進(jìn)而，當(dāng)在外部R部19的上方更包括在外部抽吸空氣的送風(fēng)機(jī)時，使用追加設(shè)置 的送風(fēng)機(jī)，對通過外部R部19而排出至外部的空氣的量進(jìn)行調(diào)節(jié)，由此可容易地將平板狀 物體G從非接觸型抽吸抓取裝置100抬起或降下。例如，當(dāng)使用非接觸型抽吸抓取裝置100 來抬起平板狀物體G時，通過使設(shè)置在外部R部19上的送風(fēng)機(jī)停止或以低速進(jìn)行動作，可 增加排出的空氣的量，此外，當(dāng)使用非接觸型抽吸抓取裝置100來降下平板狀物體G時，通 過使設(shè)置在外部R部19上的送風(fēng)機(jī)以高速進(jìn)行動作，可增加排出的空氣的量。圖7是由本發(fā)明的非接觸型抽吸抓取裝置的壓力部所形成的多種閉曲面的例。圖 7所示的非接觸型抽吸抓取裝置的壓力部形成閉曲面，但可以根據(jù)所處理的平板狀物體的 種類，從平板狀物體觀察的壓力部的平面形狀形成同心圓形狀(a)、雙四邊形狀(b)以及雙 橢圓形狀(c)等多種形狀。圖8是本發(fā)明的另一實(shí)施例，是使用非接觸型抽吸抓取裝置來構(gòu)成非接觸型抽吸 抓取框架的一實(shí)施例。框架200包括多個水平棒與垂直棒，且包括在水平棒的下方部分以 固定的間隔而設(shè)置的非接觸型抽吸抓取裝置100。圖8所示的非接觸型抽吸抓取框架200 是適合于抽吸抓取具有較寬面積的平板狀物體的實(shí)施例。雖未圖示，但當(dāng)然非接觸型抽吸 抓取裝置100中必須注入壓縮空氣，壓縮空氣可通過在水平棒與垂直棒上形成的空氣噴嘴 而供給或經(jīng)由其他空氣噴嘴而供給。以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，雖 然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的結(jié)構(gòu)及技術(shù)內(nèi)容作出些許的更 動或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但是凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明 的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方 案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
一種非接觸型抽吸抓取裝置，以非接觸的方式抽吸抓取平板狀物體，其特征在于包括外殼部，包括壓力部，與所述平板狀物體的一面直接地且暫時地接觸時形成閉曲面；R部，從所述平板狀物體觀察，從所述壓力部圓化呈凸?fàn)疃由煸O(shè)置；側(cè)部，至少一部分呈直線狀從所述R部朝向離開所述平板狀物體的垂直方向延伸設(shè)置；以及連結(jié)部，與所述側(cè)部連結(jié)而形成注入從外部供給的空氣的空氣注入口；以及噴嘴部，具有噴嘴尖頭且為具有傾斜面的漏斗形狀，并插入至所述外殼部的內(nèi)部所空出的空間內(nèi)，所述噴嘴尖頭使從所述空氣注入口供給的所述空氣朝向與所述平板狀物體垂直的方向噴出的方式，而與所述外殼部的所述側(cè)部的內(nèi)壁之間隔開固定間隔而配置，所述傾斜面以從所述噴嘴尖頭越朝向所述空氣注入口的方向行進(jìn)而直徑越小的方式形成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸型抽吸抓取裝置，其特征在于所述噴嘴尖頭配置在 比所述壓力部更朝所述空氣注入口的方向進(jìn)入的位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的非接觸型抽吸抓取裝置，其特征在于所述噴嘴尖頭以所述R 部與所述側(cè)部的邊界線為基準(zhǔn)，而配置在接近所述空氣注入口處的位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的非接觸型抽吸抓取裝置，其特征在于所述外殼部更包 括外部R部，所述外部R部從所述平板狀物體觀察，從所述壓力部朝向與所述R部相反的方 向圓化呈凸?fàn)疃由煸O(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的非接觸型抽吸抓取裝置，其特征在于以載置所述平板 狀物體的水平面為基準(zhǔn)，所述外殼部及所述噴嘴部的各水平方向的剖面具有以由所述壓力 部所形成的所述閉曲面的重心點(diǎn)為基準(zhǔn)的重心點(diǎn)對稱形狀。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的非接觸型抽吸抓取裝置，其特征在于所述壓力部從所 述平板狀物體觀察的平面形狀形成為選自同心圓形狀、雙橢圓形狀以及雙四邊形狀中的任 一種。
7.一種非接觸型抽吸抓取框架，其特征在于包括 框架，包括多個水平棒；以及多個非接觸型抽吸抓取裝置，安裝在所述框架的所述水平棒上，且所述非接觸型抽吸 抓取裝置包括 外殼部，包括壓力部，與所述平板狀物體的一面暫時地接觸時形成閉曲面；R部，從所述平板狀物體觀察，以呈凸?fàn)疃鴪A化的方式從所述壓力部圓化呈凸?fàn)疃由煸O(shè)置；側(cè)部，至少一部分呈直線狀從所述R部朝向遠(yuǎn)離所述平板狀物體的垂直方向延伸設(shè) 置；以及空氣注入口，與所述側(cè)部連結(jié)且注入從外部供給的空氣；以及 噴嘴部，具有噴嘴尖頭且為具有傾斜面的漏斗形狀，并插入至所述外殼部的內(nèi)部所空 出的空間內(nèi)，所述噴嘴尖頭使從所述空氣注入口供給的所述空氣朝向與所述平板狀物體垂 直的方向噴出的方式，而與所述側(cè)部的內(nèi)壁之間隔開間隔而配置，所述傾斜面以從所述噴2嘴尖頭越朝向所述空氣注入口的方向行進(jìn)而直徑越小的方式形成。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的非接觸型抽吸抓取框架，其特征在于所述噴嘴尖頭以所述R 部與所述側(cè)部的邊界線為基準(zhǔn)，而配置在接近所述空氣注入口處的位置。
全文摘要
在本發(fā)明中，提供一種非接觸型抽吸抓取裝置，其特征在于包括外殼部以及噴嘴部。該外殼部包括壓力部，與平板狀物體的一面接觸時形成閉曲面；R部，從所述平板狀物體觀察，從所述壓力部圓化呈凸?fàn)疃由煸O(shè)置；側(cè)部，至少一部分呈直線狀從所述R部朝向離開所述平板狀物體的垂直方向延伸設(shè)置；以及空氣注入口，與所述側(cè)部連結(jié)且從外部供給空氣至外殼內(nèi)。且，該噴嘴部具有噴嘴尖頭且為具有傾斜面的漏斗形狀，并插入至外殼部的內(nèi)部所空出的空間內(nèi)，該噴嘴尖頭以將從空氣注入口供給的空氣沿著所述R部噴出的方式而與所述側(cè)部的內(nèi)壁之間隔開間隔而配置，該傾斜面以從所述噴嘴尖頭越朝向所述空氣注入口的方向行進(jìn)而直徑越小的方式形成。
文檔編號B65G49/06GK101934931SQ20101015166
公開日2011年1月5日 申請日期2010年4月6日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月7日
發(fā)明者張永培, 權(quán)赫基, 李昌夏, 金臺皓, 金永泰, 高營采 申請人:三星康寧精密琉璃株式會社