br>[0152] (實(shí)施例1~30和比較例1~4)
[0153] 利用下述表1~5所示的配方將各成分配混，混煉分散，調(diào)整為粘度0. 5~ 20dPa · s (旋轉(zhuǎn)粘度計(jì)5rpm、25°C )。接著，使用棒涂機(jī)以干膜的膜厚為干燥后40 μ m的方 式涂布于載體膜（PET薄膜；東麗株式會社制造的Lumirror 38R75 :厚度38 μπι)。接著，使 用熱風(fēng)循環(huán)式干燥爐進(jìn)行干燥，得到在一面具有熱固化性樹脂層的干燥涂膜。對于干燥條 件，在表中所示的時間和溫度下進(jìn)行干燥。接著，將保護(hù)膜層疊在樹脂層上，得到干膜。
[0154] [表 1]
[0155]




[0164] * 1 :聯(lián)苯/苯酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂（日本化藥株式會社制造；環(huán)氧當(dāng)量280~ 290g/eq ;固態(tài)；軟化點(diǎn)70°C )
[0165] * 2 :萘型環(huán)氧樹脂（DIC株式會社制造；環(huán)氧當(dāng)量145~157g/eq ;半固態(tài)）
[0166] * 3 :液態(tài)BPA型· BPF型環(huán)氧樹脂（新日鐵住金化學(xué)株式會社制造；環(huán)氧當(dāng)量 160 ~170g/eq ;液態(tài)）
[0167] * 4 :聚苯釀樹脂（SABIC Inovative Plastics 公司制造 ΡΡ0 ;羥基當(dāng)量 850g/eq)
[0168] * 5 :苯酚酚醛清漆樹脂（明和化成株式會社制造；羥基當(dāng)量104~108g/eq ;軟 化點(diǎn)82~86°C )
[0169] * 6 :含聯(lián)苯骨架的苯酚酚醛清漆樹脂（明和化成株式會社制造；羥基當(dāng)量201~ 220g/eq ;軟化點(diǎn) 64 ~85°C )
[0170] * 7 :含三嗪的甲酚酚醛清漆樹脂（DIC株式會社制造；羥基當(dāng)量151g/eq ;氮含量 18% )
[0171] * 8 :含三嗪的苯酚酚醛清漆樹脂（DIC株式會社制造；羥基當(dāng)量125g/eq ;氮含量 12% )
[0172] * 9 :活性酯樹脂（DIC株式會社制造；活性酯當(dāng)量223g/eq)
[0173] * 10 :活性酯樹脂（DIC株式會社制造；活性酯當(dāng)量223g/eq ;軟化點(diǎn)152°C )
[0174] * 11 :雙酸A二氰酸酯（Lonza Japan株式會社制造；氰酸酯當(dāng)量232g/eq)
[0175] * 12:苯酚酚醛清漆型多官能氰酸酯（Lonza Japan株式會社制造；氰酸酯當(dāng)量 124g/eq)
[0176] * 13 :苯基甲烷馬來酰亞胺的縮合物（大和化成工業(yè)株式會社制造；軟化點(diǎn)70~ 145。。）
[0177] * 14 :3, 3' -二甲基-5, 5' -二乙基-4, 4' -二苯基甲烷雙馬來酰亞胺（大和化 成工業(yè)株式會社制造；軟化點(diǎn)160~170°C )
[0178] * 15 :2, 2'-雙-[4-(4-馬來酰亞胺苯氧基）苯基]丙烷（ΚΙ Chemical Industry Co.，Ltd.制造）
[0179] * 16 :球狀二氧化硅（ADMATECHS CO.，LTD.制造；平均粒徑(λ 5 μπι)
[0180] * 17 :2-乙基-4-甲基咪唑（四國化成工業(yè)株式會社制造）
[0181] * 18 :鱗鹽（北興產(chǎn)業(yè)株式會社制造）
[0182] * 19 :4_氨基吡啶（廣榮化學(xué)工業(yè)株式會社制造）
[0183] * 20 :環(huán)烷酸鋅（II)礦油精（和光純藥工業(yè)株式會社制造；鋅含量8% )
[0184] * 21 :苯氧基樹脂（三菱化學(xué)株式會社制造；玻璃化轉(zhuǎn)變溫度130°C )
[0185] * 22 :聚乙稀醇縮乙酰乙醛（polyvinyl acetoacetal)(積水化學(xué)株式會社制造； 玻璃化轉(zhuǎn)變溫度107 °C )
[0186] * 23 :核殼橡膠顆粒（Aica Kogyo Company 制造）
[0187] * 24 :甲苯（沸點(diǎn) 110°C )
[0188] * 25 :甲基異丁基酮（沸點(diǎn)116°C )
[0189] * 26 :2-甲氧基丙醇（沸點(diǎn)118°C )
[0190] * 27 :環(huán)己酮（沸點(diǎn) 150°C )
[0191] * 28 :N，N-二甲基甲酰胺（沸點(diǎn) 153°C )
[0192] * 29 :Ipzole 150 (沸點(diǎn) 184 ~205°C )
[0193] * 30 :甲基乙基酮（沸點(diǎn)79. 5°C )
[0194] * 31 :己烷（沸點(diǎn) 69°C )
[0195] 利用以下所示的評價方法，評價實(shí)施例1~30及比較例1~4的干膜。將評價結(jié) 果不于表6~10。
[0196] 〈干膜中的有機(jī)溶劑的殘留含量（％)的測定〉
[0197] 從各實(shí)施例及比較例的干膜剝離載體膜和保護(hù)膜后，采集約1. 2g的樹脂層，放入 帶塞子的容器中，準(zhǔn)確稱量所采集的樹脂層的質(zhì)量（W)。用移液管向該容器內(nèi)添加作為內(nèi)標(biāo) 物的3-乙氧基丙酸乙酯1滴，準(zhǔn)確稱量該質(zhì)量（We)。然后，通過定量移液管添加丙酮5ml 并蓋上塞子，充分振蕩容器，使采集的樹脂層溶解。接著，用孔徑0. 5 μ m的過濾器過濾該液 體，通過氣相色譜法（Thermo Fisher Scientific K.K.制造的TRACEGQJLTRA)分析濾液的 組成，由另行制作的標(biāo)準(zhǔn)曲線求出相對于內(nèi)標(biāo)物lg的有機(jī)溶劑的質(zhì)量（Ws)。由上述值根據(jù) 下式計(jì)算有機(jī)溶劑的殘留含量。
[0198] 有機(jī)溶劑的殘留含量（質(zhì)量％ ) = (WeXWs/W) X 100
[0199] 另外，由殘留含量、采用下述評價基準(zhǔn)評價干膜中的有機(jī)溶劑的殘留含量的調(diào)節(jié) 的容易程度。
[0200] 需要說明的是，氣相色譜法中的測定條件如下所述。在柱：Agilent Technologies 公司制造的毛細(xì)管柱DB-1MS(30mX0. 25mm)、檢測器：MS(ITQ900)、載氣：氦氣、進(jìn)樣器溫 度：300°C、檢測器溫度：230°C、柱溫條件：初始溫度50°C下，試樣注入后于50°C保持2分 鐘，以10°C /分鐘升溫至300°C，達(dá)到300°C后保持10分鐘。
[0201] 0):0.3 ~2. 5%
[0202] 〇：超過2. 5%且為3.0%以下
[0203] Λ :0. 1 %以上且小于0.3%、或者超過3.0%且為4.0%以下
[0204] X :除 0· 1 ~4. 0% 以外
[0205] 〈干膜的柔軟性（彎曲試驗(yàn)）>
[0206] 依據(jù)JISK5600-5-1 (IS01519)，使用BYK-Gardner公司制造的圓筒形芯棒彎曲試 驗(yàn)機(jī)，根據(jù)各實(shí)施例和比較例的干膜開始產(chǎn)生破裂及自載體膜的剝離的芯棒的最小直徑， 評價干膜的柔軟性。評價基準(zhǔn)如下所述。干膜的柔軟性良好時，樹脂層的柔軟性高，可以抑 制破裂和掉粉。
[0207] ◎:在(^_以下的直徑下，沒有產(chǎn)生樹脂層的破裂、掉粉、載體膜的剝離。
[0208] 〇：在φ超過2mm且小于5mm的范圍內(nèi)，沒有產(chǎn)生樹脂層的破裂、掉粉、載體膜的剝 離。
[0209] Λ :在φ超過2mm且小于5mm的范圍內(nèi)，產(chǎn)生樹脂層的破裂、掉粉及載體膜的剝離。
[0210] X :在φ5ιτπη以上的直徑下，產(chǎn)生樹脂層的破裂、掉粉、及載體膜的剝離。
[0211] 〈氣泡殘留〉
[0212] 從各實(shí)施例及比較例的干膜剝離保護(hù)膜后，使用間歇式真空加壓層壓機(jī) MVLP-500 (名機(jī)株式會社制造），以銅的導(dǎo)體厚35 μ m層壓到L (線：布線寬度）/S (空間：間 隔寬度）=1〇〇/1〇〇μπι的梳齒圖案上。在5kgf/cm2、80°C、l分鐘、ITorr的條件下進(jìn)行加 熱層壓，接著，用熱板壓制機(jī)在l〇kgf/ Cm2、8(TC、1分鐘的條件下整平。層壓后，確認(rèn)20處 是否在線與空間的邊界部分進(jìn)入空氣而在樹脂層中產(chǎn)生孔（空隙）。評價基準(zhǔn)如下所述。 樹脂層發(fā)粘的情況下，即，下述載體膜的剝離性差的情況下，樹脂層與梳齒圖案之間進(jìn)入氣 泡，空隙變多。該情況下，容易產(chǎn)生裂紋。
[0213] 〇：沒有確認(rèn)到空隙。
[0214] Λ :確認(rèn)到1~4處的空隙。
[0215] X :確認(rèn)到5處以上的空隙。
[0216] 〈載體膜的剝離性〉
[0217] 在與上述氣泡殘留的試驗(yàn)同樣的條件下，層壓各實(shí)施例和比較例的干膜后，剝離 載體膜，目視判斷在載體膜上是否附著有來自樹脂層的樹脂組合物。評價基準(zhǔn)如下所述。
[0218] ◎:在載體膜上沒有附著樹脂組合物，并且樹脂表面的指觸干燥性良好。
[0219] 〇：在載體膜上沒有附著樹脂組合物。
[0220] Λ :在載體膜上附著有少量樹脂組合物。
[0221] X :在載體膜上附著有較多樹脂組合物。
[0222] 〈馬來酰亞胺化合物、環(huán)氧樹脂及溶劑的相容性〉
[0223] 如下所述，考察各實(shí)施例及比較例的環(huán)氧樹脂及馬來酰亞胺化合物在溶劑中的溶 解性、以及相互的樹脂之間的相容性。
[0224] 將各實(shí)施例及比較例中使用的環(huán)氧樹脂、馬來酰亞胺化合物及溶劑分別以與表中 的比率相同的比率配混。接著，一邊攪拌一邊在比各成分的沸點(diǎn)低的溫度下加熱使其溶解。
[0225] 使樹脂和溶劑的混合物加熱溶解后，冷卻直至室溫，制作1mm厚的薄膜。用光學(xué)顯 微鏡在25倍下觀察制作的薄膜，在lcmX lcm的范圍內(nèi)確認(rèn)固態(tài)物是否析出。
[0226] 〇：完全沒有觀察到20 μ m以上的粗大顆粒。
[0227] X :觀察到1個以上的20 μ m以上的粗大顆粒。
[0228] 〈DSC 測定〉
[0229] 剝離各實(shí)施例及比較例的干膜的保護(hù)膜，削下10mg樹脂層，在專用的鋁盤中稱 量，立即在Seiko Instruments Inc.制造的DSC-6200中、以升溫速度5°C /min從30升溫 至300°C，針對各樣品進(jìn)行DSC測定。針對各樣品，由得到的DSC圖確認(rèn)放熱峰溫度。
[0230] 〇：所有的放熱峰溫度均小于190°C。
[0231] Λ :第1個放熱峰小于190°C，第2個放熱峰為190°C以上。
[0232] 〈玻璃化轉(zhuǎn)變溫度（Tg)及熱膨脹系數(shù)（CTE ( α 1)) >
[0233] 從前述實(shí)施例及比較例的干膜剝離保護(hù)膜，在GTS-MP箱（Furukawa Circuit Foil Co.，Ltd.制造）的光澤面?zhèn)龋ㄣ~箱）上，利用與上述〈氣泡殘留〉中記載的方法同樣的方 法層壓在銅箱上。接著，在熱風(fēng)循環(huán)式干燥爐中，在220