，1.03(12H，d,6·2Ηζ)
[0705] 通過電感耦合等離子體(ICP)分析確定的鋅含量:19.8wt% (計算值:20.2wt% )
[0706] 實施例E2
[0707](雙（1_(叔丁基酰胺)-2_二甲基氨基乙烷_N，N'）鋅（II)的合成）
[0710]反應(yīng)以與實施例E1中相同的方式實施，不同的是使用l.lg(7.6mmol)以與參考實 施例D2中相同的方式制備的1-(叔丁基氨基)-2-二甲基氨基乙烷-N，N'）鋰在四氫呋喃中的 溶液l〇ml，而不是（1-異丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N，N'）鋰在四氫呋喃中的溶液。然后， 濃縮反應(yīng)溶液，并將所得濃縮液在減壓下（90°C，13Pa)升華，以提供1.2g為白色固體的雙 (1_(叔丁基酰胺)-2_二甲基氨基乙烷_N，N'）鋅（II)。（分離收率:90%)
[0711]此外，雙（1_(叔丁基酰胺)-2_二甲基氨基乙烷_N，N'）鋅（II)為新化合物，其具有 以下性質(zhì)：
[0712] ^-NMR(四氫呋喃-d8，S(ppm));3.03(4H，t，6.0Hz)，2.50(4H，t，6.0Hz)，2.26(12H， s)，l.ll(18H，s)
[0713] 熔點：98-100°C。
[0714] 通過電感親合等離子體(ICP)分析確定的鋅含量:18.5wt% (計算值:18.6wt% )
[0715] 實施例E3
[0716](氣相沉積試驗;含鋅薄膜的形成）
[0717]所述氣相沉積試驗通過CVD方法以與實施例D3中相同的方式使用實施例E1中獲得 的（雙（1-異丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N，N '）鋅（II))來實施，以評估成膜性能。氣相沉 積條件和膜性能如下。
[0718](氣相沉積條件1)
[0719] 鋅原料:實施例E1中獲得的鋅化合物
[0720] (雙（1-異丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷_N，N'）鋅（II))
[0721] 氣化溫度:40°C
[0722] He載氣的流速：lOOsccm
[0723] 氧氣流速：10sccm
[0724] 基板材料：Si02晶片
[0725] 基板溫度：300°C
[0726] 反應(yīng)系統(tǒng)中的壓力：1.33kPa
[0727] 氣相沉積時間：30min。
[0728] (膜性能(XPS-深度測量））
[0729] 膜厚度：50nm或更大
[0730] XPS分析:氧化鋅膜
[0731] 碳含量:未檢出
[0732] 氮含量:未檢出
[0733] 比較實施例E1
[0734](氣相沉積試驗;含鋅薄膜的形成）
[0735] 所述氣相沉積試驗通過CVD方法以與實施例E3中相同的方式使用雙（乙酰丙酮)鋅 (專利文獻(xiàn)14中公開的化合物)來實施，以評估成膜性能。氣相沉積條件和膜性能如下。 [0736](氣相沉積條件2)
[0737] 氣化溫度：50°C
[0738] He載氣的流速：30sccm
[0739] 氧氣流速：10sccm
[0740] 基板材料:Si02晶片
[0741] 基板溫度:300°C
[0742] 反應(yīng)系統(tǒng)中的壓力：1.33kPa
[0743] 氣相沉積時間：30min。
[0744] 在與實施例E3基本類似的條件(氣相沉積條件2)下沒有形成膜。
[0745](氣相沉積條件3)
[0746] 氣化溫度：50°C
[0747] He載氣的流速：30sccm
[0748] 氧氣流速：10sccm
[0749] 基板材料：Si02晶片
[0750] 基板溫度：450°C
[0751] 反應(yīng)系統(tǒng)中的壓力：1.33kPa
[0752] 氣相沉積時間：30min。
[0753] (膜性能(XPS-深度測量））
[0754] 膜厚度：50nm或更大
[0755] XPS分析:氧化鋅膜 [0756]碳含量:5 % (根據(jù)碳原子）
[0757]氮含量:未檢出（原料根本不含氮原子）
[0758] 結(jié)果表明，使用本發(fā)明的雙(酰胺氨基烷烴)鋅化合物可以形成不含雜質(zhì)例如碳原 子和氮原子的高品質(zhì)含鋅薄膜(氧化鋅膜）。
[0759] 實施例F1
[0760](雙（1-異丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷_N，N'）鐵(II)的合成）
[0763]在氬氣氣氛下，在一個裝配有攪拌器、溫度計和滴液漏斗的50mL體積燒瓶中放入 0.48g(3.8mmo 1)氯化鐵(II)(預(yù)干燥的脫水物)和10ml四氫呋喃。然后，將它們混合并將混 合物攪拌2小時。隨后，在保持溶液溫度為0°C的同時，向所述燒瓶中緩慢滴入1 . 0g (7.6mmol)以與參考實施例D1中相同的方式制備的1-異丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N， Ν'）鋰在四氫呋喃中的溶液10ml。然后，在攪拌的同時使混合物在20°C反應(yīng)6小時。反應(yīng)完成 后，將反應(yīng)溶液在減壓下濃縮。向所得濃縮液中添加50ml己烷。然后，攪拌混合物。將混合物 過濾，并將濾液在減壓下濃縮。然后，將所得濃縮液在減壓下（80°C，13.3Pa)蒸餾，以提供 l.Og為棕色透明液體的（雙（1-異丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N，N'）鐵（II)。（分離收率： 84%)
[0764]此外，（雙（1-異丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷_N，N'）鐵(II)為新化合物，其具有以 下性質(zhì)：
[0765] 通過電感親合等離子體(ICP)分析確定的鐵含量:18.2wt% (計算值:17.8wt% )
[0766] 實施例G1
[0767](雙（1_(叔丁基酰胺)-2_二甲基氨基乙烷_N，N'）鎳的合成）
[0770]反應(yīng)以與實施例E2中相同的方式實施，不同的是使用0.49g(3.8mmol)氯化鎳 (II)，而不是氯化鋅（II)。然后，濃縮反應(yīng)溶液，并將所得濃縮液在減壓下（90°C，13Pa)升 華，以提供〇.80g為棕色固體的雙（1-(叔丁基酰胺)-2-二甲基氨基乙烷-N，N'）鎳。（分離收 率:61%)
[0771]此外，雙（1_(叔丁基酰胺)-2_二甲基氨基乙烷_N，N'）鎳(II)為新化合物，其具有 以下性質(zhì)：
[0772]熔點：90-92。(3。
[0773] 通過電感親合等離子體(ICP)分析確定的鎳含量:17.4wt% (計算值:17.0wt% )
[0774] 參考實施例HI
[0775] ((1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N，N'）鋰的合成）
[0776] 反應(yīng)以與參考實施例D1中相同的方式實施，不同的是使用1.6g(16mmol)的1-甲基 氨基-2-二甲基氨基乙烷，而不是1-異丙基氨基-2-二甲基氨基乙烷，以提供1.6g的（1-甲基 酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N，Ν'）鋰。（分離收率:92%)
[0777] 實施例H1
[0778] (三(1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷_N，N'）銦（III)的合成）
[0781]在氬氣氣氛下，在一個裝配有攪拌器、溫度計和滴液漏斗的50mL體積燒瓶中放入 0.84g(3.8mmol)氯化銦（III)(預(yù)干燥的脫水物)和10ml四氫呋喃。然后，將它們混合并將混 合物攪拌2小時。隨后，在保持溶液溫度為0°C的同時，向所述燒瓶中緩慢滴入1. lg( 1 lmmol) 在參考實施例Η1制備的（1 -甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N，N '）鋰在四氫呋喃中的溶液 l〇ml。然后，在攪拌的同時使混合物在20°C反應(yīng)6小時。反應(yīng)完成后，將反應(yīng)溶液在減壓下濃 縮。向所得濃縮液中添加50ml己烷。然后，攪拌混合物。將混合物過濾，并將濾液在減壓下濃 縮。然后，將所得濃縮液在減壓下（130°C，13.3Pa)蒸餾，以提供1.2g為淺黃色半固態(tài)(蠟狀） 的三(1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N，N'）銦（III)。（分離收率:75%)
[0782]此外，三（1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷_N，N'）銦（III)為新化合物，其具有以下 性質(zhì)：
[0783] 匪R(四氫呋喃-d8，S(ppm)) ;2.95(6H，t，5.6Hz)，2.83(9H，s)，2.44(6H，t, 5.6Hz),2.26(18H,s)
[0784] 通過電感耦合等離子體(ICP)分析確定的銦含量:26.8wt% (計算值:27.5wt% )
[0785] 實施例1I
[0786] ((1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷_N，N'）鈉的合成）
[0789]在氬氣氣氛下，在20°C，在一個裝配有攪拌器、溫度計和滴液漏斗的50mL體積燒瓶 中放入〇.2]^(9.〇1111]1〇1)的金屬鈉、1.(^(1〇1]1111〇1)的1-甲基氨基-2-二甲基氨基乙燒、1.4區(qū) (20mmol)異戊二烯和25ml己烷。然后，將混合物在相同溫度下攪拌達(dá)20小時。反應(yīng)完成后， 在氬氣氣氛下，過濾反應(yīng)溶液，并將沉淀物用20ml己烷洗滌。然后，將沉淀物在真空下干燥， 以提供0.9g的（1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N，N'）鈉。（分離收率:80%)
[0790]此外，（1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N，N'）鈉為新化合物，其具有以下性質(zhì)：
[0791 ] 匪R(四氫呋喃-ds，δ (ppm)); 2 · 98 (2H，t，6 · 0Hz)，2 · 97 (3H，s)，2 · 42(2H，t， 6.0Hz),2.16(6H,s)
[0792] 實施例J1
[0793] (三(1 -甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N，N'）釔（III)的合成）
[0796]在氬氣氣氛下，在一個裝配有攪拌器、溫度計和滴液漏斗的50mL體積燒瓶中放入 0.74g(3.8mmol)氯化釔（III)(預(yù)干燥的脫水物)和10ml四氫呋喃。然后，將它們混合并將混 合物攪拌2小時。隨后，在保持溶液溫度為0°C的同時，向所述燒瓶中緩慢滴入1.4g (1 lmmol) 在實施例11中制備的（1 -甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N，N'）鈉在四氫呋喃中的溶液10ml。 然后，在攪拌的同時使混合物在20°C反應(yīng)6小時。反應(yīng)完成后，將反應(yīng)溶液在減壓下濃縮。向 所得濃縮液中添加50ml己烷。然后，攪拌混合物。將混合物過濾，并將濾液在減壓下濃縮。然 后，將所得濃縮液在減壓下蒸餾（140°C，13.3Pa)，以提供0.60g為淺黃色半固態(tài)（蠟狀）的 (三(1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N，N'）釔（III)。（分離收率:40%)
[0797]此外，三（1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷_N，N'）釔（III)為新化合物，其具有以下 性質(zhì)：
[0798] 匪R(四氫呋喃-d8，S(ppm)) ;2.49(6H，t，6.0Hz)，2.30(9H，s)，2.26(6H，t， 6.0Hz),2.14(18H,s)
[0799] 通過電感耦合等離子體(ICP)分析確定的釔含量:21.9wt% (計算值:22.7wt% )
[0800] 實施例K1
[08011 (三（1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N，N'）鑭（III))
[0804]在氬氣氣氛下，在一個裝配有攪拌器、溫度計和滴液漏斗的50mL體積燒瓶中放入 1.97g(3.8_〇1)碘化鑭（III)(預(yù)干燥的脫水物)和20ml四氫呋喃。然后，將它們混合并將混 合物攪拌2小時。隨后，在保持溶液溫度為0°C的同時，向所述燒瓶中緩慢滴入1.4g (1 lmmol) 在實施例11中制備的（1 -甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N，N'）鈉在四氫呋喃中的溶液10ml。 然后，在攪拌的同時使混合物在20°C反應(yīng)6小時。反應(yīng)完成后，將反應(yīng)溶液在減壓下濃縮。向 所得濃縮液中添加50ml己烷。然后，攪拌混合物。將混合物過濾，并將濾液在減壓下濃縮。然 后，將所得濃縮液在減壓下（140°C，13.3Pa)蒸餾，以提供0.50g為淺黃色半固態(tài)（蠟質(zhì)）的 (三(1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N，N'）鑭（III)。（分離收率:30%)
[0805]此外，三（1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷_N，N'）鑭（III)為新化合物，其具有以下 性質(zhì)：
[0806] 匪R(四氫呋喃-d8，S(ppm)) ;2.90(6H，t，6.0Hz)，2.84(9H，s)，2.70(6H，t， 6.0Hz),2.31(18H,s)
[0807] 通過電感親合等離子體(ICP)分析確定的鑭含量:30.2wt%(計算值:31.4wt%)
[0808] 產(chǎn)業(yè)上的可應(yīng)用性
[0809] 根據(jù)本發(fā)明，可以提供一種新的（酰胺氨基烷烴)金屬化合物，由其可通過簡單的 方法制備含金屬的薄膜。還可以提供一種通過CVD方法使用所述金屬化合物在物體上制備 含金屬的薄膜的方法。本發(fā)明的（酰胺氨基烷烴)金屬化合物適合用于通過CVD方法形成含 金屬的薄膜，因此適合于工業(yè)用途。
[0810] 雙(酰胺氨基烷烴)鎂化合物可用作例如用于形成含鎂薄膜、聚合催化劑和用于制 備藥物、農(nóng)業(yè)化學(xué)品等的材料。雙(酰胺氨基烷烴)鈷化合物可用作例如用于形成含鈷薄膜、 聚合催化劑和用于制備藥物、農(nóng)業(yè)化學(xué)品等的材料。雙(酰胺氨基烷烴)錳化合物可用作例 如用于形成含錳薄膜、聚合催化劑和用于制備藥物、農(nóng)業(yè)化學(xué)品等的材料。雙(酰胺氨基烷 烴)鋅化合物可用作例如用于形成含鋅薄膜、聚合催化劑和用于制備藥物、農(nóng)業(yè)化學(xué)品等的 材料。
[0811] 符號的說明：
[0812] (圖 1)
[0813] 1.載氣（He)
[0814] 2.稀釋氣體(He)
[0815] 3.反應(yīng)性氣體(02)
[0816] 4.質(zhì)量流量控制器
[0817] 5.質(zhì)量流量控制器
[0818] 6.質(zhì)量流量控制器
[0819] 7.鎂原料的容器(氣化器）
[0820] 8.恒溫浴
[0821] 9.反應(yīng)器
[0822] 10.基板
[0823] 11.反應(yīng)器的加熱器
[0824] I2·壓力表
[0825] 13.捕集器
[0826] 14.真空栗
[0827] (圖 2)
[0828] 3.氣化器
[0829] 4.反應(yīng)器
[0830] 10B.氣化器的加熱器
[0831] 10C.反應(yīng)器的加熱器
[0832] 20.原料，（酰胺氨基烷烴)金屬化合物
[0833] 21.基板
【主權(quán)項】
1. 一種由式(I)表示的(酷胺氨基燒控)金屬化合物：其中 M代表儀或車孟； Ri代表異丙基或叔下基； R2和R3代表甲基； Z代表亞乙基;且 n代表配位體的個數(shù)，與金屬(M)的化合價相等，并且代表2; 條件是兩個配位體可W彼此相同或不同。2. -種制備權(quán)利要求1中所述(酷胺氨基燒控)金屬化合物的方法，所述金屬化合物由 下式(1)表示：其中M，Ri ,R2 ,R3，Z和n定義如上； 所述方法包括W下步驟： 使由式(2a)或(2b)表示的單烷基金屬化合物或二烷基金屬化合物與由式(3)表示的二 氨基燒控化合物反應(yīng)： 所述式(2a)或(2b)為： (2a) 於R己M (2b) 其中 M代表儀或儘;且 R4和R5可W彼此相同或不同，并且各自獨立地代表具有1-10個碳原子的直鏈或支鏈的 烷基； 所述式(3)為：其中ri，r2，r哺Z定義如上。3.-種制備權(quán)利要求1中所述(酷胺氨基燒控)金屬化合物的方法，所述金屬化合物由 下式(1)表示：其中M，Ri，R2，R3，Z和n定義如上； 所述方法包括W下步驟： 使由式(4a)表示的烷基堿金屬化合物或堿金屬與由式(3)表示的二氨基燒控化合物反 應(yīng)，形成由式(5)表示的(酷胺氨基燒控)堿金屬化合物： 所述式(4a)為： R^A (4a) 其中 R4代表具有1-10個碳原子的直鏈或支鏈的烷基;且 A代表堿金屬原子； 所述式(3)為：其中Ri, R2，R哺Z定義如上； 所述式巧)為：其中ri，r2，r3，a和Z定義如上；W及 使所述(酷胺氨基燒控)堿金屬化合物與由下式(6)表示的金屬面化物反應(yīng)： MXn (6) 其中 M代表儀或儘； X代表面素原子;且 n代表面素原子的個數(shù)，與金屬(M)的化合價相等，并且代表2。4. 一種制備權(quán)利要求1中所述(酷胺氨基燒控)金屬化合物的方法，所述金屬化合物由 下式(1)表示：其中 Ri ,R2 ,R3，M，Z和n定義如上； 所述方法包括W下步驟： 使由式(7)表示的金屬與由式(3)表示的二氨基燒控化合物反應(yīng)： 所述式(7)為： M (7) 其中 M代表儀或儘； 所述式(3)為：其中Ri, R2，R哺Z定義如上。5. -種通過化學(xué)氣相沉積法制備含金屬的薄膜的方法，其中使用權(quán)利要求1中所述的 (酷胺氨基燒控)金屬化合物作為來源。6. -種用于形成含金屬的薄膜的材料，包括權(quán)利要求1中所述的（酷胺氨基燒控)金屬 化合物。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種由通式(1)表示的(酰胺氨基烷烴)金屬化合物和一種使用所述金屬化合物制備含該金屬的薄膜的方法。(所述式中，M代表金屬原子；R1代表具有1-6個碳原子的直鏈、支鏈或環(huán)狀的烷基；R2和R3可以彼此相同或不同，各自獨立地代表具有1-3個碳原子的直鏈或支鏈的烷基，或R2和R3可以與它們連接的氮原子一起形成一個經(jīng)取代的或未經(jīng)取代的5元或6元環(huán)。Z代表具有1-10個碳原子的直鏈或支鏈的亞烷基(但是，可選地，其一部分可形成環(huán))。配位體的數(shù)目由n表示，n為1-3中的一個整數(shù)，并且等于金屬M的化合價數(shù)。但是，排除M為Li(鋰)、Be(鈹)、Ge(鍺)或Nd(釹)的情況，M為Mg(鎂)且R1為甲基的情況，M為Zn(鋅)且R1為甲基的情況，M為Bi(鉍)且R1為叔丁基的情況。此外，當(dāng)n為2或更大時，兩個或多個配位體可以彼此相同或不同。)
【IPC分類】C23C16/18, C07C209/68, C07C211/65, C07D295/13
【公開號】CN105503618
【申請?zhí)枴緾N201510796381
【發(fā)明人】藤村整, 金戶宏樹, 白井昌志, 二瓶央
【申請人】宇部興產(chǎn)株式會社
【公開日】2016年4月20日
【申請日】2011年11月2日
【公告號】CN103313993A, CN105732401A, EP2636674A1, EP2636674A4, EP2636674B1, US8871304, US20130273250, WO2012060428A1