技術(shù)總結(jié)
具有式(Ⅰ)所示結(jié)構(gòu)的光酸產(chǎn)生劑化合物：[A?(CHR1)p]k–(L)?(CH2)m?(C(R2)2)n?SO3?Z+(I)其中A是任選地包含O、S、N、F或包含上述至少一種的組合的取代或未取代的單環(huán)、多環(huán)或稠合多環(huán)的C5或者更大的脂環(huán)族基團(tuán)，R1是H、單鍵、或取代或未取代的C1?30烷基，其中當(dāng)R1是單鍵時，R1是以共價鍵的方式與A的一個碳原子鍵合，每個R2獨(dú)立地是H、F、或C1?4氟烷基，其中至少一個R2不是氫，L是包括磺酸鹽/酯基團(tuán)、磺酰胺基團(tuán)、或C1?30的含有磺酸鹽/酯或磺酰胺基團(tuán)的連接基團(tuán)，Z是有機(jī)或無機(jī)陽離子，p是0到10的整數(shù)，k是1或2，m是0或更大的整數(shù)，n是1或更大的整數(shù)。本發(fā)明還公開了光酸產(chǎn)生劑的前體化合物、包含所述光酸產(chǎn)生劑的光刻膠組合物，和涂覆有所述光刻膠組合物的基材。

技術(shù)研發(fā)人員：E·阿恰達(dá);C-B·徐;李明琦;山田晉太郎;W·威廉姆斯三世
受保護(hù)的技術(shù)使用者：羅門哈斯電子材料有限公司
文檔號碼：201710070871
技術(shù)研發(fā)日：2012.09.28
技術(shù)公布日：2017.06.13