技術(shù)編號(hào)：12638514
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。光酸產(chǎn)生劑及包含該光酸產(chǎn)生劑的光刻膠本申請是申請人羅門哈斯電子材料有限公司提交的申請日為2012年9月28日、申請?zhí)枮?01210520596.9的發(fā)明專利申請“光酸產(chǎn)生劑及包含該光酸產(chǎn)生劑的光刻膠”的分案。相關(guān)申請的交叉引用該申請主張2011年9月30日提出的美國臨時(shí)專利申請61/541,764的權(quán)益，其全部內(nèi)容通過引用納入?yún)⒖肌０l(fā)明背景為了制備愈來愈小的邏輯和存儲(chǔ)晶體管，先進(jìn)的光刻工藝?yán)?93nm浸漬光刻已被開發(fā)用來在縮微光刻方法中獲得高質(zhì)量的以及較小的特征尺寸。重要的是在縮微光刻方法中用...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。