一種用膜組分離回收l(shuí)ed生產(chǎn)中排放廢氨氣的裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種用膜組分離回收LED生產(chǎn)中排放廢氨氣的裝置，它包括：空溫式氣體冷卻器、精密過濾器、增壓風(fēng)機(jī)、膜分離組件、氨水循環(huán)罐、氨水循環(huán)泵、板式換熱器、冷凍機(jī)組、冷凍水循環(huán)泵、飽和氨水罐、飽和氨水輸出泵，所述的空溫式氣體冷卻器出氣口與精密過濾器入口連接，精密過濾器出口連接增壓風(fēng)機(jī)入口，增壓風(fēng)機(jī)出口連接膜分離組件入口，膜分離組件出口連接氨水循環(huán)罐入口，氨水循環(huán)罐出口處設(shè)有氨水循環(huán)泵，氨水循環(huán)泵設(shè)有兩條管路，其中一條管路連接板式換熱器入口，板式換熱器出口連接冷凍機(jī)組入口；另一條管路連接飽和氨水罐入口；本實(shí)用新型膜組件將LED生產(chǎn)中排放廢氨氣吸收為氨水的吸收率可達(dá)到99.9%，氨水濃度可達(dá)到25%左右，解決了LED生產(chǎn)中排放廢氨氣的環(huán)保問題，且回收利用率高。
【專利說明】—種用膜組分離回收LED生產(chǎn)中排放廢氨氣的裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及LED生產(chǎn)中處理廢氣【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種采用親水性中空纖維膜組成的組件分離回收LED生產(chǎn)中排放廢氨氣的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002](LED)發(fā)光二極管在氣相沉積工藝中的主要原材料是超純氨、氮?dú)?、氫氣、MO源。三甲基鎵與氨氣在高溫下氣相沉積生成氮化鎵。
[0003]而為了充分利用價(jià)格較貴的MO源，超純氨氣相沉積中需要大大過量，在整個(gè)反應(yīng)過程中的利用率還不到1%，多余部分的氨氣與載氣氮?dú)狻錃庖黄鹋懦?。而氨氣是有害氣體必須加以環(huán)保處理，方能合法排放。目前處理LED生產(chǎn)排放廢氣的方法有:一是將排放氨氣用硫酸中和，中和以后廢液排入污水處理廠再處理；二是采用填料塔將排放氨氣吸收為氨水，氨水低價(jià)出售；三是采用降膜吸收塔將排放氨氣吸收成氨水，氨水低價(jià)出售；
[0004]由于上述方法中的中和法是轉(zhuǎn)移污染，環(huán)保問題沒有得到根本解決。而兩個(gè)吸收氨水的方法，由于LED排放廢氣中的氨氣濃度只有不到20%，其余氮?dú)?、氫氣濃度達(dá)到了80%左右，造成氨氣在水中的溶解度大大降低，還不到10%，氨水的附加值極低。由于廢氣中的氨氣在水中溶解的降低，在最后達(dá)標(biāo)排放過程中還得使用硫酸進(jìn)行中和。還是嚴(yán)重影響了環(huán)境，且回收利用率低下。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型的實(shí)用新型目的是為了克服上述【背景技術(shù)】的缺點(diǎn)，提供采用親水性中空纖維膜組成的膜組件，將LED生產(chǎn)中排放的氮?dú)?、氫氣、氨氣的混合氣體中的氨氣吸收為氨水，而混合氣體中的氮?dú)?、氫氣由于不親水則在膜的另一則排出，使LED生產(chǎn)廢氣得以回收和凈化的裝置。
[0006]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:一種用膜組分離回收LED生產(chǎn)中排放廢氨氣的裝置，它包括:空溫式氣體冷卻器、精密過濾器、增壓風(fēng)機(jī)、膜分離組件、氨水循環(huán)罐、氨水循環(huán)泵、板式換熱器、冷凍機(jī)組、冷凍水循環(huán)泵、飽和氨水罐、飽和氨水輸出泵，所述的空溫式氣體冷卻器出氣口與精密過濾器入口連接，精密過濾器出口連接增壓風(fēng)機(jī)入口，增壓風(fēng)機(jī)出口連接膜分離組件入口，膜分離組件出口連接氨水循環(huán)罐入口，氨水循環(huán)罐出口處設(shè)有氨水循環(huán)泵，氨水循環(huán)泵設(shè)有兩條管路，其中一條管路連接板式換熱器入口，板式換熱器出口連接冷凍機(jī)組入口 ；另一條管路連接飽和氨水罐入口。
[0007]所述的冷凍機(jī)組出口處設(shè)有冷凍水循環(huán)泵，飽和氨水罐出口處設(shè)有飽和氨水輸出栗。
[0008]所述的空溫式氣體冷卻器為翅片式空氣汽化器。
[0009]所述的增壓風(fēng)機(jī)為鋁合金增壓風(fēng)機(jī)其壓力值最小為0.0lMPa,最大為0.05MPa。
[0010]所述的膜分離組件采用親水性中空纖維膜。
[0011]所述的冷凍機(jī)組的水溫控制范圍為最低為0°C，最高為2°C。[0012]所述的膜分離組件最少為一組，每組膜分離組件都連接氨水循環(huán)罐再連接氨水循環(huán)泵，氨水循環(huán)泵連接板式換熱器。
[0013]本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型膜組件將LED生產(chǎn)中排放廢氨氣吸收為氨水的吸收率可達(dá)到99.9%，氨水濃度可達(dá)到25%左右，解決了 LED生產(chǎn)中排放廢氨氣的環(huán)保問題，且回收利用率高。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為本實(shí)用新型采用的五組膜分離組件結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2為本實(shí)用新型采用單模分離組件結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]其中:1、空溫式氣體冷卻器，2、精密過濾器，3、增壓風(fēng)機(jī)，4、膜分離組件，5、氨水循環(huán)罐，6、氨水循環(huán)泵，7、板式換熱器，8、冷凍機(jī)組，9、冷凍水循環(huán)泵，10、飽和氨水罐，11、飽和氨水輸出泵。
【具體實(shí)施方式】
[0017]本實(shí)施例為一種用膜組分離回收LED生產(chǎn)中排放廢氨氣的裝置，它包括:空溫式氣體冷卻器(I)、精密過濾器(2)、增壓風(fēng)機(jī)(3)、膜分離組件(4)、氨水循環(huán)罐(5)、氨水循環(huán)泵(6)、板式換熱器(7)、冷凍機(jī)組(8)、冷凍水循環(huán)泵(9)、飽和氨水罐(10)、飽和氨水輸出泵(11)。
[0018]如圖1所示，空溫式氣體冷卻器(I)為翅片式空氣汽化器其出氣口與精密過濾器
(2)入口連接，精密過濾器(2)出口連接增壓風(fēng)機(jī)(3)入口，增壓風(fēng)機(jī)(3)出口連接膜分離組件(4)入口，所述的膜分離組件(4)采用親水性中空纖維膜，膜分離組件(4)出口連接氨水循環(huán)罐(5 )入口，氨水循環(huán)罐(5 )出口處設(shè)有氨水循環(huán)泵(6 )，氨水循環(huán)泵(6 )設(shè)有兩條管路，其中一條管路連接板式換熱器(7 )入口，板式換熱器(7 )出口連接冷凍機(jī)組(8 )入口，所述的冷凍機(jī)組(8)出口處設(shè)有冷凍水循環(huán)泵(9);另一條管路連接飽和氨水罐(10)入口，飽和氨水罐(10)出口處設(shè)有飽和氨水輸出泵(11)。
[0019]如圖2所示膜分離組件(4)為一組膜分離組件(4)都連接氨水循環(huán)罐(5)再連接氨水循環(huán)泵(6)，氨水循環(huán)泵(6)連接板式換熱器(J)。
【權(quán)利要求】
1.一種用膜組分離回收LED生產(chǎn)中排放廢氨氣的裝置，它包括:空溫式氣體冷卻器、精密過濾器、增壓風(fēng)機(jī)、膜分離組件、氨水循環(huán)罐、氨水循環(huán)泵、板式換熱器、冷凍機(jī)組、冷凍水循環(huán)泵、飽和氨水罐、飽和氨水輸出泵，其特征是所述的空溫式氣體冷卻器出氣口與精密過濾器入口連接，精密過濾器出口連接增壓風(fēng)機(jī)入口，增壓風(fēng)機(jī)出口連接膜分離組件入口，膜分離組件出口連接氨水循環(huán)罐入口，氨水循環(huán)罐出口處設(shè)有氨水循環(huán)泵，氨水循環(huán)泵設(shè)有兩條管路，其中一條管路連接板式換熱器入口，板式換熱器出口連接冷凍機(jī)組入口；另一條管路連接飽和氨水罐入口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用膜組分離回收LED生產(chǎn)中排放廢氨氣的裝置，其特征是所述的冷凍機(jī)組出口處設(shè)有冷凍水循環(huán)泵，飽和氨水罐出口處設(shè)有飽和氨水輸出泵。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用膜組分離回收LED生產(chǎn)中排放廢氨氣的裝置，其特征是所述的空溫式氣體冷卻器為翅片式空氣汽化器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用膜組分離回收LED生產(chǎn)中排放廢氨氣的裝置，其特征是所述的增壓風(fēng)機(jī)為鋁合金增壓風(fēng)機(jī)其壓力值最小為0.0lMPa,最大為0.05MPa。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用膜組分離回收LED生產(chǎn)中排放廢氨氣的裝置，其特征是所述的膜分離組件采用親水性中空纖維膜。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用膜組分離回收LED生產(chǎn)中排放廢氨氣的裝置，其特征是所述的冷凍機(jī)組的水溫控制范圍為最低為0°C，最聞為2°C。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用膜組分離回收LED生產(chǎn)中排放廢氨氣的裝置，其特征是所述的膜分離組件最少為一組，每組膜分離組件都連接氨水循環(huán)罐再連接氨水循環(huán)泵，氨水循環(huán)泵連接板式換熱器。
【文檔編號(hào)】C01C1/14GK203612973SQ201320720997
【公開日】2014年5月28日 申請(qǐng)日期:2013年11月15日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月15日
【發(fā)明者】金向華, 李荷慶 申請(qǐng)人:蘇州金宏氣體股份有限公司