專利名稱:新型多晶硅提純尾氣處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及多晶硅生產(chǎn)所用設(shè)備領(lǐng)域,尤其是一種新型多晶硅提純尾氣處理
直O(jiān)
背景技術(shù):
目前多晶硅提純時,各塔尾氣與其附屬設(shè)備的尾氣匯合到最后的尾氣總管,但由于尾氣總管的管徑粗、管身長,增加了尾氣的換熱面積,當氣溫偏低時,尾氣被大量冷凝,形成的冷凝液在尾氣管道內(nèi)極易形成液封,堵塞尾氣管道,影響尾氣流通。
實用新型內(nèi)容本實用新型技術(shù)任務(wù)是針對上述技術(shù)不足,提供了一種新型多晶硅提純尾氣處理
直ο本實用新型解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是新型多晶硅提純尾氣處理裝置, 包括尾氣管,所述尾氣管的末端通過連接管與尾氣冷凝液存儲罐相連,所述連接管上設(shè)有閥門。本實用新型所能帶來的有益效果是1、很好的解決了尾氣冷凝液堵塞尾氣管道的問題。
圖1、本實用新型整體結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖,對本實用新型做以下詳細說明如附圖所示,本實用新型所公布的新型多晶硅提純尾氣處理裝置,包括尾氣管1, 所述尾氣管1的末端通過連接管2與尾氣冷凝液存儲罐3相連,所述連接管2上設(shè)有閥門 4,通過該閥門4可以定期的排出冷凝液。本實用新型有效避免了當氣溫偏低時尾氣被大量冷凝,形成的冷凝液堵塞尾氣管道,影響尾氣流通的問題。
權(quán)利要求1.新型多晶硅提純尾氣處理裝置,包括尾氣管,其特征在于所述尾氣管的末端通過連接管與尾氣冷凝液存儲罐相連,所述連接管上設(shè)有閥門。
專利摘要本實用新型所公布的新型多晶硅提純尾氣處理裝置,包括尾氣管,所述尾氣管的末端通過連接管與尾氣冷凝液存儲罐相連,所述連接管上設(shè)有閥門,通過該閥門可以定期的排出冷凝液,本實用新型有效避免了當氣溫偏低時尾氣被大量冷凝,形成的冷凝液堵塞尾氣管道,影響尾氣流通的問題。
文檔編號C01B33/037GK202113632SQ201120106799
公開日2012年1月18日 申請日期2011年4月6日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月6日
發(fā)明者盧緒峰, 李明寶, 王同昭, 聶蘭坤, 郭曉運, 鐵起 申請人:厲啟頌