專利名稱：新型多晶硅生產(chǎn)用尾氣罐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及多晶硅生產(chǎn)所用設(shè)備領(lǐng)域，尤其是一種新型多晶硅生產(chǎn)用尾氣罐。
背景技術(shù)：
目前多晶硅生產(chǎn)中，尾氣提純能提高原料的利用率，但現(xiàn)在的尾氣提純采用的工藝中，主要存在以下問題外賣的三氯氫硅存放罐或其它二氯二氫硅含量較高的尾氣罐，如果直接與提純尾氣管相連，容易返回精餾系統(tǒng)或返回車間，增加系統(tǒng)的排放量，增加了各塔的運行成本，影響到產(chǎn)品質(zhì)量。

實用新型內(nèi)容本實用新型技術(shù)任務(wù)是針對上述技術(shù)不足，提供了一種新型多晶硅生產(chǎn)用尾氣罐。本實用新型解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是新型多晶硅生產(chǎn)用尾氣罐，包括罐體，該罐體通過連接管連有提純尾氣管，所述罐體同時通過多余尾氣排出管與尾氣總管相連，所述連接管、多余尾氣排出管上都設(shè)有閥門。本實用新型所能帶來的有益效果是1、盡早去除了尾氣中二氯二氫硅等無用成分，避免了無用尾氣再次返回精餾系統(tǒng)或車間造成的惡性循環(huán)，減少了系統(tǒng)排放量，降低了各塔運行成本，提高產(chǎn)品質(zhì)量。

圖1、本實用新型整體結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖，對本實用新型做以下詳細說明如附圖所示，本實用新型所公布的新型多晶硅生產(chǎn)用尾氣罐，包括罐體1，該罐體 1通過連接管6連有提純尾氣管2，有用尾氣從這里循環(huán)，進一步提純，以盡可能的提高原料的利用率。所述罐體1同時通過多余尾氣排出管3與尾氣總管4相連，利用二氯二氫硅的沸點遠低于三氯氫硅這一特性，在常溫下即可盡早去除尾氣中二氯二氫硅等無用成分，避免了無用尾氣再次返回精餾系統(tǒng)或車間造成的惡性循環(huán)，減少了系統(tǒng)排放量，降低了各塔運行成本，提高產(chǎn)品質(zhì)量。所述連接管6、多余尾氣排出管3上都設(shè)有閥門5。
權(quán)利要求1.新型多晶硅生產(chǎn)用尾氣罐，包括罐體，該罐體通過連接管連有提純尾氣管，其特征在于所述罐體同時通過多余尾氣排出管與尾氣總管相連，所述連接管、多余尾氣排出管上都設(shè)有閥門。
專利摘要本實用新型所公布的新型多晶硅生產(chǎn)用尾氣罐，包括罐體，該罐體通過連接管連有提純尾氣管，有用尾氣從這里循環(huán)，進一步提純，以盡可能的提高原料的利用率，所述罐體同時通過多余尾氣排出管與尾氣總管相連，盡早去除尾氣中二氯二氫硅等無用成分，避免了無用尾氣再次返回精餾系統(tǒng)或車間造成的惡性循環(huán)，減少了系統(tǒng)排放量，降低了各塔運行成本，提高產(chǎn)品質(zhì)量。
文檔編號C01B33/107GK202087192SQ20112010677
公開日2011年12月28日 申請日期2011年4月6日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月6日
發(fā)明者盧緒峰, 李明寶, 王同昭, 聶蘭坤, 郭曉運, 鐵起 申請人:厲啟頌