專(zhuān)利名稱：一種多晶硅并網(wǎng)生產(chǎn)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于硅化工領(lǐng)域，涉及一種多晶硅并網(wǎng)生產(chǎn)裝置。
背景技術(shù)：
多晶硅，是單質(zhì)硅的一種形態(tài)，是極為重要的優(yōu)良半導(dǎo)體材料。多晶硅是電子工業(yè)中廣泛用于制造半導(dǎo)體收音機(jī)、錄音機(jī)、電冰箱、彩電、錄像機(jī)、電子計(jì)算機(jī)等的基礎(chǔ)材料。在多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中，氫氣緩沖罐是一個(gè)比較重要的設(shè)備，其主要作用是有效利用氫化、還原回收的H2，使整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程穩(wěn)定有效的進(jìn)行。但是，當(dāng)TCS的合成因各種因素不能開(kāi)車(chē)時(shí)，從氫化、還原回收的H2不能得到有效的利用，導(dǎo)致合成原料H2和Cl2的消耗用量增加，提高了生產(chǎn)成本。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的發(fā)明目的在于針對(duì)上述存在的問(wèn)題，提供一種多晶硅并網(wǎng)生產(chǎn)裝置。該多晶硅并網(wǎng)生產(chǎn)裝置構(gòu)思巧妙、設(shè)計(jì)合理，有效降低了生產(chǎn)成本，提高裝置運(yùn)行經(jīng)濟(jì)性。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是一種多晶硅并網(wǎng)生產(chǎn)裝置，包括設(shè)置有第一氫氣緩沖罐的第一生產(chǎn)裝置和設(shè)置有第二氫氣緩沖罐的第二生產(chǎn)裝置，所述第一氫氣緩沖罐和第二氫氣緩沖罐之間通過(guò)連接管連通，所述連接管上設(shè)置有控制閥。作為優(yōu)選方式，所述連接管為無(wú)縫碳鋼管。作為優(yōu)選方式，所述控制閥為球形閥。作為優(yōu)選方式，所述第一氫氣緩沖罐和第二氫氣緩沖罐與連接管之間通過(guò)法蘭連接。本實(shí)用新型將兩條線的H2緩沖罐配置并聯(lián)在一起，避免某條線因TCS合成因各類(lèi)因素不能開(kāi)車(chē)，從氫化、還原回收的H2不能得到更有效地利用，通過(guò)串聯(lián)管路能將H2輸送至另一條裝置進(jìn)行生產(chǎn)，優(yōu)化資源配置，以降低合成的原料H2和Cl2的消耗用量，達(dá)到一定的經(jīng)濟(jì)價(jià)值。由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型構(gòu)思巧妙、設(shè)計(jì)合理，有效降低了生產(chǎn)成本，提高裝置運(yùn)行經(jīng)濟(jì)性。

圖1是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。圖中標(biāo)記1第一氫氣緩沖罐、2第二氫氣緩沖罐、3連接管、4控制閥。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)的說(shuō)明。[0016]為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。實(shí)施例如圖1所示，一種多晶硅并網(wǎng)生產(chǎn)裝置，包括設(shè)置有第一氫氣緩沖罐的第一生產(chǎn)裝置和設(shè)置有第二氫氣緩沖罐的第二生產(chǎn)裝置，所述第一氫氣緩沖罐和第二氫氣緩沖罐之間通過(guò)連接管連通，所述連接管上設(shè)置有控制閥。所述連接管為無(wú)縫碳鋼管。所述控制閥為球形閥。所述第一氫氣緩沖罐和第二氫氣緩沖罐與連接管之間通過(guò)法蘭連接。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種多晶硅并網(wǎng)生產(chǎn)裝置，其特征在于包括設(shè)置有第一氫氣緩沖罐的第一生產(chǎn)裝置和設(shè)置有第二氫氣緩沖罐的第二生產(chǎn)裝置，所述第一氫氣緩沖罐和第二氫氣緩沖罐之間通過(guò)連接管連通，所述連接管上設(shè)置有控制閥。
2.如權(quán)利要求1所述的一種多晶硅并網(wǎng)生產(chǎn)裝置，其特征在于所述連接管為無(wú)縫碳鋼管。
3.如權(quán)利要求1所述的一種多晶硅并網(wǎng)生產(chǎn)裝置，其特征在于所述控制閥為球形閥。
4.如權(quán)利要求1所述的一種多晶硅并網(wǎng)生產(chǎn)裝置，其特征在于所述第一氫氣緩沖罐和第二氫氣緩沖罐與連接管之間通過(guò)法蘭連接。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種多晶硅并網(wǎng)生產(chǎn)裝置，包括設(shè)置有第一氫氣緩沖罐的第一生產(chǎn)裝置和設(shè)置有第二氫氣緩沖罐的第二生產(chǎn)裝置，所述第一氫氣緩沖罐和第二氫氣緩沖罐之間通過(guò)連接管連通，所述連接管上設(shè)置有控制閥。本實(shí)用新型構(gòu)思巧妙、設(shè)計(jì)合理，有效降低了生產(chǎn)成本，提高裝置運(yùn)行經(jīng)濟(jì)性。
文檔編號(hào)C01B33/03GK202063725SQ20112010551
公開(kāi)日2011年12月7日 申請(qǐng)日期2011年4月12日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月12日
發(fā)明者徐德懿, 梁勇 申請(qǐng)人:四川瑞能硅材料有限公司