220的第二端與所述研磨磨頭固定座固定連接；
[0070]所述活塞桿220在所述軸套100的帶動(dòng)下，在所述缸體210的容置腔中進(jìn)行上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
[0071]需要說明的是，本發(fā)明中，缸體210優(yōu)選為剛度和強(qiáng)度較好的圓柱形缸體。
[0072]同時(shí)為了實(shí)現(xiàn)對(duì)研磨磨頭保護(hù)裝置整體結(jié)構(gòu)的保護(hù)，所述研磨磨頭保護(hù)裝置還包括:
[0073]與所述活塞桿220固定連接的桿端球面連接器230，所述桿端球面連接器230通過螺栓實(shí)現(xiàn)與所述研磨磨頭固定座的固定連接。
[0074]通常情況下，所述桿端球面連接器230包括第一圓柱體，所述第一圓柱體與活塞桿220通過螺栓固定連接，且所述第一圓柱體的軸線與所述活塞桿220的軸線平行，所述桿端球面連接器230還包括第二圓柱體，且該第二圓柱體的軸線與第一圓柱體的軸線垂直，該第二圓柱體與軸套100連接，通常第二圓柱體通過螺栓與軸套100的底座110 (所述底座110上設(shè)置有與第二圓柱體配合的盲孔111)固定連接。
[0075]需要說明的是，通過設(shè)置圓柱形缸體及桿端球面連接器230的結(jié)構(gòu)，增強(qiáng)了研磨磨頭保護(hù)裝置整體結(jié)構(gòu)的保護(hù)作用，提高了該研磨磨頭保護(hù)裝置的可靠性，該結(jié)構(gòu)設(shè)置不僅可以緩沖垂直方向的沖擊力，還可以緩沖半導(dǎo)體專用設(shè)備在運(yùn)輸或受到外力震動(dòng)時(shí)受到的不同方向的力。
[0076]進(jìn)一步地，繼續(xù)如圖2和圖3所示，所述支撐結(jié)構(gòu)300包括:
[0077]第一支架310，所述第一支架310的一端設(shè)置有第二支架320，所述第二支架320與所述磨頭減速器箱固定連接，所述第一支架310的另一端連接有緩沖裝置固定架，所述緩沖裝置200通過所述緩沖裝置固定架與所述第一支架310固定連接；
[0078]在連接完成后，所述緩沖裝置200與所述第一支架310成第一預(yù)設(shè)角度，通常情況下，所述第一預(yù)設(shè)角度為90度。
[0079]需要說明的是，所述第一支架310通過螺栓孔實(shí)現(xiàn)與所述第二支架320的固定連接。
[0080]具體地，所述緩沖裝置固定架包括:
[0081]與所述第一支架310連接的雙耳環(huán)支撐件331 ;
[0082]以及與所述雙耳環(huán)支撐件331連接的耳環(huán)座332，所述緩沖裝置200固定連接在所述耳環(huán)座332上，通常情況下，所述耳環(huán)座332通過螺栓與所述緩沖裝置200的缸體210連接。
[0083]通常情況下，所述雙耳環(huán)支撐件331和所述耳環(huán)座332通過耳環(huán)擋桿333固定連接；為了實(shí)現(xiàn)此種連接，所述雙耳環(huán)支撐件331上設(shè)置有第一安裝孔，所述耳環(huán)座332上設(shè)置有第二安裝孔，所述耳環(huán)擋桿333穿過所述第一安裝孔和所述第二安裝孔，固定連接所述雙耳環(huán)支撐件331和所述耳環(huán)座332。
[0084]需要說明的是，通過耳環(huán)擋桿333連接雙耳環(huán)支撐件331和耳環(huán)座332，保證了研磨磨頭角度的可調(diào)性，避免了傳統(tǒng)保護(hù)裝置的硬性連接，提高了半導(dǎo)體專用設(shè)備工作的穩(wěn)定性。
[0085]進(jìn)一步地，為了增加所述第一支架310和所述緩沖裝置固定架之間的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度，所述支撐結(jié)構(gòu)300還包括:
[0086]連接部340，所述連接部340設(shè)置在所述第一支架310和所述緩沖裝置固定架之間，固定連接所述第一支架310和所述緩沖裝置固定架，通常情況下，所述連接部340分別通過螺栓實(shí)現(xiàn)與所述第一支架310和所述緩沖裝置固定架的雙耳環(huán)支撐件331的固定連接。
[0087]進(jìn)一步如圖9所示，本發(fā)明實(shí)施例的所述研磨磨頭保護(hù)裝置通過自身的支撐結(jié)構(gòu)300與磨頭減速器箱600固定連接，且研磨磨頭保護(hù)裝置的軸套100固定連接在磨頭進(jìn)給系統(tǒng)500上，研磨磨頭400固定在所述軸套100中，在磨頭進(jìn)給系統(tǒng)500的作用下，研磨磨頭400在軸套100的帶動(dòng)下，進(jìn)行上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓的磨削。
[0088]本發(fā)明的研磨磨頭保護(hù)裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可以有效提高半導(dǎo)體專用設(shè)備的磨削質(zhì)量，同時(shí)，提高了半導(dǎo)體專用設(shè)備的穩(wěn)定性，增強(qiáng)了半導(dǎo)體專用設(shè)備的可靠性；該研磨磨頭保護(hù)裝置采用了具有圓柱形缸體的緩沖裝置，該圓柱形缸體的強(qiáng)度和剛度都比一般普通缸體要好，在研磨磨頭磨削過程中上下走動(dòng)時(shí)，通過緩沖裝置拉伸及壓縮起到緩沖軸套，保護(hù)研磨磨頭的作用，同時(shí)避免了在人員誤操作時(shí)電機(jī)帶動(dòng)磨頭超出限位，絲杠和固定螺絲斷裂導(dǎo)致整個(gè)磨頭進(jìn)給系統(tǒng)掉落的問題；采用桿端球面連接器，增強(qiáng)了對(duì)半導(dǎo)體專用設(shè)備整體的保護(hù)，不僅可以緩沖垂直方向的沖擊力，同時(shí)可以緩沖半導(dǎo)體專用設(shè)備在運(yùn)輸或受到外力震動(dòng)時(shí)受到的不同方向的力，避免半導(dǎo)體專用設(shè)備受到機(jī)械損傷。
[0089]以上所述的是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通人員來說，在不脫離本發(fā)明所述的原理前提下還可以作出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種研磨磨頭保護(hù)裝置，其特征在于，包括: 軸套(100)，所述軸套(100)與磨頭進(jìn)給系統(tǒng)固定連接，且所述磨頭進(jìn)給系統(tǒng)的研磨磨頭固定在所述軸套(100)中； 與所述軸套(100)固定連接的緩沖裝置(200);以及 與所述緩沖裝置(200)固定連接的支撐結(jié)構(gòu)(300)，所述支撐結(jié)構(gòu)(300)還與磨頭減速器箱固定連接； 當(dāng)所述磨頭進(jìn)給系統(tǒng)工作時(shí)，所述研磨磨頭在所述軸套(100)的帶動(dòng)下進(jìn)行上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨磨頭保護(hù)裝置，其特征在于，所述軸套(100)包括: 研磨磨頭固定座；其中， 所述研磨磨頭固定座包括: 底座(110)以及設(shè)置在所述底座(110)的第一面上的第一凸臺(tái)結(jié)構(gòu)(120); 所述底座(110)與所述第一凸臺(tái)結(jié)構(gòu)(120)上設(shè)置有第一開孔(130)，所述第一開孔(130)貫穿所述底座(110)與所述第一凸臺(tái)結(jié)構(gòu)(120)，所述研磨磨頭的磨桿設(shè)置在所述第一開孔(130)中； 所述底座(110)的第二面上設(shè)置有固定所述研磨磨頭的頭部的第二開孔(151); 所述研磨磨頭固定座上還設(shè)置有一固定結(jié)構(gòu)(140)，所述固定結(jié)構(gòu)(140)與所述磨頭進(jìn)給系統(tǒng)固定連接； 其中，所述第一面與所述第二面為相對(duì)的兩面。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的研磨磨頭保護(hù)裝置，其特征在于，所述底座(110)的第二面上設(shè)置有第二凸臺(tái)結(jié)構(gòu)(150)，所述第二開孔(151)設(shè)置在所述第二凸臺(tái)結(jié)構(gòu)(150)上，且所述第一開孔(130)貫穿所述第二凸臺(tái)結(jié)構(gòu)(150)設(shè)置。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的研磨磨頭保護(hù)裝置，其特征在于，所述固定結(jié)構(gòu)(140)對(duì)稱的設(shè)置在所述研磨磨頭固定座上，且所述固定結(jié)構(gòu)(140)上設(shè)置有多個(gè)螺栓孔(141)。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的研磨磨頭保護(hù)裝置，其特征在于，所述緩沖裝置(200)包括: 具有一容置腔的缸體(210)，所述缸體(210)的一端與所述支撐結(jié)構(gòu)(300)固定連接；以及 活塞桿(220)，所述活塞桿(220)的第一端設(shè)置在所述缸體(210)的容置腔中，所述活塞桿(220)的第二端露在所述缸體(210)遠(yuǎn)離所述支撐結(jié)構(gòu)(300)的一端的外部，且所述活塞桿(220)的第二端與所述研磨磨頭固定座固定連接； 所述活塞桿(220)在所述軸套(100)的帶動(dòng)下，在所述缸體(210)的容置腔中進(jìn)行上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的研磨磨頭保護(hù)裝置，其特征在于，所述研磨磨頭保護(hù)裝置還包括: 與所述活塞桿(220)固定連接的桿端球面連接器(230)，所述桿端球面連接器(230)通過螺栓實(shí)現(xiàn)與所述研磨磨頭固定座的固定連接。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨磨頭保護(hù)裝置，其特征在于，所述支撐結(jié)構(gòu)(300)包括: 第一支架(310)，所述第一支架(310)的一端設(shè)置有第二支架(320)，所述第二支架(320)與所述磨頭減速器箱固定連接，所述第一支架(310)的另一端連接有緩沖裝置固定架，所述緩沖裝置(200)通過所述緩沖裝置固定架與所述第一支架(310)固定連接；在連接完成后，所述緩沖裝置(200)與所述第一支架(310)成第一預(yù)設(shè)角度。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的研磨磨頭保護(hù)裝置，其特征在于，所述緩沖裝置固定架包括: 與所述第一支架(310)連接的雙耳環(huán)支撐件(331); 以及與所述雙耳環(huán)支撐件(331)連接的耳環(huán)座(332)，所述緩沖裝置(200)固定連接在所述耳環(huán)座(332)上。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的研磨磨頭保護(hù)裝置，其特征在于，所述緩沖裝置固定架還包括:連接所述雙耳環(huán)支撐件(331)和所述耳環(huán)座(332)的耳環(huán)擋桿(333); 其中，所述雙耳環(huán)支撐件(331)上設(shè)置有第一安裝孔，所述耳環(huán)座(332)上設(shè)置有第二安裝孔，所述耳環(huán)擋桿(333)穿過所述第一安裝孔和所述第二安裝孔，固定連接所述雙耳環(huán)支撐件(331)和所述耳環(huán)座(332)。10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的研磨磨頭保護(hù)裝置，其特征在于，所述支撐結(jié)構(gòu)(300)還包括: 連接部(340)，所述連接部(340)設(shè)置在所述第一支架(310)和所述緩沖裝置固定架之間，固定連接所述第一支架(310)和所述緩沖裝置固定架。11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨磨頭保護(hù)裝置，其特征在于，所述研磨磨頭保護(hù)裝置分別包括兩個(gè)緩沖裝置(200)和兩個(gè)支撐結(jié)構(gòu)(300)，每個(gè)緩沖裝置(200)連接一個(gè)支撐結(jié)構(gòu)(300)，且兩個(gè)緩沖裝置(200)對(duì)稱的設(shè)置在所述軸套(100)的兩側(cè)。
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種研磨磨頭保護(hù)裝置，所述研磨磨頭保護(hù)裝置包括：軸套，所述軸套與磨頭進(jìn)給系統(tǒng)固定連接，且所述磨頭進(jìn)給系統(tǒng)的研磨磨頭固定在所述軸套中；與所述軸套固定連接的緩沖裝置；以及與所述緩沖裝置固定連接的支撐結(jié)構(gòu)，所述支撐結(jié)構(gòu)還與磨頭減速器箱固定連接；當(dāng)所述磨頭進(jìn)給系統(tǒng)工作時(shí)，所述研磨磨頭在所述軸套的帶動(dòng)下進(jìn)行上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)。上述方案，通過在半導(dǎo)體專用設(shè)備的研磨磨頭上連接緩沖裝置，減小了進(jìn)給系統(tǒng)的研磨磨頭在上下進(jìn)給過程中的沖擊力對(duì)機(jī)械部件的損傷，有效地提高了半導(dǎo)體專用設(shè)備的磨削質(zhì)量以及半導(dǎo)體專用設(shè)備的穩(wěn)定性，增強(qiáng)了半導(dǎo)體專用設(shè)備的可靠性。
【IPC分類】B24B55/00
【公開號(hào)】CN105382698
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510917890
【發(fā)明人】賀東葛, 趙歲花, 張敏杰, 張景瑞, 劉宇光
【申請(qǐng)人】北京中電科電子裝備有限公司
【公開日】2016年3月9日
【申請(qǐng)日】2015年12月11日